Modelisation Et Caracterisation Dun Plasma Microonde

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CARACTERISATION ET MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE CREE PAR UN GUIDE A FENTES

Author : GWENAEL.. TANGUY
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 135 pages
Book Rating : 4.:/5 (49 download)

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Book Synopsis CARACTERISATION ET MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE CREE PAR UN GUIDE A FENTES by : GWENAEL.. TANGUY

Download or read book CARACTERISATION ET MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE CREE PAR UN GUIDE A FENTES written by GWENAEL.. TANGUY and published by . This book was released on 2000 with total page 135 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES TRAVAUX PRESENTES DANS CE MEMOIRE TRAITENT DE LA CARACTERISATION ET DE LA MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE (2.45 GHZ) CREE PAR UN GUIDE A FENTES. NOUS NOUS SOMMES TOUT D'ABORD ATTACHES A CARACTERISER LE RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE DU GUIDE A FENTES EN ESPACE LIBRE A L'AIDE DE LA THERMOGRAPHIE INFRAROUGE ET PAR UN CALCUL ANALYTIQUE (EQUIVALENCE DIPOLE-FENTE). NOUS PRESENTONS ENSUITE LE REACTEUR MICRO-ONDE UTILISANT L'APPLICATEUR. NOUS ETUDIONS L'INFLUENCE DES PARAMETRES TELS QUE : PRESSION, PUISSANCE D'INJECTION, DISTANCE ENTRE LE GUIDE A FENTES ET L'ENCEINTE DE LA DECHARGE. LA DISTRIBUTION DU CHAMP ELECTRIQUE RAYONNE EST MESUREE PAR DES ANTENNES ELECTROMAGNETIQUES AVEC ET SANS PLASMA. LA SPECTROSCOPIE D'EMISSION ET LES SONDES DE LANGMUIR NOUS PERMETTENT DE CARACTERISER LE PLASMA D'ARGON. NOUS AVONS OBTENU DES CORRELATIONS ENTRE LES MESURES EXPERIMENTALES ET LA POSITION DES FENTES. LA MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE EN 3D EST REALISEE A L'AIDE DE LA METHODE DES ELEMENTS FINIS MIXTES D'ARETES. LE PLASMA EST DECRIT PAR UNE CONSTANTE DIELECTRIQUE AYANT UNE PARTIE REELLE ET IMAGINAIRE NEGATIVES. DANS UN PREMIER TEMPS NOUS AVONS CONSACRE NOS EFFORTS SUR LA POTENTIALITE DU MODELE EN RESOLVANT DES PROBLEMES DONT LA SOLUTION ANALYTIQUE EST CONNUE. PUIS DANS UN DEUXIEME TEMPS NOUS AVONS MODELISE NOTRE STRUCTURE D'ETUDE. DIVERS CALCULS SONT FAITS EN ETUDIANT L'INFLUENCE DE LA DISTANCE ENTRE LE GUIDE A FENTES ET LA ZONE ACTIVE DU PLASMA SUR LA REPARTITION DU CHAMP ELECTRIQUE ET CONSIDERANT DES PLASMAS AVEC DIFFERENTES DENSITES ELECTRONIQUES. POUR FINIR NOUS CONFRONTONS LES RESULTATS EXPERIMENTAUX ET CEUX OBTENUS PAR LE CALCUL NUMERIQUE AFIN D'ETABLIR DE NOUVELLES PERSPECTIVES D'INVESTIGATION.

Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasmas

Author : H. Schlüter
Publisher : Springer Science & Business Media
ISBN 13 : 9401706336
Total Pages : 580 pages
Book Rating : 4.4/5 (17 download)

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Book Synopsis Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasmas by : H. Schlüter

Download or read book Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasmas written by H. Schlüter and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2013-06-29 with total page 580 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book draws together three areas of work on plasma technologies: advanced efforts based on wave generated, high frequency plasmas, plasma assisted ion implantation, and electron beam generated plasma. It lays a foundation for the application of sources in industry and various research areas

Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires

Author : Tan Vinh Tran
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 192 pages
Book Rating : 4.:/5 (493 download)

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Book Synopsis Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires by : Tan Vinh Tran

Download or read book Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires written by Tan Vinh Tran and published by . This book was released on 2006 with total page 192 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'extension d'échelle des procédés plasma fonctionnant à très faibles pressions est l'une des problématiques à résoudre pour leur essor au niveau industriel. Une solution consiste à distribuer uniformément des sources de plasma élémentaires dans lesquelles le plasma est produit par couplage à la résonance cyclotronique électronique (RCE). Ces sources élémentaires sont constituées d'un aimant permanent cylindrique (dipôle magnétique) disposé à l'extrémité d'une structure coaxiale d'amenée des micro-ondes. Bien que conceptuellement simple, l'optimisation de ces sources de plasma dipolaires est complexe. Elle requiert la connaissance, d'une part, des configurations de champ magnétique statique et électrique micro-onde, et, d'autre part, des mécanismes de production du plasma, dans les zones de champ magnétique fort (condition RCE), et des mécanismes de diffusion. Ainsi, une caractérisation expérimentale des domaines de fonctionnement et des paramètres plasma par sonde de Langmuir et par spectroscopie d'émission optique a été menée sur différentes configurations de sources dipolaires. Parallèlement, une première modélisation analytique a permis de calculer des champs magnétiques de configurations simples, le mouvement et la trajectoire des électrons dans ces champs magnétiques, l'accélération des électrons par couplage RCE. Ces résultats ont permis ensuite de valider la modélisation numérique des trajectoires électroniques par une méthode hybride Particle In Cell / Monte-Carlo. L'étude expérimentale a mis en évidence des domaines de fonctionnement pression/puissance très larges, entre 15 et 200 W de puissance micro-onde et depuis 0,5 jusqu'à 15 mTorr dans l'argon. L'étude des paramètres plasma a permis de localiser la zone de couplage RCE près du plan équatorial de l'aimant et de confirmer l'influence de la géométrie de l'aimant sur cette dernière. Ces caractérisations appliquées à un réacteur cylindrique utilisant 48 sources ont montré la possibilité d'atteindre au centre de l'enceinte des densités entre 1011 et 1012 cm-3 pour des pressions d'argon de quelques mTorr. La modélisation des trajectoires électroniques au voisinage des aimants indique un meilleur confinement radial pour des aimants présentant un rapport longueur/diamètre élevé. De plus, cette étude numérique confirme les résultats de l'étude expérimentale, à savoir une zone de couplage RCE près du plan équatorial et non au voisinage de l'extrémité du guide coaxial micro-onde. Enfin, ces résultats ont été appliqués avec succés à la pulvérisation assistée par plasma multi-dipolaire de cibles, permettant en particulier une usure uniforme de ces dernières.

Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires

Author : Tan Vinh Tran
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 0 pages
Book Rating : 4.:/5 (125 download)

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Book Synopsis Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires by : Tan Vinh Tran

Download or read book Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires written by Tan Vinh Tran and published by . This book was released on 2007 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'extension d'échelle des procédés plasma fonctionnant à très faibles pressions est l'une des problématiques à résoudre pour leur essor au niveau industriel. Une solution consiste à distribuer uniformément des sources de plasma élémentaires dans lesquelles le plasma est produit par couplage à la résonance cyclotronique électronique (RCE). Ces sources élémentaires sont constituées d'un aimant permanent cylindrique (dipôle magnétique) disposé à l'extrémité d'une structure coaxiale d'amenée des micro-ondes. Bien que conceptuellement simple, l'optimisation de ces sources de plasma dipolaires est complexe. Elle requiert la connaissance, d'une part, des configurations de champ magnétique statique et électrique micro-onde, et, d'autre part, des mécanismes de production du plasma, dans les zones de champ magnétique fort (condition RCE), et des mécanismes de diffusion. Ainsi, une caractérisation expérimentale des domaines de fonctionnement et des paramètres plasma par sonde de Langmuir et par spectroscopie d'émission optique a été menée sur différentes configurations de sources dipolaires. Parallèlement, une première modélisation analytique a permis de calculer des champs magnétiques de configurations simples, le mouvement et la trajectoire des électrons dans ces champs magnétiques, l'accélération des électrons par couplage RCE. Ces résultats ont permis ensuite de valider la modélisation numérique des trajectoires électroniques par une méthode hybride Particle In Cell / Monte-Carlo. L'étude expérimentale a mis en évidence des domaines de fonctionnement pression/puissance très larges, entre 15 et 200 W de puissance micro-onde et depuis 0,5 jusqu'à 15 mTorr dans l'argon. L'étude des paramètres plasma a permis de localiser la zone de couplage RCE près du plan équatorial de l'aimant et de confirmer l'influence de la géométrie de l'aimant sur cette dernière. Ces caractérisations appliquées à un réacteur cylindrique utilisant 48 sources ont montré la possibilité d'atteindre au centre de l'enceinte des densités entre 1011 et 1012 cm-3 pour des pressions d'argon de quelques mTorr. La modélisation des trajectoires électroniques au voisinage des aimants indique un meilleur confinement radial pour des aimants présentant un rapport longueur/diamètre élevé. De plus, cette étude numérique confirme les résultats de l'étude expérimentale, à savoir une zone de couplage RCE près du plan équatorial et non au voisinage de l'extrémité du guide coaxial micro-onde. Enfin, ces résultats ont été appliqués avec succés à la pulvérisation assistée par plasma multi-dipolaire de cibles, permettant en particulier une usure uniforme de ces dernières.

Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde

Author : Virginie Viel
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 149 pages
Book Rating : 4.:/5 (489 download)

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Book Synopsis Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde by : Virginie Viel

Download or read book Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde written by Virginie Viel and published by . This book was released on 1995 with total page 149 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objet de ce travail réside dans l'étude d'un plasma froid, créé par microondes et destiné à la gravure ou au dépôts de matériaux. Le plasma étant créé par rayonnement microondes, la modélisation du réacteur est obtenue à partir de la résolution des équations de Maxwell dans un milieu ionisé. Le calcul de la densité dérive de la résolution des équations de transport du plasma. Une méthode de perturbation permet de tenir compte de l'influence du champ électrique sur le coefficient d'ionisation. La partie expérimentale est consacrée aux caractérisations du plasma par sonde de Langmuir et à la caractérisation des champs électriques par une antenne. un bon accord est obtenu entre la théorie et les résultats expérimentaux, et cette thèse met à la disposition d'utilisateurs potentiels, un moyen de simulation puissant.

Electrothermics

Author : Javad Fouladgar
Publisher : John Wiley & Sons
ISBN 13 : 1118563085
Total Pages : 255 pages
Book Rating : 4.1/5 (185 download)

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Book Synopsis Electrothermics by : Javad Fouladgar

Download or read book Electrothermics written by Javad Fouladgar and published by John Wiley & Sons. This book was released on 2012-12-13 with total page 255 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book concerns the analysis and design of induction heating of poor electrical conduction materials. Some innovating applications such as inductive plasma installation or transformers, thermo inductive non-destructive testing and carbon-reinforced composite materials heating are studied. Analytical, semi-analytical and numerical models are combined to obtain the best modeling technique for each case. Each model has been tested with experimental results and validated. The principal aspects of a computational package to solve these kinds of coupled problems are described. In the first chapter, the mathematical tools for coupled electromagnetic and thermal phenomena are introduced. In Chapter 2, these tools are used to analyze a radio frequency inductive plasma installation. The third chapter describes the methodology of designing a low frequency plasma transformer. Chapter 4 studies the feasibility of the thermo inductive technique for non-destructive testing and the final chapter is dedicated to the use of induction heating in the lifecycle of carbon-reinforced composite materials. Contents 1. Thermal and Electromagnetic Coupling, Javad Fouladgar, Didier Trichet and Brahim Ramdane. 2. Simplified Model of a Radiofrequency Inductive Thermal Plasma Installation, Javad Fouladgar and Jean-Pierre Ploteau. 3. Design Methodology of A Very Low-Frequency Plasma Transformer, Javad Fouladgar and Souri Mohamed Mimoune. 4. Non Destructive Testing by Thermo-Inductive Method, Javad Fouladgar, Brahim Ramdane, Didier Trichet and Tayeb Saidi. 5. Induction Heating of Composite Materials, Javad Fouladgar, Didier Trichet, Samir Bensaid and Guillaume Wasselynck

Masters Theses in the Pure and Applied Sciences

Author : W. H. Shafer
Publisher : Springer Science & Business Media
ISBN 13 : 1468442295
Total Pages : 311 pages
Book Rating : 4.4/5 (684 download)

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Book Synopsis Masters Theses in the Pure and Applied Sciences by : W. H. Shafer

Download or read book Masters Theses in the Pure and Applied Sciences written by W. H. Shafer and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2012-12-06 with total page 311 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Masters Theses in the Pure and Applied Sciences was first conceived, published, and dis seminated by the Center for Information and Numerical Data Analysis and Synthesis (CINDAS) * at Purdue University in 1957, starting its coverage of theses with the academic year 1955. Beginning with Volume 13, the printing and dissemination phases of the ac tivity were transferred to University Microfilms/Xerox of Ann Arbor, Michigan, with the thought that such an arrangement would be more beneficial to the academic and general scientific and technical community. After five years of this joint undertaking we had concluded that it was in the interest of all concerned if the printing and distribution of the volume were handled by an international publishing. house to assure improved service and broader dissemination. Hence, starting with Volume 18, Masters Theses in the Pure and Applied Sciences has been disseminated on a worldwide basis by Plenum Publishing Corporation of New York, and in the same year the coverage was broadened to include Canadian universities. All back issues can also be ordered from Plenum. We have reported in Volume 25 (thesis year 1980) a total of 10,308 theses titles from 27 Canadian and 214 United States universities. We are sure that this broader base for theses titles reported will greatly enhance the value of this important annual reference work. While Volume 25 reports theses submitted in 1980, on occasion, certain universities do report theses submitted in previous years but not reported at the time.

Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle

Author : Louis Latrasse
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 115 pages
Book Rating : 4.:/5 (834 download)

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Book Synopsis Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle by : Louis Latrasse

Download or read book Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle written by Louis Latrasse and published by . This book was released on 2006 with total page 115 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le μm/min et les dépôts sont uniformes.

Masters Theses in the Pure and Applied Sciences

Author : Wade H. Shafer
Publisher : Springer Science & Business Media
ISBN 13 : 1461519691
Total Pages : 426 pages
Book Rating : 4.4/5 (615 download)

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Book Synopsis Masters Theses in the Pure and Applied Sciences by : Wade H. Shafer

Download or read book Masters Theses in the Pure and Applied Sciences written by Wade H. Shafer and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2012-12-06 with total page 426 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Masters Theses in the Pure and Applied Sciences was first conceived, published, and disseminated by the Center for Information and Numerical Data Analysis and Synthesis (CINDAS)* at Purdue University in 1957, starting its coverage of theses with the academic year 1955. Beginning with Volume 13, the printing and dis semination phases of the activity were transferred to University Microfilms/Xerox of Ann Arbor, Michigan, with the thought that such an arrangement would be more beneficial to the academic and general scientific and technical community. After five years of this joint undertaking we had concluded that it was in the interest of all concerned if the printing and distribution of the volumes were handled by an international publishing house to assure improved service and broader dissemination. Hence, starting with Volume 18, Masters Theses in the Pure and Applied Sciences has been disseminated on a worldwide basis by Plenum Publishing Corporation of New York, and in the same year the coverage was broadened to include Canadian universities. All back issues can also be ordered from Plenum. We have reported in Volume 38 (thesis year 1993) a total of 13,787 thesis titles from 22 Canadian and 164 United States universities. We are sure that this broader base for these titles reported will greatly enhance the value of this impor tant annual reference work. While Volume 38 reports theses submitted in 1993, on occasion, certain uni versities do report theses submitted in previous years but not reported at the time.

Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle

Author : Louis Latrasse
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 0 pages
Book Rating : 4.:/5 (125 download)

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Book Synopsis Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle by : Louis Latrasse

Download or read book Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle written by Louis Latrasse and published by . This book was released on 2007 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le μm/min et les dépôts sont uniformes.

Dissertation Abstracts International

Author :
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 800 pages
Book Rating : 4.F/5 ( download)

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Book Synopsis Dissertation Abstracts International by :

Download or read book Dissertation Abstracts International written by and published by . This book was released on 2008 with total page 800 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Journal de physique, théorique et appliquée

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Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 764 pages
Book Rating : 4.1/5 (886 download)

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Book Synopsis Journal de physique, théorique et appliquée by :

Download or read book Journal de physique, théorique et appliquée written by and published by . This book was released on 1978 with total page 764 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Revue de physique appliquée

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Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 636 pages
Book Rating : 4.:/5 ( download)

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Book Synopsis Revue de physique appliquée by :

Download or read book Revue de physique appliquée written by and published by . This book was released on 1978 with total page 636 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Comprehensive Hard Materials

Author : Daniele Mari
Publisher : Newnes
ISBN 13 : 0080965288
Total Pages : 1809 pages
Book Rating : 4.0/5 (89 download)

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Book Synopsis Comprehensive Hard Materials by : Daniele Mari

Download or read book Comprehensive Hard Materials written by Daniele Mari and published by Newnes. This book was released on 2014-02-01 with total page 1809 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Comprehensive Hard Materials, Three Volume Set deals with the production, uses and properties of the carbides, nitrides and borides of these metals and those of titanium, as well as tools of ceramics, the superhard boron nitrides and diamond and related compounds. Articles include the technologies of powder production (including their precursor materials), milling, granulation, cold and hot compaction, sintering, hot isostatic pressing, hot-pressing, injection moulding, as well as on the coating technologies for refractory metals, hard metals and hard materials. The characterization, testing, quality assurance and applications are also covered. Comprehensive Hard Materials provides meaningful insights on materials at the leading edge of technology. It aids continued research and development of these materials and as such it is a critical information resource to academics and industry professionals facing the technological challenges of the future. Hard materials operate at the leading edge of technology, and continued research and development of such materials is critical to meet the technological challenges of the future. Users of this work can improve their knowledge of basic principles and gain a better understanding of process/structure/property relationships. With the convergence of nanotechnology, coating techniques, and functionally graded materials to the cognitive science of cemented carbides, cermets, advanced ceramics, super-hard materials and composites, it is evident that the full potential of this class of materials is far from exhausted. This work unites these important areas of research and will provide useful insights to users through its extensive cross-referencing and thematic presentation. To link academic to industrial usage of hard materials and vice versa, this work deals with the production, uses and properties of the carbides, nitrides and borides of these metals and those of titanium, as well as tools of ceramics, the superhard boron nitrides and diamond and related compounds.

American Doctoral Dissertations

Author :
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 784 pages
Book Rating : 4.3/5 (91 download)

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Book Synopsis American Doctoral Dissertations by :

Download or read book American Doctoral Dissertations written by and published by . This book was released on 1998 with total page 784 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Dépot chimique en phase vapeur d'oxydes (SiO2, Al2O3) sur des substrats métalliques dans une post-décharge micro-onde

Author : Christophe Regnier
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 200 pages
Book Rating : 4.:/5 (799 download)

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Book Synopsis Dépot chimique en phase vapeur d'oxydes (SiO2, Al2O3) sur des substrats métalliques dans une post-décharge micro-onde by : Christophe Regnier

Download or read book Dépot chimique en phase vapeur d'oxydes (SiO2, Al2O3) sur des substrats métalliques dans une post-décharge micro-onde written by Christophe Regnier and published by . This book was released on 1995 with total page 200 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DES MELANGES SILANE/ARGON ET TMA/ARGON ONT ETE EMPLOYES POUR DEPOSER DES FILMS DE SILICE ET D'ALUMINE DANS UNE POST-DECHARGE MICRO-ONDE D'OXYGENE, A BASSE TEMPERATURE (

Plasma Processing of Semiconductors

Author : P.F. Williams
Publisher : Springer Science & Business Media
ISBN 13 : 9401158843
Total Pages : 610 pages
Book Rating : 4.4/5 (11 download)

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Book Synopsis Plasma Processing of Semiconductors by : P.F. Williams

Download or read book Plasma Processing of Semiconductors written by P.F. Williams and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2013-11-11 with total page 610 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.