Conception Et Developpement Des Reseaux De Capteurs Mems En Silicium Et En Diamant Pour La Detection De Vapeurs

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Conception et développement des réseaux de capteurs MEMS en silicium et en diamant pour la détection de vapeurs

Author : Maira Possas Abreu
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Book Synopsis Conception et développement des réseaux de capteurs MEMS en silicium et en diamant pour la détection de vapeurs by : Maira Possas Abreu

Download or read book Conception et développement des réseaux de capteurs MEMS en silicium et en diamant pour la détection de vapeurs written by Maira Possas Abreu and published by . This book was released on 2016 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les systèmes multi-capteurs intelligents de gaz (ou nez électroniques), sont déjà déployés dans des domaines aussi divers que la parfumerie, l'industrie alimentaire, la surveillance de l'environnement et à des fins militaires et médicaux. La collaboration engagée dans le cadre du Projet Européen SNIFFER, s'est focalisée sur le développement d'un système type nez-électronique innovant basé sur des capteurs MEMS combinés à des bio-récepteurs olfactifs pour la détection de substances illicites. Dans un autre contexte et ce, dans une démarche interne à ESIEE-Paris, nous avons aussi choisi d'élargir le sujet à la conception d'un système multi-capteurs pour une application en détection de composés organiques volatils.Ainsi, dans la perspective d'une amélioration des technologies par l'utilisation de capteurs MEMS, cette thèse traite de la conception, la fabrication et la caractérisation de capteurs de type micro-poutre résonante en silicium et en diamant et également de la preuve de concept d'un système multi-capteur pour la détection de gaz. Si le choix du silicium en tant que matériaux pour la fabrication de nos capteurs a pour avantage l'énorme éventail de connaissances disponible, le diamant fait sa place dans le monde de la microtechnologie grâce à ses remarquables propriétés physiques et chimiques. Même si certaines études portant sur le développement de dispositifs et de procédés MEMS en diamant sont décrites dans la littérature, une comparaison entre les performances des deux matériaux pour le développement d'un même capteur n'a jamais été étudiée. En conséquence, cette thèse est axée sur l'utilisation de ces deux matériaux pour la conception de micro-poutres résonantes, afin d'établir des éléments de comparaison pour les deux technologies.Dans un premier temps, nous avons mis en place des procédés de micro-structuration du diamant développés auparavant dans notre laboratoire afin de les optimiser pour une fabrication totalement compatible avec les techniques de salle blanche et indépendante des variations des conditions de synthèse du diamant. Nous avons, pour la première fois, réalisé des micro-poutres en diamant avec des jauges en silicium polycristallin intégrées. Nous avons caractérisé le module d'Young du diamant en utilisant deux méthodes différentes aboutissant dans le cas le plus précis à la valeur de 1080 GPa. Ensuite, la sensibilité massique des poutres en silicium et en diamant fabriquées a été évaluée. Dans le meilleur des cas, et pour des fréquences de résonance très proches, les poutres en silicium présentent une sensibilité de 89 Hz/ng tandis que pour les poutres en diamant, la sensibilité s'élève à 212 Hz/ng. Nous avons également observé que pour des faibles variations de masse, l'impact de l'ajout de masse sur le coefficient de qualité des poutres était plus critique pour les structures en silicium.Finalement, une preuve de concept de l'utilisation du système multi-capteur à base de micro-poutres en silicium et en diamant pour la détection de composés organiques volatils a été mise en place. Nous avons démontré la détection de plusieurs composés dans des concentrations de l'ordre de la dizaine de ppm de manière totalement automatique et sans recours à des instruments de mesure. Les résultats de ces détections forment une base de données à partir de laquelle nous avons, par l'application de méthodes statistiques multivariées, abouti à la discrimination des composés testés.

Nouvelles technologies de capteurs MEMS en diamant pour des applications de transduction

Author : Alexandre Bongrain
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Book Synopsis Nouvelles technologies de capteurs MEMS en diamant pour des applications de transduction by : Alexandre Bongrain

Download or read book Nouvelles technologies de capteurs MEMS en diamant pour des applications de transduction written by Alexandre Bongrain and published by . This book was released on 2011 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les propriétés physiques et chimiques exceptionnelles du matériau diamant ont suscité l'intérêt des chercheurs pour le développement d'applications industrielles, comme par exemple dans les domaines de la dissipation thermique ou de l'électronique de puissance. En particulier, les propriétés mécaniques remarquables de ce matériau peuvent être exploitées avantageusement pour la conception de résonateurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Même si certains dispositifs MEMS à base de diamant avaient été décrits dans la littérature, les propriétés mécaniques de ce matériau n'avaient jamais été associées à ses propriétés chimiques pour la réalisation de transducteurs chimiques ou biochimiques à base de résonateurs MEMS. Ainsi, l'objectif cette thèse a été de démontrer l'intérêt de ce matériau innovant pour la fabrication de ces capteurs. Les MEMS offrent la possibilité de faire de la détection en temps réel de manière directe (sans marqueur), rapide et sensible, sur de faibles quantités d'analytes. De plus ils permettent d'adresser des cibles non électro-actives qui ne peuvent pas être détectées par des capteurs électrochimiques. Dans cette étude, nous avons développé dans un premier temps des procédés de micro-structuration spécifiques du diamant. Ces procédés entièrement compatibles avec des techniques de salle blanche ont permis d'aboutir à la réalisation de nombreux transducteurs à base de micro-leviers en diamant sur des substrats en silicium de 4 pouces. De plus les approches développées permettent d'éviter la gravure fastidieuse du matériau diamant. Leur caractérisation mécanique en régime dynamique a permis de caractériser le module d'Young E du matériau diamant synthétisé en fonction des conditions de croissance. Dans le meilleur cas une valeur de E très élevée de l'ordre de 1100 GPa a été obtenue, ce qui est très proche de la valeur du diamant monocristallin (1200GPa). Par ailleurs, nous avons pu vérifier que les propriétés de résonance (fréquence de résonance et facteur de qualité) des structures en diamant réalisées étaient supérieures à celles de structures identiques en silicium. En particulier, cela rend ces résonateurs plus aptes à être exploités en milieux liquides. Nous avons montré que dans de tels milieux les micro-leviers en diamant étaient très peu sensibles à une variation massique. En revanche leur sensibilité à une variation de masse volumique du liquide est de l'ordre de 3Hz.kg-1.m3 et donc significative. Par ailleurs, en fonctionnalisant des micro-leviers en diamant par de l'acide caproïque, nous avons mis en évidence que des variations de densité de charges à la surface des micro-leviers pouvaient induire des variations de fréquence de résonance de plusieurs dizaines de Hz dans le cas de structures vibrant à quelques kHz. Ceci a permis de mettre en évidence la grande sensibilité de nos transducteurs en diamant à des interactions moléculaires. Dans ce contexte nous avons pu réaliser un capteur d'ADN permettant la reconnaissance spécifique en temps réel de brins d'ADN cibles de 24 paires de bases sans marqueur. En parallèle de ces travaux, des structures d'actionnement et de lecture ont été intégrées et évalué sur des dispositifs résonants à base de diamant. Ceci a permis de les interfacer à un premier prototype de système d'acquisition électronique portable dédié réalisé au cours de cette thèse.

Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions

Author : Olivier Legendre
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Book Synopsis Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions by : Olivier Legendre

Download or read book Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions written by Olivier Legendre and published by . This book was released on 2013 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La problématique entourant la mise en oeuvre, la conception et le conditionnement de micro-capteurs au sein d'une application embarquée représente un enjeu industriel majeur, consiste en un vaste ensemble de défis techniques et touche à de nombreux champs de recherche scientifiques comme d'applications commerciales. Ce mémoire de thèse compile de manière pédagogique et détaillée la conception, la réalisation et l'évaluation expérimentale d'un capteur MEMS constitué d'un simple micro-filament destiné à la mesure, mutuellement, de la température, de la pression et de l'humidité d'une ambiance gazeuse, en utilisant un même et mutuel étage de conditionnement du signal - ce qui en tant que tel constitue une méthode d'intégration particulièrement originale qui est arbitrairement référencée comme "intégration totale". Aussi, le principe physique sous jacent à ce triplet de mesurage est la diffusion par conduction de la chaleur, produite par effet Joule dans l'élément sensible, à travers l'échantillon gazeux l'environnant. Ainsi, le principe de fonctionnement consiste en ce que, la réponse transitoire d'un tel ensemble permet d'une part de mettre en évidence, simultanément et de manière diagonalisable, à une température donnée, l'influence de la pression et de l'humidité sur la conductivité thermique et la capacité calorifique du couple sonde/échantillon. D'autre part, l'élément sensible est spécifiquement prévu pour que dans les conditions initiales du régime transitoire de l'échauffement, sa résistance électrique ne soit sensible qu'à la seule température ambiante, indépendamment des deux mesurandes.

Conception, réalisation et caractérisation des propriétés électriques d'un capteur silicium micro-nano permettant une Co intégration CMOS

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Author : Corentin Carmignani
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Book Synopsis Conception, réalisation et caractérisation des propriétés électriques d'un capteur silicium micro-nano permettant une Co intégration CMOS by : Corentin Carmignani

Download or read book Conception, réalisation et caractérisation des propriétés électriques d'un capteur silicium micro-nano permettant une Co intégration CMOS written by Corentin Carmignani and published by . This book was released on 2018 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Depuis le début du troisième millénaire, des domaines comme l'automobile, le médical, l'industrie agroalimentaire ou l'électronique grand public (smartphone, ordinateur, Hi-fi etc.) sont devenus de plus en plus demandeurs de puces électroniques. Les besoins ont évolué de sorte que la diversification des fonctions des puces électroniques est devenue le nouveau paradigme de la microélectronique. Dans le même temps, des objets biologiques ayant des propriétés très diverses et très spécifiques sont découverts et étudiés. Certains sont conceptuellement considérés comme des solutions ultimes pour répondre à certains défis de l'électronique moderne comme l'utilisation d'origami d'ADN pour la lithographie. De plus il existe une adéquation entre les dimensions des objets biologiques et les transistors les plus fins. Nous nous sommes donc posé la question de savoir si cette convergence d'échelle pouvait permettre la cohabitation de l'électronique et de la biologie pour créer des dispositifs hybrides. Nous avons d'abord étudié l'utilisation d'objets biologiques filiformes comme interconnexions nanométriques. Dans ces recherches des objets biologiques sont utilisés en substitution de matériaux classiques. Toutefois il est loin d'être évident de mesurer leurs propriétés électroniques (mobilité des charges, fiabilité) contrairement aux semi-conducteurs standards. Nous avons donc construit un dispositif de tests électriques facilement utilisable par les biologistes et les électroniciens pour la caractérisation électrique de ces objets biologiques nanométriques. Certains objets biologiques réalisent, de manière naturelle, des interactions ciblées avec des agents biologiques spécifiques parfois pathogènes ou dangereux, ils ont aussi l'avantage de pouvoir être fabriqués à façon comme les protéines. Cela permet d'ouvrir une nouvelle voie dans la fabrication de capteurs dans laquelle les objets biologiques seront interfacés avec les structures électroniques. Nous avons donc travaillé sur la fabrication d'un capteur hybride à base de nanofils de silicium pilotés par un circuit CMOS et permettant un interfaçage entre nanofil et objet biologique. Dans le domaine des capteurs il existe une application qui focalise actuellement beaucoup l'attention, la détection de charges électriques de faibles intensités. Il existe plusieurs techniques mais elles sont toutes perfectibles soit à cause de leur coût soit à cause du temps nécessaire à la réalisation du séquençage soit encore à cause de la difficulté de mise en œuvre du séquençage. Nous avons donc étudié la possibilité de détecter une charge électrique unique. Etant donné la complexité de la question nous avons décidé de répondre à l'aide d'une série de simulations.

Conception, fabrication et caractérisation d'un capteur de conductivité thermique à base de nanofils de silicium

Author : Jérémie Ruellan
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Book Synopsis Conception, fabrication et caractérisation d'un capteur de conductivité thermique à base de nanofils de silicium by : Jérémie Ruellan

Download or read book Conception, fabrication et caractérisation d'un capteur de conductivité thermique à base de nanofils de silicium written by Jérémie Ruellan and published by . This book was released on 2015 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les nanofils semiconducteurs sont aujourd'hui le sujet de nombreuses recherches pour leurs propriétés physiques intéressantes. S'appuyant plus spécifiquement sur les propriétés thermiques des nanostructures, l'objectif de cette thèse est de démontrer la faisabilité d'un capteur de conductivité thermique conçu à partir de nanofils de silicium pour des applications en tant que jauge Pirani ou détecteur de gaz. Le travail réalisé aborde les questions posées par la réduction de taille des objets telles que l'augmentation du bruit ou la conduction thermique en régime de raréfaction et élabore des solutions à ces problématiques. Le manuscrit aborde l'ensemble des étapes nécessaires à la réalisation d'un capteur, à savoir la conception des dispositifs, s'appuyant sur une étude détaillée du comportement physique des objets utilisés, la fabrication sur plaque 200mm de ces capteurs par la salle blanche du CEA-Leti en ayant recours aux techniques classiques de la microélectronique et enfin leur caractérisation en tant qu'instrument de mesure de pression (jauge Pirani) ou en tant que capteur de concentration de gaz. Le travail réalisé s'intègre dans un projet plus global de réalisation d'un système de détection de gaz portatif pour l'analyse de l'air ou de l'eau.

Vers l'autonomie énergétique des réseaux de capteurs embarqués

Author : Hugo Durou
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Book Synopsis Vers l'autonomie énergétique des réseaux de capteurs embarqués by : Hugo Durou

Download or read book Vers l'autonomie énergétique des réseaux de capteurs embarqués written by Hugo Durou and published by . This book was released on 2010 with total page 175 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les réseaux de capteurs communiquant sans fil offrent des possibilités extrêmement intéressantes pour l'application de surveillance de santé de structures, et particulièrement dans le secteur aéronautique. Cependant les capteurs qui constituent chaque nœud du réseau ne disposent pas de ressources énergétiques permanentes et leur autonomie énergétique sur de longues périodes est un problème. Avec la réduction de la consommation des composants électroniques et des capteurs, une solution possible et explorée depuis une dizaine d'années par de nombreuses équipes consiste à récupérer l'énergie disponible dans son environnement, de la stocker et la gérer pour alimenter le capteur. Nous proposons dans cette thèse d'exploiter le potentiel énergétique des vibrations mécaniques d'une structure aéronautique pour alimenter un capteur de surveillance de santé de structure aéronautique. Notre contribution porte sur la conception et l'intégration sur silicium d'un générateur piézoélectrique miniature et d'un micro dispositif de stockage capacitif. Concernant le générateur piézoélectrique, l'élaboration d'un modèle à éléments finis (COMSOL) couplées avec une description SPICE du circuit de charge, a permis de concevoir - une structure optimisée consistant en 4 poutres monomorphes (Si/PZT) capable de générer des puissances électriques > μW et des tensions > V en dépit de puissances mécaniques incidentes faibles : vibrations de 0,1g-0,5g @40-80 Hz. Ce dispositif a ensuite été réalisé sur silicium à l'aide de technologies MEMS et de l'usinage laser femtoseconde. Le dispositif de stockage conçu et intégré sur silicium est un condensateur à double couche électrochimique. Les différentes briques technologiques développées concernent l'optimisation des géométries d'électrodes, le dépôt de la matière active et l'encapsulation hermétique de l'électrolyte organique en atmosphère anhydre. Un modèle VHDL-AMS des deux éléments (récupérateur et stockage) réalisés est proposé et une simulation du système sur un cas d'utilisation simple est comparée à l'expérience.

Réseaux de capteurs pour l'assistance aux personnes

Author : Bastien Mainaud
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Book Synopsis Réseaux de capteurs pour l'assistance aux personnes by : Bastien Mainaud

Download or read book Réseaux de capteurs pour l'assistance aux personnes written by Bastien Mainaud and published by . This book was released on 2010 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les réseaux de capteurs ont créé un domaine de recherche très intéressant avec un champs d'applications très large. L'assistance aux personnes est notamment une des nombreux champs potentiels. Les contraintes de ce type de réseaux sont nombreuses et nécessitent des mécanismes spécifiques. Les problématiques de consommation d'énergie et de sécurité sont particulièrement importantes et ont fait l'objet de travaux spécifiques. La thématique de l'assistance aux personnes impose notamment des contraintes de robustesse et de fiabilité des communications. Le but de ces travaux de recherche est de définir diverses solutions permettant de répondre à ces problématiques. Ces travaux se décomposent en trois parties. Dans un premier temps, une plate-forme de communications basée sur les réseaux personnels PAN a été définie. Cette plate-forme a été développée et intégrée dans une station de métro Parisienne. Une modélisation de cette plate-forme ainsi qu'une analyse des observations et des résultats issus de cette intégration nous ont permis d'identifier les faiblesses de l'architecture et des technologies mises en œuvre. Dans un deuxième temps, nous avons développé diverses solutions permettant de fiabiliser cette plate-forme. En particulier, nous avons conçu un algorithme d'ordonnancement permettant de réduire la consommation d'énergie dans les réseaux capteurs par l'utilisation d'une analyse sémantique des données. Nous avons ensuite proposé une architecture de sécurité, Tiny 3-TLS, qui permet de sécurisé les communications entre un capteur et une entité située sur un réseau disjoint. Enfin, nous nous sommes intéressés aux communications entre cette plate-forme et les terminaux mobiles. L'aspect fiabilité a en particulier fait l'objet de travaux spécifiques. C'est pourquoi dans un troisième temps, nous avons proposé une solution de routage définissant une nouvelle métrique. Nous avons ensuite proposé un protocole coopératif permettant un apport de fiabilité dans les communications.

Conception et réalisation d'un capteur résonant haute pression en silicium pour le forage pétrolier

Author : Olivier Gigan
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Book Synopsis Conception et réalisation d'un capteur résonant haute pression en silicium pour le forage pétrolier by : Olivier Gigan

Download or read book Conception et réalisation d'un capteur résonant haute pression en silicium pour le forage pétrolier written by Olivier Gigan and published by . This book was released on 2007 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Conception et réalisation d'un capteur interférométrique de déplacement intégré sur substrat silicium et connecté par fibres optiques

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Author : Catherine Erbeia
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Book Synopsis Conception et réalisation d'un capteur interférométrique de déplacement intégré sur substrat silicium et connecté par fibres optiques by : Catherine Erbeia

Download or read book Conception et réalisation d'un capteur interférométrique de déplacement intégré sur substrat silicium et connecté par fibres optiques written by Catherine Erbeia and published by . This book was released on 1990 with total page 212 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CETTE ETUDE AVAIT POUR BUT DE DEMONTRER LA FAISABILITE D'UN NOUVEAU CAPTEUR DE DEPLACEMENT OPTIQUE INTEGRE INTERFEROMETRIQUE, POUVANT ETRE CONNECTE PAR DES FIBRES OPTIQUES MONOMODES, VOIRE MULTIMODES. LA TECHNOLOGIE MISE EN UVRE AU NIVEAU DU CIRCUIT OPTIQUE UTILISE UNE STRUCTURE MULTICOUCHES EPAISSE, DEVELOPPEE SPECIALEMENT AU LABORATOIRE POUR LA CONNECTIQUE PAR FIBRES. CETTE STRUCTURE PRESENTE L'AVANTAGE D'ETRE INSENSIBLE A L'ETAT DE POLARISATION DE LA LUMIERE S'Y PROPAGEANT. POUR TENIR COMPTE DE LA SPECIFICITE DE CETTE NOUVELLE FILIERE TECHNOLOGIQUE, UNE APPROCHE TOTALEMENT NOUVELLE DU CIRCUIT INTERFEROMETRIQUE INTEGRE A ETE NECESSAIRE. DANS UN PREMIER TEMPS, NOUS AVONS EFFECTUE UNE ETUDE COMPLETE DES COMPOSANTS OPTIQUES DE BASE A INTEGRER DANS LE CIRCUIT, CONDUISANT A LA DEFINITION DES DIFFERENTS NIVEAUX DE MASQUES UTILISES POUR SA REALISATION TECHNOLOGIQUE. LES PROBLEMES DE CONNEXION ENTRE LE CIRCUIT OPTIQUE ET LES FIBRES D'ENTREE ET DE SORTIE SONT AUSSI ETUDIES EN DETAIL. DANS UN SECOND TEMPS, LA CARACTERISATION DES CIRCUITS REALISES NOUS A PERMIS DE DEMONTRER LEUR FAISABILITE, TOUT EN METTANT EN EVIDENCE UN CERTAIN NOMBRE DE PROBLEMES A RESOUDRE POUR AMELIORER LEURS PERFORMANCES. NOUS NOUS SOMMES TOUT PARTICULIEREMENT ATTACHES A LA STABILISATION DE LA REPONSE DU CIRCUIT, ET, A CETTE FIN, DE NOUVEAUX COMPOSANTS INTEGRES FAISANT FONCTION DE FILTRES SPATIAUX ONT ETE DEFINIS. LE PROBLEME DE RETOUR DE LUMIERE (FEEDBACK) VERS LA DIODE LASER EST AUSSI ABORDE, ET DES SOLUTIONS DE MODULES PIGTAILES DIODE-FIBRE SONT PROPOSES. NOUS PRESENTONS ENFIN, UNE VERSION AMELIOREE DU CAPTEUR

Conception, modélisation et caractérisation d'un micro-capteur résonant de pression en silicium

Author : Hua Chen
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Book Synopsis Conception, modélisation et caractérisation d'un micro-capteur résonant de pression en silicium by : Hua Chen

Download or read book Conception, modélisation et caractérisation d'un micro-capteur résonant de pression en silicium written by Hua Chen and published by . This book was released on 2003 with total page 202 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif poursuivi dans cette thèse, est la conception, modélisation et caractérisation de nouveaux capteurs de forte pression. Différentes géométries du résonateur ont été analysées afin de comparer leurs sensibilités. Les influences de la température sont étudiées et une méthode de compensation est proposée. Des résultats expérimentaux sur des prototypes en fonction de la pression et de la température ont validé la théorie avec bons accords. La thèse est ensuite orientée ver deux types de capteur résonant: électrostatique et optique. Dans le cas de l'activation/détection électrostatique, différents modèles électromécaniques sont étudiés et comparés. Les hystérésis dues aux non-linéarités du résonateur sont quantifiées. Un modèle comportemental numérique du système électromécanique sous MATLAB/Simulink a été réalisé. De même, le principe de l'électronique associée est abordé et un modèle équivalent électrique du résonateur est extrait afin d'analyser les influences des différents éléments parasites. Les théories et les simulations sont validées avec les résultats expérimentaux. Dans le cas de capteur optique, le modèle analytique de l'activation photo-thermique a été introduit avec une étude de l'influence de la puissance optique. Des résultats de simulations par éléments finis et les tests optiques effectués ont validé les modèles théoriques. La dernière partie approfondit l'étude en s'intéressant à l'environnement du capteur. La première étude a concerné le calcul du facteur de qualité du résonateur vis à vis de la pression de l'air entourant le résonateur. Cette étude a été validée par des mesures. La deuxième étude a consisté à déterminer la résolution absolue du capteur en fonction des sources de bruit présentes dans l'oscillateur. La dernière étude concerne le packaging du capteur. La géométrie du packaging mécanique et le matériau de la pièce de support ont été examiné afin de minimiser les contraintes thermiques.

Développement sur substrat soi mince de composants N-MEMS de type capteur inertiel et étude de la co-intégration avec une filière CMOS industrielle

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Author : Thomas Baron
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Book Synopsis Développement sur substrat soi mince de composants N-MEMS de type capteur inertiel et étude de la co-intégration avec une filière CMOS industrielle by : Thomas Baron

Download or read book Développement sur substrat soi mince de composants N-MEMS de type capteur inertiel et étude de la co-intégration avec une filière CMOS industrielle written by Thomas Baron and published by . This book was released on 2008 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de cette thèse est de réaliser un capteur inertiel à partir d'un substrat SOI utilisé pour le nœud technologique CMOS 130 nm. L'objectif à long terme, afin de pouvoir adresser des applications grand public, est de fabriquer ce capteur comme une partie d'un circuit en utilisant un procédé de co-intégration NEMS « in IC ». Pour réaliser le démonstrateur accélérométrique, nous répondons aux questions relatives à la conception, la fabrication, la caractérisation et aux phénomènes physiques prépondérants à cette échelle. Nous donnons tout d'abord une vue d'ensemble des NEMS et des MEMS en nous basant sur un état de l'art. Celui-ci nous permet d'entreprendre la réduction d'échelle et de choisir un démonstrateur, un accéléromètre résonant, qui nous sert de cas d'étude pour ces travaux. Nous étudions plus en détail, de façon théorique aussi bien qu'expérimentale, le comportement de ces nano-structures. Une des principales difficultés est de caractériser le composant lui-même. A partir d'une étude théorique, nous choisissons le mode de détection capacitif et en montrons sa faisabilité. Nous réalisons en parallèle la conception de la partie mécanique du nano-système et la définition du procédé de co-intégration. Grâce à l'analyse des résultats, nous pouvons présenter quelques perspectives et des axes de travaux à poursuivre pour une meilleure compréhension au niveau de la conception, de la fabrication et de la caractérisation du NEMS. Ces travaux nous permettent de discuter la faisabilité d'un nano-accéléromètre en vue d'une application grand public, avec le choix du procédé de fabrication basé sur le noeud technologique SOI 130 nm. Ces perspectives ont pour objectifs de permettre la réduction des encombrements et la combinaison des performances du NEMS et du circuit afin de faciliter la réalisation de capteurs pour des applications grand public.

Conception et réalisation de cellules photoacoustiques miniaturisées pour la détection de traces de gaz

Author : Justin Rouxel
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Book Synopsis Conception et réalisation de cellules photoacoustiques miniaturisées pour la détection de traces de gaz by : Justin Rouxel

Download or read book Conception et réalisation de cellules photoacoustiques miniaturisées pour la détection de traces de gaz written by Justin Rouxel and published by . This book was released on 2015 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les cellules photoacoustiques sont des capteurs optiques qui utilisent l'absorption des photons par des molécules de gaz pour générer une onde de pression proportionnelle à leur concentration. Le signal photoacoustique est également inversement proportionnel au volume de la cellule. La miniaturisation de la cuve permet donc l'amélioration des performances du capteur. Le travail de cette thèse consiste en la conception, la réalisation et la caractérisation de cellules photoacoustiques résonantes différentielles d'Helmholtz (DHR) miniaturisées. Dans un premier temps, des simulations par la méthode des éléments finis de cellules à l'échelle millimétrique ont permis de montrer que la miniaturisation de ce type de résonateur est une voie prometteuse. Aussi, la réalisation ambitieuse d'une cellule DHR sur silicium a été engagée en utilisant les techniques de la microélectronique. Cependant, cette voie de miniaturisation extrême s'est heurtée à des difficultés de réalisation, qui n'ont pas permis d'obtenir des dispositifs fonctionnels. Une alternative de miniaturisation, à l'échelle centimétrique, utilisant des microphones MEMS du commerce, a donc été engagée. Trois cellules fabriquées par différentes méthodes ont été réalisées et testées pour la détection de méthane. La dernière génération a permis la détection d'environ 100 ppb de méthane avec un laser à cascade interbande commercial à 3,357 μm de longueur d'onde. Pour préparer la prochaine génération de cellules, l'optimisation de la géométrie a été effectuée par simulation. Cette optimisation permet d'envisager une augmentation de 43 % du signal par rapport à la cellule la plus performante.

Dictionary of Building and Civil Engineering

Author : Don Montague
Publisher : Taylor & Francis
ISBN 13 : 9780419199106
Total Pages : 472 pages
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Book Synopsis Dictionary of Building and Civil Engineering by : Don Montague

Download or read book Dictionary of Building and Civil Engineering written by Don Montague and published by Taylor & Francis. This book was released on 1996 with total page 472 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This dual-language dictionary lists over 20,000 specialist terms in both French and English, covering architecture, building, engineering and property terms. It meets the needs of all building professionals working on projects overseas. It has been comprehensively researched and compiled to provide an invaluable reference source in an increasingly European marketplace.

Scientific Canadian Mechanics' Magazine and Patent Office Record

Author : Canada. Patent Office
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 1070 pages
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Book Synopsis Scientific Canadian Mechanics' Magazine and Patent Office Record by : Canada. Patent Office

Download or read book Scientific Canadian Mechanics' Magazine and Patent Office Record written by Canada. Patent Office and published by . This book was released on 1966-03 with total page 1070 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

The Ladybird Illustrated

Author : D H Lawrence
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 100 pages
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Book Synopsis The Ladybird Illustrated by : D H Lawrence

Download or read book The Ladybird Illustrated written by D H Lawrence and published by . This book was released on 2020-11-09 with total page 100 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: "The Ladybird is a long tale or novella by D. H. Lawrence. It was first drafted in 1915 as a short story entitled The Thimble. Lawrence rewrote and extended it under a new title in December 1921 and sent the final version to his English agent on 9 January 1922. It was collected with two other tales, The Captain's Doll and The Fox, and the three novellas were then published in London by Martin Secker in March 1923 under the title The Ladybird and in New York by Thomas Seltzer as The Captain's Doll in April 1923."

Notes on the Minor Prophets

Author : Henry Allan Ironside
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 464 pages
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Book Synopsis Notes on the Minor Prophets by : Henry Allan Ironside

Download or read book Notes on the Minor Prophets written by Henry Allan Ironside and published by . This book was released on 1955 with total page 464 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Cambridge Yearbook of European Legal Studies, Vol 13, 2010-2011

Author : Catherine Barnard
Publisher : Bloomsbury Publishing
ISBN 13 : 184731869X
Total Pages : 337 pages
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Book Synopsis Cambridge Yearbook of European Legal Studies, Vol 13, 2010-2011 by : Catherine Barnard

Download or read book Cambridge Yearbook of European Legal Studies, Vol 13, 2010-2011 written by Catherine Barnard and published by Bloomsbury Publishing. This book was released on 2011-12-15 with total page 337 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The Cambridge Yearbook of European Legal Studies provides a forum for the scrutiny of significant issues in EU Law, the law of the European Convention on Human Rights, and Comparative Law with a 'European' dimension, and particularly those issues which have come to the fore during the year preceding publication. The contributions appearing in the collection are commissioned by the Centre for European Legal Studies (CELS) Cambridge, a research centre in the Law Faculty of the University of Cambridge specialising in European legal issues. The papers presented are at the cutting edge of the fields which they address, and reflect the views of recognised experts drawn from the University world, legal practice, and the institutions of both the EU and its Member States. Inclusion of the comparative dimension brings a fresh perspective to the study of European law, and highlights the effects of globalisation of the law more generally, and the resulting cross fertilisation of norms and ideas that has occurred among previously sovereign and separate legal orders. The Cambridge Yearbook of European Legal Studies is an invaluable resource for those wishing to keep pace with legal developments in the fast moving world of European integration. INDIVIDUAL CHAPTERS Please click on the link below to purchase individual chapters from Volume 13 through Ingenta Connect: www.ingentaconnect.com SUBSCRIPTION TO SERIES To place an annual online subscription or a print standing order through Hart Publishing please click on the link below. Please note that any customers who have a standing order for the printed volumes will now be entitled to free online access. www.hartjournals.co.uk/cyels/subs Editorial Advisory Board: Albertina Albors-Llorens, John Bell, Alan Dashwood, Simon Deakin, David Feldman, Richard Fentiman, Angus Johnston, John Spencer Founding Editors: Alan Dashwood and Angela Ward Ius Commune Prize 2012 Alexandre Saydé wrote Chapter 15 in this volume entitled: 'One Law, Two Competitions: An Enquiry into the Contradictions of Free Movement Law' and we are delighted to announce that he has been awarded the Ius Commune Prize 2012.