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Etude Structurale Optique Et Electrique De Couches Minces Doxynitrure De Silicium Deposees Par Pulverisation Cathodique Radiofrequence Reactive
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Book Synopsis Etude structurale, optique et électrique de couches minces d'oxynitrure de silicium déposées par pulvérisation cathodique radiofréquence réactive by : Farida Rebib
Download or read book Etude structurale, optique et électrique de couches minces d'oxynitrure de silicium déposées par pulvérisation cathodique radiofréquence réactive written by Farida Rebib and published by . This book was released on 2006 with total page 195 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette étude concerne les propriétés structurales, optiques et électriques des couches minces d'oxynitrure de silicium ( SiOxNy) élaborées par pulvérisarion cathodique radiofréquence d'une cible de silicium dans un plasma argon-oxygène-azote. La zone d'instabilité de ce procédé réactif a été précisée par spectroscopie d'émission optique et par le suivi de la pression totale et du potentiel d'autopolarisation. Les conditions adéquates d'élaboration qui ont été définies, ont permis de déposer des films dont la composition varie presque linéairement, entre celles du nitrure et de l'oxyde de silicium. Ces couches sont formées par un mélange de nanophases de type SiO2 et Si3N4 incorporées dans une phase de SiOxNy amorphe. Des liaisons pendantes ont aussi été détectées sur les atomes de silicium. Les dépôts présentent des propriétés optiques (indice de réfraction, gap optique) et des propriétés diélectriques très intéressantes et variables en fonction de leur composition et de leur structure
Book Synopsis ETUDE DES OXYNITRURES DE SILICIUM EN COUCHES MINCES DEPOSES PAR PULVERISATION EN VUE D'APPLICATIONS OPTIQUES by : Laurent Pinard
Download or read book ETUDE DES OXYNITRURES DE SILICIUM EN COUCHES MINCES DEPOSES PAR PULVERISATION EN VUE D'APPLICATIONS OPTIQUES written by Laurent Pinard and published by . This book was released on 1993 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ce travail repose sur l'etude des couches minces d'oxynitrures de silicium obtenues par pulverisation radio-frequence magnetron reactive en vue de realiser des multicouches optiques ayant de faibles pertes (absorption, diffusion). Tout d'abord, nous avons analyse les variations des proprietes optiques et physicochimiques des monocouches d'oxynitrures liees aux differents parametres du bati de depot: les pressions partielles des gaz, la puissance rf, la nature de la cible et des gaz. Ainsi, lorsque l'on decrit toute la gamme des oxynitrures de l'oxyde de nitrure, nous avons en particulier mis en evidence l'evolution quasi lineaire de l'indice sur un domaine relativement important ainsi que la substitution rigoureuse des atomes d'oxygene par les atomes d'azote: ceci est la preuve d'un mecanisme simple de formation. De plus, grace a des analyses par spectrophotometrie ir, un modele de la structure amorphe des oxynitrures a ete propose (pseudo-binaire oxyde-nitrure) et verifie par deux methodes d'approximation. Enfin, une etude plus particuliere de l'absorption (photothermie) et de la diffusion (diffusometre casi) a ete menee sur les monocouches et sur les multicouches synthetises a partir des oxynitrures (antireflets, miroirs). Une comparaison avec les performances des empilements classiques d'oxydes realises par pulverisation par faisceaux d'ions a pu etre faite et nous avons ainsi propose des solutions pour optimiser les deux sources de pertes
Book Synopsis Etude de couches minces de silicium microcristallin hydrogénées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence by : Cristina Gonçalves
Download or read book Etude de couches minces de silicium microcristallin hydrogénées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence written by Cristina Gonçalves and published by . This book was released on 2003 with total page 145 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques by : Laurent Pinard
Download or read book Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques written by Laurent Pinard and published by . This book was released on 1993 with total page 185 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'application optiques by : Laurent Pinard
Download or read book Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'application optiques written by Laurent Pinard and published by . This book was released on 1993 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Les oxynitrures de silicium déposés par pulvérisation en gaz réactif pulsé pour des dispositifs antireflets à gradient d'indice de réfraction by : Amira Farhaoui
Download or read book Les oxynitrures de silicium déposés par pulvérisation en gaz réactif pulsé pour des dispositifs antireflets à gradient d'indice de réfraction written by Amira Farhaoui and published by . This book was released on 2016 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Le système antireflet (SAR) est d"une grande importance pour les cellules photovoltaïques (PV), surtout pour celles de deuxième génération à base de couches minces. Au cours de ce travail de thèse, nous avons cherché à réaliser un SAR à la fois efficace et répondant aux critères de l"industrie PV en termes de coût de production et de facilité de mise en oeuvre. Pour cela, nous avons particulièrement étudié le dépôt d"oxynitrures de silicium (SiOxNy), comme élément de base de ces dispositifs. Les films sont élaborés par pulvérisation cathodique réactive radiofréquence à effet magnétron. Notre volonté a été d"étudier à la fois le procédé de dépôt, les matériaux obtenus ainsi que la formation de dispositifs fonctionnels. Nous avons tout d"abord présenté les deux voies d"élaboration des couches minces de SiOxNy: par procédé conventionnel (PC) où les gaz réactifs ne sont pas pulsés, puis par le procédé de gaz réactif pulsé (PGRP). Nous avons aussi croisé une étude expérimentale par Spectroscopie d"Emission Optique (SEO) et une modélisation du procédé afin de mieux appréhender les interactions des gaz réactifs avec la cible et leur effet sur le procédé. En parallèle, des dépôts ont été réalisés afin de vérifier la capacité de chacune des deux techniques à déposer des SiOxNy avec une gamme variable de compositions. Nous avons ensuite étudié l"effet des paramètres de pulse de la méthode PGRP à la fois sur la structure, mais aussi sur les propriétés optiques et électriques des couches minces de SiOxNy. Nous avons cherché ici à valider le lien entre structure et indices de réfraction pour ces films. Enfin, pour réaliser un dispositif AR fonctionnel, des systèmes AR ont été tout d"abord simulés avec un programme de calcul électromagnétique et optimisés grâce à un algorithme génétique. Les systèmes optimisés ont été ensuite déposés et caractérisés. Une réflectivité moyenne (entre 400 et 900 nm) inférieure à 5 % a ainsi été obtenue.
Book Synopsis Contribution a l'étude de couches minces obtenues par implantation ionique, diffusion en phase solide et pulvérisation cathodique réactive by : André Guivarc'h
Download or read book Contribution a l'étude de couches minces obtenues par implantation ionique, diffusion en phase solide et pulvérisation cathodique réactive written by André Guivarc'h and published by . This book was released on 1980 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Dans une première partie, étude des processus induits par implantation ionique utilisée en tant que méthode de dopage du silicium et méthode de formation de couches isolantes. La seconde partie traite du problème des interfaces métal-silicium qui occupent une position centrale dans la technologie des circuits intègres: l'étude, axée sur l'aspect métallurgique du problème, est limitée au cas du platine, du molybdène et du chrome, métaux susceptibles de former avec le silicium des composes définis. Enfin, la dernière partie est consacrée a l'élaboration et a la caractérisation d'un matériau nouveau, le carbure de silicium hydrogène dépose en couches minces par pulvérisation cathodique réactive.
Book Synopsis CONTRIBUTION A L'ETUDE DU SILICIUM NANOCRISTALLIN EN COUCHE MINCE OBTENU PAR PULVERISATION RADIOFREQUENCE by : ABDELLATIF.. ACHIQ
Download or read book CONTRIBUTION A L'ETUDE DU SILICIUM NANOCRISTALLIN EN COUCHE MINCE OBTENU PAR PULVERISATION RADIOFREQUENCE written by ABDELLATIF.. ACHIQ and published by . This book was released on 1998 with total page 173 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DEUX CATEGORIES DE COUCHES DE SILICIUM NANOCRISTALLIN OBTENUES PAR PULVERISATION RF ONT FAIT L'OBJET DE CET ETUDE. L'UNE A ETE THERMIQUEMENT CRISTALLISEE APRES DEPOT A DIFFERENTES PRESSIONS PARTIELLES D'HYDROGENE, ALORS QUE LA DEUXIEME CONSISTE EN DES COUCHES DIRECTEMENT CRISTALLISEES SOUS PLASMA D'HYDROGENE PUR POUR DIFFERENTES VALEURS DE LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT (T#S). LES CARACTERISATIONS STRUCTURALES ET PHYSIQUES DE CES COUCHES ONT ETE REALISEES A L'AIDE D'UNE PANOPLIE DE TECHNIQUES EXPERIMENTALES TELLES QUE IR, RAMAN, DRX, MET, ABSORPTION OPTIQUE, CONDUCTIVITE ELECTRIQUE, PHOTOLUMINESCENCE. LES MECANISMES DE CRISTALLISATION DANS LES COUCHES SE SONT REVELES TRIBUTAIRES, POUR UNE LARGE PART, DE LA PRESENCE ET DE LA CONCENTRATION DES ESPECES OU DES RADICAUX D'HYDRURE SIH#2, SOIT DANS LES FILMS DE BASE POUR LES COUCHES THERMIQUEMENT CRISTALLISEES, SOIT DANS LE PLASMA POUR LES COUCHES DIRECTEMENT CRISTALLISEES. DANS LA PREMIERE CATEGORIE DE COUCHES, LES EFFETS DE SIH#2 SE TRADUISENT PAR LA RELAXATION AU COURS DU RECUIT DE LA STRUCTURE CRISTALLISEE. CELLE-CI A ETE MISE EN EVIDENCE PAR LE COMPORTEMENT DE LA CONTRAINTE ET CONFORTEE PAR LA VARIATION DES QUEUES DE BANDES OU ENERGIE D'URBACH LAQUELLE REFLETE LE DESORDRE DANS LE MATERIAU. LE DEGRE DE CE DESORDRE SEMBLE DETERMINER LA LARGEUR DU GAP OPTIQUE ET LES ETENDUES DES DOMAINES DE VALIDITE DES MECANISMES DE CONDUCTION ELECTRIQUE. CONCERNANT LES COUCHES DIRECTEMENT CRISTALLISEES, LA FRACTION CRISTALLINE F#C ET LA TAILLE DES GRAINS MONTRENT UNE AUGMENTATION GRADUELLE AVEC T#S. L'ORIGINE DE CE COMPORTEMENT RESIDE DANS LES MECANISMES REACTIONNELS ENTRE LES RADICAUX SIH#2 ET LA SURFACE DE LA COUCHE QUI RESULTE EN UN PROCESSUS DE GRAVURE SELECTIVE DES LIAISONS FAIBLES OU SOUS CONTRAINTE CONDUISANT A LA RELAXATION DE LA STRUCTURE VERS L'ETAT CRISTALLIN. LA CONDUCTIVITE ELECTRIQUE ET LE GAP OPTIQUE E#O ONT MONTRE DES VARIATIONS SPECTACULAIRES EN FONCTION DE T#S DUES PRINCIPALEMENT A L'ACCROISSEMENT DE F#C : ACCUSE UN GAIN DE 7 ORDRES DE GRANDEUR ET E#O DECROIT DE 2,40 EV A 1,95 EV. LA FORMATION D'UNE COUCHE TAMPON AMORPHE POUR LES BASSES T#S A FAIT L'OBJET D'UNE ETUDE SPECIFIQUE QUI A MONTRE LA POSSIBILITE DE SA RECRISTALLISATION SUITE A UN SIMPLE RECUIT A UNE TEMPERATURE RELATIVEMENT BASSE (150C) QUI IMPLIQUE LE ROLE CRITIQUE DES ESPECES SIH#2.
Book Synopsis Réalisation de couches minces d'oxynitrure de silicium par dépôt chimique sous faible pression by : Guy PARAT
Download or read book Réalisation de couches minces d'oxynitrure de silicium par dépôt chimique sous faible pression written by Guy PARAT and published by . This book was released on 1990 with total page 123 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Élaboration et caractérisation de couches minces co-dopées In, Co, préparées par la pulvérisation cathodique, applications aux cellules photovoltaïques by : Houyem Slimi
Download or read book Élaboration et caractérisation de couches minces co-dopées In, Co, préparées par la pulvérisation cathodique, applications aux cellules photovoltaïques written by Houyem Slimi and published by . This book was released on 2019 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ce travail avait pour objectif de réaliser des couches minces de Zno co-dopées Cobalt et Indium en vue de la réalisation de cellules photovoltaïques. Pour la fabrication des couches minces, nous avons choisi la méthode de pulvérisation cathodique en radio fréquence. Cette méthode nous permet d'obtenir des couches ayant différentes propriétés qui dépendent des paramètres de dépôt. Les couches minces de CIZO obtenus sont recuites sous N2 et H2 pour la série 1 et O2 pour la série 2. Dans la première partie de ce travail, nous avons entrepris une étude des propriétés morphologiques, vibrationnelles et optiques.Dans la deuxième partie de ce travail, nous avons étudié l'effet de l'épaisseur et l'effet de recuit sous azote pour améliorer les différentes propriétés (structurales, morphologiques, optiques et électriques) de nos échantillons. Dans la troisième partie de ce travail, nous avons étudié l'influence de temps de recuite sur les différentes propriétés (structurales, morphologiques, optiques et électriques) de nos échantillons.
Book Synopsis ELABORATION DE COUCHES MINCES IN SITU DE BI2SR2CACU2O8 PAR PULVERISATION CATHODIQUE RADIO-FREQUENCE ET LEUR OBSERVATION AU MICROSCOPE ELECTRONIQUE A TRANSMISSION by : ALAIN.. TAFFIN
Download or read book ELABORATION DE COUCHES MINCES IN SITU DE BI2SR2CACU2O8 PAR PULVERISATION CATHODIQUE RADIO-FREQUENCE ET LEUR OBSERVATION AU MICROSCOPE ELECTRONIQUE A TRANSMISSION written by ALAIN.. TAFFIN and published by . This book was released on 1995 with total page 85 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DANS LE CADRE D'UNE ETUDE GLOBALE DES CONDITIONS DE CROISSANCE DE COUCHES MINCES D'OXYDES SUPRACONDUCTEURS PAR PULVERISATION CATHODIQUE, DES COUCHES MINCES DE BI#2SR#2CACU#2O#8 ONT ETE DEPOSEES. LE SYSTEME DE DEPOT EST UN BATI DE PULVERISATION CATHODIQUE RADIO-FREQUENCE MAGNETRON. LE PORTE-SUBSTRAT EST PLACE EN FACE DE LA CIBLE. LA CIBLE DE BI#2SR#2CACU#2O#8 EST MONOPHASEE, STOECHIOMETRIQUE ET OBTENUE PAR LA METHODE DE LA FUSION TOTALE. L'INFLUENCE DES PRINCIPAUX PARAMETRES DE DEPOT SUR LE TRANSFERT DES DIFFERENTES ESPECES ONT PU ETRE MIS EN EVIDENCE. DES COUCHES MINCES DE BI#2SR#2CACU#2O#8 SUPRACONDUCTRICES ONT PU ETRE DEPOSEES IN SITU SUR DES SUBSTRATS DE MGO (100) ET DE LAALO#3 (100). LA TEMPERATURE CRITIQUE DE CES FILMS RESTE CEPENDANT FAIBLE (T#C = 43K). PARALLELEMENT, UN SYSTEME D'AMINCISSEMENT MECANIQUE ET IONIQUE A PU ETRE MIS EN SERVICE. LA TECHNIQUE DITE DES SECTIONS TRANSVERSES ETANT PLUS PARTICULIEREMENT DEDIEE A L'OBSERVATION DE L'INTERFACE FILM/SUBSTRAT AU MICROSCOPE ELECTRONIQUE A TRANSMISSION. DES COUCHES MINCES DE DIVERS MATERIAUX ELABOREES PAR D'AUTRES PROCEDES ONT PU ETRE OBSERVEES AU MET GRACE A CETTE TECHNIQUE. L'OBSERVATION DES COUCHES DE BI#2SR#2CACU#2O#8 AU MET ET LORS D'ETUDES EXAFS A PERMIS DE MONTRER LE FAIBLE VOLUME CRISTALLISE ET LA MAUVAISE OXYGENATION DE CES COUCHES. UNE MODIFICATION DES PARAMETRES D'ELABORATION EST ENVISAGEE
Book Synopsis ETUDE DES PROPRIETES ELECTRONIQUES ET OPTIQUES D'ALLIAGES AMORPHES SILICIUM-AZOTE PREPARES PAR PULVERISATION REACTIVE by : Amina Mezhoudi
Download or read book ETUDE DES PROPRIETES ELECTRONIQUES ET OPTIQUES D'ALLIAGES AMORPHES SILICIUM-AZOTE PREPARES PAR PULVERISATION REACTIVE written by Amina Mezhoudi and published by . This book was released on 1986 with total page 390 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: MESURES DE LA PHOTOCONDUCTIVITE, DE LA CONDUCTIVITE ELECTRIQUE ET DE L'ABSORPTION IR INFLUENCE DE LA TENEUR EN AZOTE SUR LA LARGEUR DE LA BANDE INTERDITE; MISE EN EVIDENCE D'UNE AUGMENTATION DE LA DENSITE D'ETATS PROCHES DU NIVEAU DE FERMIS ET D'UN ELARGISSEMENT DE LA QUEUE DES ETATS LOCALISES DANS LA BANDE INTERDITE. EFFETS D'UN DOPAGE AU BORE. MISE EN EVIDENCE D'UNE DISTRIBITION DE NIVEAUX PROFONDS SUR LESQUELS SE PRODUIT LA RECOMBINAISON DES PORTEURS MAJORITAIRES. RELATIONS ENTRE LES PROPRIETES DES COUCHES MINCES ET LES CONDITIONS DE PREPARATION
Book Synopsis ETUDE DU PROCEDE DE DEPOT DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM EN PLASMA HELICON O#2/TEOS by : FREDERIC.. NICOLAZO
Download or read book ETUDE DU PROCEDE DE DEPOT DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM EN PLASMA HELICON O#2/TEOS written by FREDERIC.. NICOLAZO and published by . This book was released on 1997 with total page 247 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MEMOIRE PRESENTE L'ETUDE DU PROCEDE D'ELABORATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM DEPOSEES A TEMPERATURE AMBIANTE EN PLASMA DE MELANGE OXYGENE/TETRAETHOXYSILANE (TEOS), DANS UN REACTEUR RADIOFREQUENCE HAUTE DENSITE, BASSE PRESSION DE TYPE HELICON. CE REACTEUR FONCTIONNE EN COUPLAGE INDUCTIF POUR LES PUISSANCES SUPERIEURES A 300 WATTS, AVEC DE FORTES DENSITES ELECTRONIQUES ET DE FAIBLES POTENTIELS. L'ETUDE DES PLASMAS D'OXYGENE PAR SPECTROMETRIE DE MASSE ET SONDE DE LANGMUIR A PERMIS DE DETERMINER L'ION MAJORITAIRE ET LES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES DU PLASMA. IL EST MONTRE QUE L'ACTINOMETRIE PEU ETRE UTILISEE POUR MESURER LA DENSITE D'ATOMES D'OXYGENE. ON OBTIENT DES TAUX DE DISSOCIATION DE LA MOLECULE INFERIEURS A 10%. ON EN DEDUIT UN COEFFICIENT DE RECOMBINAISON DES ATOMES D'OXYGENE SUR LES PAROIS EN ACIER DE L'ORDRE DE 0,1. LA CONNAISSANCE DE LA DENSITE DU PLASMA ET DE LA CONCENTRATION DES ATOMES D'OXYGENE EN FONCTION DE LA PUISSANCE, DE LA PRESSION ET DE LA POSITION DANS LE REACTEUR A PERMIS DE DETERMINER LES FLUX DE PARTICULES ET DE DEFINIR DES CONDITIONS FAVORABLES AU DEPOT. L'INTRODUCTION DU TEOS DANS LES PLASMAS D'OXYGENE PROVOQUE UNE DIMINUTION DE LA DENSITE ET DE LA TEMPERATURE ELECTRONIQUE. LES SPECTRES D'EMISSION OPTIQUE SONT SOIGNEUSEMENT INDEXES. LES VARIATIONS DES INTENSITES D'EMISSIONS DES ESPECES DETECTEES SONT CORRELEES A LA MODIFICATION DE LA COMPOSITION DE LA COUCHE MINCE OBTENUE. LES FILMS DEPOSES SUR SILICIUM SONT CARACTERISES PAR ABSORPTION INFRAROUGE, ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE ET GRAVURE CHIMIQUE LIQUIDE (P-ETCH). LES OXYDES DE SILICIUM OBTENUS DANS LES MELANGES O2/TEOS SONT DE BONNE QUALITE POUR DES TAUX DE TEOS INFERIEURS A 0,1, LORSQUE LA CINETIQUE EST LIMITEE PAR LE FLUX DE PRECURSEUR SUR LA SURFACE. POUR LES TAUX PLUS ELEVES, LA VITESSE DE DEPOT SATURE ET LES ELEMENTS CARBONES SONT OBSERVES DANS LES COUCHES.
Book Synopsis ETUDE DU SILICIUM POLYCRISTALLIN EN COUCHE MINCE OBTENU A PARTIR DE SILICIUM AMORPHE DEPOSE PAR PULVERISATION RADIO-FREQUENCE MAGNETRON. APPLICATION A LA REALISATION DE DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIQUES by : ERIC.. BARDET
Download or read book ETUDE DU SILICIUM POLYCRISTALLIN EN COUCHE MINCE OBTENU A PARTIR DE SILICIUM AMORPHE DEPOSE PAR PULVERISATION RADIO-FREQUENCE MAGNETRON. APPLICATION A LA REALISATION DE DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIQUES written by ERIC.. BARDET and published by . This book was released on 1997 with total page 166 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST D'ELABORER DES DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIQUES EN COUCHE MINCE EN SILICIUM POLYCRISTALLIN, A PARTIR DE COUCHES AMORPHES DEPOSEES DANS UN REACTEUR DE PULVERISATION R. F. MAGNETRON ET CRISTALLISEES THERMIQUEMENT EN PHASE SOLIDE. LES PROPRIETES DES COUCHES AMORPHES EN FONCTION DES PARAMETRES DE DEPOT SONT DISCUTEES. LA TECHNIQUE DE DEPOT PAR PULVERISATION PERMET DE FAIRE VARIER LA VITESSE DE DEPOT ET LE GAP OPTIQUE DANS DES GAMMES TRES ETENDUES. LA CRISTALLISATION DES COUCHES INTRINSEQUES EN PHASE SOLIDE EST ENSUITE ETUDIEE DANS LE BUT D'OBTENIR DE GRANDES TAILLES DE CRISTALLITES FAVORABLES AUX PHENOMENES DE TRANSPORT. NOUS DETERMINONS UNE METHODE DE MESURE DE LA TAILLE DES CRISTALLITES PAR DIFFRACTION DES RAYONS X, CORRELEE PAR DES MESURES DE REFLECTIVITE ET D'AFM, QUI CORRESPOND A LA TAILLE PERTINENTE POUR LES PROPRIETES DE TRANSPORT. NOUS MONTRONS QUE LE DESORDRE DE LA COUCHE AMORPHE DETERMINE PAR DIFFRACTION DES RAYONS X ET PAR PROFILOMETRIE, AINSI QUE SON CONTENU EN HYDROGENE, JOUENT UN ROLE IMPORTANT DANS LES PROCESSUS DE CRISTALLISATION. PLUS LE DESORDRE EST IMPORTANT ET/OU MOINS LE CONTENU EN HYDROGENE EST ELEVE, PLUS LA TAILLE DES CRISTALLITES APRES RECUIT EST GRANDE. PUIS NOUS ETUDIONS LE DOPAGE DES COUCHES AMORPHE ET POLYCRISTALLINE. LA CONCENTRATION DE DOPANTS INTRODUIT DANS LES COUCHES DIMINUE AVEC LE TAUX D'HYDROGENE PRESENT DANS LE PLASMA LORS DU DEPOT. L'EFFICACITE DE DOPAGE DE TYPE P CHUTE AVEC LA TEMPERATURE DE RECUIT LORS DE LA CRISTALLISATION MAIS RESTE TRES SUPERIEURE A CELLE DE TYPE N. ENFIN DES DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIQUES SONT REALISES ET LEURS CARACTERISTIQUES DISCUTEES.
Book Synopsis REALISATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE NITRURE ET D'OXYNITRURE THERMIQUES DE SILICIUM by : Michel Plantard
Download or read book REALISATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE NITRURE ET D'OXYNITRURE THERMIQUES DE SILICIUM written by Michel Plantard and published by . This book was released on 1986 with total page 162 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: PREPARATION DES COUCHES NITRUREES A 1100**(O)C SOUS AMMONIAC ET ANALYSE PAR ELLIPSOMETRIE, SPECTROMETRIE ESCA. AUGER ET REACTION NUCLEAIRE. PRESENCE A LA FOIS D'AZOTE ET D'OXYGENE DANS LES COUCHES DE NITRURE. DISTRIBUTION DE L'AZOTE EN FONCTION DU TEMPS DE NITRURATION. CARACTERISATION ELECTRIQUE
Book Synopsis CARACTERISATION PAR RAYONS X DES COUCHES MINCES AMORPHES D'OXYNITRURES DE SILICIUM SIOXNYHZ PREPAREES PAR PECVD by : LUC.. ORTEGA
Download or read book CARACTERISATION PAR RAYONS X DES COUCHES MINCES AMORPHES D'OXYNITRURES DE SILICIUM SIOXNYHZ PREPAREES PAR PECVD written by LUC.. ORTEGA and published by . This book was released on 1993 with total page 230 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MEMOIRE EST CONSACRE A LA CARACTERISATION DES COUCHES MINCES AMORPHES D'OXYNITRURES DE SILICIUM SIOXNYHZ PREPAREE PAR PECVD. CES MATERIAUX ISOLANTS JOUENT UN ROLE DE PLUS EN PLUS IMPORTANT DANS LE DOMAINE DE LA MICROELECTRONIQUE. ILS ONT DONNE LIEU A UN PROGRAMME EUROPEEN DE RECHERCHE ESPRIT-DESON QUI A IMPLIQUE SIX LABORATOIRES EUROPEENS ET DANS LEQUEL NOUS SOMMES INTERVENUS. NOUS NOUS SOMMES ATTACHES A CARACTERISER LES OXYNITRURES DE SILICIUM A L'AIDE DE PLUSIEURS TECHNIQUES X: REFLECTOMETRIE X, DIFFUSION DES RAYONS X EN INCIDENCE RASANTE, EXAFS, XANES ET XPS. L'EPAISSEUR, LA DENSITE ET LA RUGOSITE DES COUCHES ONT ETE DETERMINEES. IL EST APPARU QUE LES COUCHES SONT PEU DENSES POUR LES COMPOSITIONS PROCHES DU NITRURE DE SILICIUM A CAUSE DE LA PRESENCE D'HYDROGENE. LA DENSITE EVOLUE EN FONCTION DU TAUX D'INCORPORATION D'OXYGENE PAR RAPPORT A L'AZOTE, O/(O+N), DANS LE MATERIAU AVEC UNE TRANSITION CARACTERISTIQUE POUR O/(O+N)=0,4 QUI EST A RELIER AUX PROPRIETES PHYSIQUES DES OXYNITRURES. PAR AILLEURS, NOUS AVONS TROUVE UNE FORTE RUGOSITE POUR LES COUCHES DEPOSEES SUR FLUORURE DE CALCIUM LIEE AU MODE DE CROISSANCE. L'ETUDE STRUCTURALE A CONSTITUE NOTRE PRINCIPAL CENTRE D'INTERET ET A NECESSITE LA MISE EN UVRE DE PLUSIEURS TECHNIQUES EXPERIMENTALES DU FAIT QUE LE MATERIAU EST COMPOSE DE PLUSIEURS ESPECES ATOMIQUES. LES EXPERIENCES DE DIFFUSION DES RAYONS X ONT ETE REALISEE EN INCIDENCE RASANTE AFIN DE MINIMISER LA CONTRIBUTION PARASITE DUE AU SUBSTRAT. IL EST MONTRE QUE LA STRUCTURE DES OXYNITRURES DE SILICIUM ETUDIES N'EST PAS CONSTITUEE D'UN SIMPLE MELANGE DES PHASES BINAIRES: SILICE ET NITRURE DE SILICIUM AMORPHES. UN EFFET SUR LES PREMIERES DISTANCES INTERATOMIQUES SI-O ET SI-N A ETE OBSERVE QUI A ETE INTERPRETE PAR UNE CERTAINE HOMOGENEISATION DES SITES SI-O-SI ET SI-NH-SI POUR LES OXYNITRURES DE COMPOSITION INTERMEDIAIRES. D'AUTRES CARACTERISTIQUES SONT AUSSI RAPPORTEES
Book Synopsis Etude et réalisation par pulvérisation cathodique et résistances miniatures en couches minces sur silicium oxyde by : Marie-Hélène JACQ
Download or read book Etude et réalisation par pulvérisation cathodique et résistances miniatures en couches minces sur silicium oxyde written by Marie-Hélène JACQ and published by . This book was released on 1985 with total page 216 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
