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Etude Thermodynamique Et Experimentale Du Depot Chimique En Phase Vapeur Du Disiliciure De Titane Tisi
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Book Synopsis ETUDE THERMODYNAMIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR DU DISILICIURE DE TITANE TISI by : Jean-François Million-Brodaz
Download or read book ETUDE THERMODYNAMIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR DU DISILICIURE DE TITANE TISI written by Jean-François Million-Brodaz and published by . This book was released on 1987 with total page 157 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME TI-SI-H-CL-AR NOUS A PERMIS DE DETERMINER LES CONDITIONS THEORIQUES DE DEPOT DE LA PHASE TISI::(2) PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (C.V.P.) EN FONCTION DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX : TEMPERATURE DE DEPOT, PRESSION TOTALE ET PRESSIONS PARTIELLES DES DIFFERENTES ESPECES GAZEUSES (SIH::(4), TICL::(4), H::(2), AR). A L'AIDE D'UN REACTEUR C.V.D. A MURS FROIDS, FONCTIONNANT SOUS PRESSION ATMOSPHERIQUE, NOUS OBTENONS DES FILMS MINCES DE TISI::(2), CONFIRMANT AINSI L'APPROCHE THERMODYNAMIQUE. EN VUE D'UNE PROCEDURE DE METALLISATION AUTOALIGNEE, NOUS AVONS ABORDE LE CONTROLE DU CARACTERE SELECTIF DU DEPOT. NOUS AVONS AINSI DEFINI DES CONDITIONS EXPERIMENTALES DE DEPOT SELECTIF, QUI PERMETTENT A PARTIR D'UN SUPPORT DE SI PARTIELLEMENT RECOUVERT DE SIO::(2), DE REALISER LE DEPOT DE TISI::(2) UNIQUEMENT DANS LES MOTIFS DE SI NON RECOUVERTS
Book Synopsis ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PRESSION REDUITE ET CHAUFFAGE RAPIDE, ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE by : Luc Imhoff
Download or read book ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PRESSION REDUITE ET CHAUFFAGE RAPIDE, ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE written by Luc Imhoff and published by . This book was released on 1997 with total page 159 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE TRAITE DU DEPOT DE FILMS DE NITRURE DE TITANE (TIN) ELABORES PAR REACTION CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE (CVD) EN UTILISANT LES PRECURSEURS SUIVANTS : TETRACHLORURE DE TITANE (TICI#4), AMMONIAC (NH#3) ET HYDROGENE (H#2). LES FILMS SONT REALISES DANS UN REACTEUR ALLIANT LES AVANTAGES DE LA CVD BASSE PRESSION (LPCVD) A CEUX DE LA METHODE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE (RTP). DES CALCULS THERMODYNAMIQUES SONT EFFECTUES DANS LE BUT DE DETERMINER L'INFLUENCE DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX AINSI QUE DE LA NATURE DE LA SURFACE SUR LAQUELLE LE DEPOT A LIEU. LES MEILLEURS RENDEMENTS THERMODYNAMIQUES DE FORMATION DE TIN SONT OBTENUS POUR UNE PHASE GAZEUSE RICHE EN AMMONIAC AVEC UNE TEMPERATURE PROCHE DE 1100 K. UN BILAN REACTIONNEL EST PROPOSE DANS LEQUEL LE SOUS-CHLORURE TICI#3 APPARAIT COMME LE REACTIF PREDOMINANT. UNE ETUDE CINETIQUE EST DEVELOPPEE AFIN D'EXPLIQUER LA CROISSANCE DU TIN PAR CE PROCEDE. ELLE ABOUTIT A UN MODELE QUI PERMET D'EXPLIQUER A LA FOIS LES RESULTATS DE CETTE ETUDE ET LES RESULTATS PARFOIS CONTRADICTOIRES REPORTES PAR LA LITTERATURE. CE MODELE MONTRE QUE LE MECANISME DE DEPOT EST CONTROLE PAR LES ADSORPTIONS COMPETITIVES DU TICI#4 ET DE NH#3, ET MET L'ACCENT SUR L'IMPORTANCE DE LA GEOMETRIE D'INJECTION DES GAZ. LES DEPOTS SONT CARACTERISES PAR DIFFRACTION DE RAYONS X, RBS, XPS, MESURE DE LA RESISTIVITE ET MESURE DE L'ADHERENCE PAR L'ESSAI DE RAYURE. ILS SONT TOUJOURS TEXTURES (ORIENTATIONS CRISTALLOGRAPHIQUES 111 ET 200), STOECHIOMETRIQUES ET ADHERENTS. L'INCORPORATION D'OXYGENE EST COMPRISE ENTRE 1 ET 10%. LE CHLORE N'EST JAMAIS DETECTE. LES VALEURS DE RESISTIVITE OBTENUES SONT COMPRISES ENTRE 20 ET 300 .CM. A L'AIDE DE CES RESULTATS, UN PROCEDE EXPERIMENTAL PERMETTANT DE CONTROLER L'ORIENTATION CRISTALLINE DES FILMS A BASSE TEMPERATURE, TOUT EN CONSERVANT LES PROPRIETES ENONCEES, EST PROPOSE.
Book Synopsis Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du carbure de zirconium by : Pascale Salles
Download or read book Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du carbure de zirconium written by Pascale Salles and published by . This book was released on 1986 with total page 138 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME BINAIRE ZR-C, PERMETTANT DE DECRIRE LES VARIATIONS DE L'ENTHALPIE LIBRE DE FORMATION DE ZR::(X)C::(1-X), SOIT PAR UN MODELE EN SUBSTITUTION, SOIT PAR UN MODELE EN SOUS RESEAU
Book Synopsis Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du carbure de zirconium by : Pascale Salles (auteur en métallurgie).)
Download or read book Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du carbure de zirconium written by Pascale Salles (auteur en métallurgie).) and published by . This book was released on 1986 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Etude thermodynamique du systeme binaire zr-c, permettant de decrire les variations de l'enthalpie libre de formation de zr::(x)c::(1-x), soit par un modele en substitution, soit par un modele en sous reseau
Book Synopsis ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE, A TEMPERATURE MODEREE, DU CARBURE DE TITANE A PARTIR DES SOUS-CHLORURES by : Jean-Paul Piton
Download or read book ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE, A TEMPERATURE MODEREE, DU CARBURE DE TITANE A PARTIR DES SOUS-CHLORURES written by Jean-Paul Piton and published by . This book was released on 1990 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE DU CARBURE DE TITANE, HABITUELLEMENT REALISE A PARTIR DE TETRACHLORURE DE TITANE, DE METHANE ET D'HYDROGENE, A ETE EFFECTUEE EN SE DIFFERENCIANT DU PROCEDE GENERALEMENT EMPLOYE PAR TROIS POINTS PRINCIPAUX: 1) UNE TEMPERATURE DE DEPOT MODEREE, PLUS BASSE QUE CELLES HABITUELLEMENT UTILISEES; 2) UNE PREREDUCTION DU TICL#4 PAR DU TITANE PORTE A PLUS HAUTE TEMPERATURE; 3) L'EMPLOI DU BUTANE COMME HYDROCARUBRE. APRES UNE ETUDE THERMODYNAMIQUE QUI A PERMIS DE RECHERCHER LES CONDITIONS DE DEPOT OPTIMUM, L'ETUDE EXPERIMENTALE A PERMIS DE PRECISER: 1) UNE LIMITATION CINETIQUE DE REDUCTION DES SOUS-CHLORURES QUI N'A PLUS LIEU D'ETRE LORSQUE LE DEBIT DU BUTANE AUGMENTE, CAR ON OBSERVE ALORS UNE REACTION DE DISMUTATION DES SOUS-CHLORURES DE TITANE; 2) UNE LIMITATION CINETIQUE DE DECOMPOSITION DU BUTANE. AINSI LE CARBURE DE TITANE PEUT ETRE DEPOSE NETTEMENT HORS EQUILIBRE EN OPERANT AVEC UNE FORTE SURSATURATION EN REACTIFS. CE QUI PERMET, AVEC LA FAIBLE TEMPERATURE EMPLOYEE, D'OBTENIR DES DEPOTS POLYNUCLEES A GRAINS TRES FINS, PRESENTANT DES MICRODURETES TRES ELEVEES, LORSQUE LE POURCENTAGE DE CHLORE INCORPORE EST FAIBLE ET QU'IL N'Y A NI CARBONE LIBRE NI MICROPOROSITES. LES VITESSES DE DEPOT SONT IMPORTANTES, ENTRE SIX ET DOUZE MICRONS PAR HEURE, DANS LES CONDITIONS DONNANT DE FORTES MICRODURETES
