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Modelisation Bidimensionnelle De Loxydation Du Silicium
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Book Synopsis Modélisation bidimensionnelle de l'oxydation du silicium by : Vincent Senez
Download or read book Modélisation bidimensionnelle de l'oxydation du silicium written by Vincent Senez and published by . This book was released on 1995 with total page 474 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La miniaturisation des circuits intégrés permet d'améliorer leurs performances (rapidité/faible consommation), d'augmenter leur intégration et de réduire leurs coûts. Dans cette perspective, l'amélioration des techniques d'isolation est indispensable. Un état de l'art actuel fait apparaître que la croissance thermique d'un oxyde de silicium est le procédé d'isolation le plus largement employé. Sa conception doit minimiser la surface occupée sans générer de défauts cristallins dans le substrat. La simulation de technologie permet de déterminer, rapidement et à moindre coût, le meilleur compromis. Le travail présente dans ce manuscrit contribue à améliorer l'exactitude de cet outil numérique d'aide à la conception. Plus précisément, une modélisation avancée du phénomène d'oxydation thermique du silicium a été développée et implantée dans le simulateur de technologie impact-4. La souplesse de la méthode des éléments finis permet le calcul des formes d'oxyde pour un grand nombre de configurations topologiques. Deux approches sont proposées : la première calcule avec exactitude les profils d'isolation pour des structures où le matériau oxyde peut-être considéré comme indéformable (locos, silo, swami). La seconde, plus générale et plus physique, s'applique à tout type d'isolation et fournit une carte complète des contraintes mécaniques dans l'ensemble de la structure. Les effets des contraintes sur la cinétique d'oxydation sont modélisés. Les comportements rhéologiques des matériaux ont été généralisés pour une large gamme de procédés technologiques et leur nature intrinsèquement viscoélastique est prise en compte. Les algorithmes qui ont été mis au point constituent une première étape vers le calcul mécanique systématique permettant aux simulateurs de technologie de prédire l'évolution spatiale et temporelle des champs de contraintes au même titre que celle des dopages. Finalement, les capacités de prédiction du modèle sont illustrées par différentes applications : l'optimisation du locos enterre d'une technologie bicmos 0.8 m, l'analyse des dispositifs avances que sont les structures pbl et silo. Enfin, la simulation des caractéristiques électriques d'un transistor MOS parasité à l'aide du simulateur de dispositif impact-3 constitue une ultime validation.
Book Synopsis MODELISATION ET SIMULATION MULTI-NIVEAUX DE L'OXYDATION THERMIQUE DU SILICIUM SI(100) by : Alain Estève
Download or read book MODELISATION ET SIMULATION MULTI-NIVEAUX DE L'OXYDATION THERMIQUE DU SILICIUM SI(100) written by Alain Estève and published by . This book was released on 2000 with total page 163 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL PRESENTE UNE PREMIERE TENTATIVE POUR SIMULER L'OXYDATION DU SILICIUM EN TENANT COMPTE DES MECANISMES A L'ECHELLE ATOMIQUE ET EN METTANT EN UVRE UN ENSEMBLE DE MODELES HIERARCHISES. IL S'INSCRIT DANS LE CONTEXTE ACTUEL DE LA TENDANCE A LA REDUCTION DES DIMENSIONS DES COMPOSANTS MICROELECTRONIQUES, NECESSITANT DES COUCHES D'OXYDE DE PLUS EN PLUS FINES. A CES DIMENSIONS, LE RECOURS AUX MECANISMES MICROSCOPIQUES DEVIENT INEVITABLE, C'EST LA RAISON DE L'UTILISATION DES MODELES HIERARCHISES : - AB INITIO, FONDE SUR LA THEORIE DE LA FONCTIONNELLE DENSITE, POUR DETERMINER LES MECANISMES ELEMENTAIRES ET LES ENERGIES D'ACTIVATION ASSOCIEES, - MONTE CARLO POUR MELANGER CES MECANISMES ELEMENTAIRES DANS UN SYSTEME A GRAND NOMBRE D'ATOMES ET SIMULER LES CONFIGURATIONS RENCONTREES A HAUTE TEMPERATURE, - CINETIQUE CHIMIQUE QUI REPREND LES MECANISMES LES PLUS PERTINENTS POUR TRAITER DES DIMENSIONS LATERALES MACROSCOPIQUES ET POUR ACCELERER LE CALCUL, AVEC UNE FINALITE D'UTILISATION INDUSTRIELLE. CHACUN DE CES MODELES FOURNIT DES MECANISMES ET DES PARAMETRES AU MODELE SUIVANT QUI TRAITE UN PLUS GRAND NOMBRE D'ATOMES, SIMULE DES DUREES D'EXPERIENCE PLUS LONGUES AVEC DES TEMPS DE CALCUL PLUS COURTS. NOUS AVONS MONTRE, A L'AIDE DE CALCULS AB INITIO, L'EXISTENCE DE DEUX MECANISMES FONDAMENTAUX: - LA REACTION DE L'OXYGENE AVEC DES LIAISONS SI-SI POUR FORMER DES LIAISONS SI-O-SI - L'ARRACHAGE DES ATOMES DE SILICIUM CRISTALLIN POUR FORMER DES MOLECULES SIO QUI SONT ENSUITE REABSORBEES. LA TECHNIQUE DE MONTE CARLO NOUS A PERMIS DE METTRE EN CONCURRENCE CES DEUX MECANISMES, EN MEME TEMPS QUE D'AUTRES PLUS CONNUS DE LA CROISSANCE DES COUCHES. NOUS AVONS AINSI SIMULE LA CROISSANCE DE COUCHES D'OXYDE DANS DIVERSES CONDITIONS EXPERIMENTALES: TEMPERATURE, PRESSION, ET COMPARE NOS RESULTATS AVEC LES DONNEES EXPERIMENTALES DE DIFFERENTES NATURES. ENFIN NOUS AVONS EXPRIME L'EVOLUTION DES VALEURS MOYENNES DES CONCENTRATIONS DES PRINCIPALES ESPECES RENCONTREES DANS LA SIMULATION MONTE CARLO, EN TERME D'EQUATIONS AUX DERIVEES PARTIELLES. NOUS AVONS RESOLU CES EQUATIONS POUR EN DEDUIRE LA CINETIQUE D'OXYDATION ET DE CREATION DES DEFAUTS. POUR EFFECTUER CES SIMULATIONS, NOUS AVONS DEVELOPPE ET VALIDE DEUX LOGICIELS DE TYPE MONTE CARLO (OXCAD) ET MACROSCOPIQUE. LES PREMIERES VERSIONS DE CES LOGICIELS SONT SUFFISAMMENT SOUPLES POUR QUE DE NOUVEAUX PUISSENT Y ETRE FACILEMENT IMPLANTES.
Book Synopsis Simulation bidimensionnelle de technologies silicium by : Bruno Baccus
Download or read book Simulation bidimensionnelle de technologies silicium written by Bruno Baccus and published by . This book was released on 1990 with total page 432 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Un code de simulation bidimensionnelle des procédés technologiques silicium a été développé : impact 4. L'approche multicouche permet la redistribution des impuretés dans tous les matériaux courants, pour des technologies mos (metal-oxyde-semiconducteur) ou bipolaires. La méthode des éléments finis a été retenue pour la discrétisation des équations de diffusion, utilisant des éléments triangulaires linéaires, l'intégration temporelle étant effectuée par un schéma implicite incomplet. Un traitement original de la matrice finale autorise une solution efficace aux problèmes numériques engendrés par la ségrégation des impuretés aux interfaces. L'oxydation bidimensionnelle est modelisée sous la forme de l'ecoulément d'un fluide visqueux incompressible. Par ailleurs, une approche unifiée de maillage est utilisée pour toutes ces étapes numériques. Le couplage avec la redistribution des impuretés a également été étudié, se révélant compatible avec les discrétisations spatiales et temporelles des équations de diffusion. Enfin, des procédures originales de maillage adaptatif sont proposées, déterminant des résultats intéressants au niveau du gain en temps de calcul et de la précision des profils de dopage dans le cas de structures complexes de grandes dimensions. Trois applications valident ce programme. En particulier, l'influence de paramètres technologiques sur les performances de deux procédés bipolaires est analysée
Book Synopsis Modélisation de l'oxydation thermique du silicium by : Alain Fargeix
Download or read book Modélisation de l'oxydation thermique du silicium written by Alain Fargeix and published by . This book was released on 1984 with total page 89 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: INTERPRETATION DU REGIME INITIAL ANORMALEMENT RAPIDE D'OXYDATION SECHE PAR UN RALENTISSEMENT DE LA DIFFUSION DE L'OXYDANT AU VOISINAGE DE L'INTERFACE OXYDE-SILICIUM DU A LA PRESENCE DE FORTES CONTRAINTES COMPRESSIVES. DEVELOPPEMENT D'UN MODELE GENERAL D'OXYDATION SOUS CONTRAINTES PERMETTANT DE DECRIRE LA CINETIQUE DE CROISSANCE SUR UNE GAMME ETENDUE DE TEMPERATURES D'OXYDATION ET D'EPAISSEURS
Book Synopsis Simulation bidimensionnelle des processus technologiques dans le cas des structures silicium-sur-isolant obtenues par implantation d'Oxygène by : Issam Sweid
Download or read book Simulation bidimensionnelle des processus technologiques dans le cas des structures silicium-sur-isolant obtenues par implantation d'Oxygène written by Issam Sweid and published by . This book was released on 1990 with total page 156 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: UN PROGRAMME DE SIMULATION BIDIMENSIONNELLE DES PROCESSUS TECHNOLOGIQUES DANS LE CAS DE STRUCTURES SILICIUM-SUR-ISOLANT OBTENUES PAR IMPLANTATION D'OXYGENE. OSIRIS II A ETE DEVELOPPE. IL PERMET DE SIMULER LES PRINCIPALES ETAPES DE FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES SUR SIMOX. LES MODELES PHYSIQUES UTILISES POUR L'OXYDATION, L'IMPLANTATION IONIQUE ET LA DIFFUSION DES DOPANTS SONT EXPOSES. PAR AILLEURS, UNE SOLUTION ANALYTIQUE-NUMERIQUE DE L'EQUATION DE DIFFUSION DANS LE CAS DES STRUCTURES SIMOX A ETE PROPOSEE. LE COUPLAGE DU PROGRAMME OSIRIS II AVEC ISIS II DE SIMULATION DU COMPORTEMENT ELECTRIQUE DES T-MOS SUR SILICIUM-SUR-ISOLANT A ETE PRESENTE. ENFIN, LES POSSIBILITES DU PROGRAMME SONT ILLUSTREES PAR DES EXEMPLES DE SIMULATION D'UN TRANSISTOR MOS SUR SIMOX
Book Synopsis Computing Methods in Applied Sciences and Engineering by : R. Glowinski
Download or read book Computing Methods in Applied Sciences and Engineering written by R. Glowinski and published by North-Holland. This book was released on 1982 with total page 694 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Modélisation à l'échelle atomique des premiers stades de l'oxydation du silicium by : Anne Hemeryck
Download or read book Modélisation à l'échelle atomique des premiers stades de l'oxydation du silicium written by Anne Hemeryck and published by . This book was released on 2008 with total page 189 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La tendance permanente à la réduction des dimensions des composants de la microélectronique mène à la fabrication de couches d'oxydes de plus en plus fines. Afin de poursuivre cette miniaturisation, le recours à la caractérisation de ces couches, impliquant la connaissance parfaite de l'interface Si/SiO2, devient incontournable. Des simulations précises et prédictives des procédés aux échelles atomiques et microscopiques peuvent aider à cette caractérisation. Notre étude consiste en la détermination des premiers stades de l'oxydation thermique d'un substrat de silicium grâce à la mise en œuvre d'une approche multi échelles. L'utilisation des calculs ab initio permet l'identification des propriétés locales des mécanismes élémentaires de l'oxydation à l'échelle atomique en termes de structures atomiques et électroniques, d'énergies d'activation de diffusions... La croissance d'oxyde selon les procédés de fabrication peut être reproduite par le développement d'un simulateur Monte Carlo cinétique à partir des mécanismes réactionnels identifiés. Le recours au Monte Carlo cinétique est nécessaire pour atteindre des échelles de temps et d'espace suffisantes pour simuler les procédés de fabrication. Nous avons réalisé des calculs ab initio à l'échelle atomique et développé un code Monte Carlo cinétique nommé Oxcad afin d'appréhender, de caractériser et de simuler les premières étapes de l'oxydation thermique d'une surface de silicium.
Book Synopsis Computing Methods in Applied Sciences and Engineering, VI by : R. Glowinski
Download or read book Computing Methods in Applied Sciences and Engineering, VI written by R. Glowinski and published by North-Holland. This book was released on 1984 with total page 752 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Download or read book ICREEC 2019 written by Ahmed Belasri and published by Springer Nature. This book was released on 2020-06-10 with total page 659 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book highlights peer reviewed articles from the 1st International Conference on Renewable Energy and Energy Conversion, ICREEC 2019, held at Oran in Algeria. It presents recent advances, brings together researchers and professionals in the area and presents a platform to exchange ideas and establish opportunities for a sustainable future. Topics covered in this proceedings, but not limited to, are photovoltaic systems, bioenergy, laser and plasma technology, fluid and flow for energy, software for energy and impact of energy on the environment.
Book Synopsis Optical Properties of Low Dimensional Silicon Structures by : B. Bensahel
Download or read book Optical Properties of Low Dimensional Silicon Structures written by B. Bensahel and published by Springer. This book was released on 1993-08-31 with total page 239 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The workshop on "Optical Properties of Low Dimensional Silicon sL Structures" was held in Meylan, France on March, I yd, 1993. The workshop took place inside the facilities of France Telecom- CNET. Around 45 leading scientists working on this rapidly moving field were in attendance. Principal support was provided by the Advanced Research Workshop Program of the North Atlantic Treaty Organisation (NATO). French Delegation a l'Armement and CNET gave also a small financial grant, the organisational part being undertaken by the SEE and CNET. There is currently intense research activity worldwide devoted to the optical properties of low dimensional silicon structures. This follow the recent discovery of efficient visible photoluminescence (PL) from highly porous silicon. This workshop was intended to bring together all the leading European scientists and laboratories in order to reveal the state of the art and to open new research fields on this subject. A large number of invited talks took place (12) together with regular contribution (20). The speakers were asked to leave nearly 1/3 of the time to the discussion with the audience, and that promoted both formal and informal discussions between the participants.
Book Synopsis Mass Spectrometry of Polymers by : Giorgio Montaudo
Download or read book Mass Spectrometry of Polymers written by Giorgio Montaudo and published by CRC Press. This book was released on 2001-10-29 with total page 601 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Mass Spectrometry (MS) has rapidly become an indispensable tool in polymer analysis, and modern MS today complements in many ways the structural data provided by Nuclear Magnetic Resonance (NMR) and Infrared (IR) methods. Recent advances have sparked a growing interest in this field and established a need for a summary of progress made and results
Book Synopsis Pillared Clays and Related Catalysts by : Antonio Gil
Download or read book Pillared Clays and Related Catalysts written by Antonio Gil and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2010-08-28 with total page 531 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Since the first works introducing the aluminum intercalated clay family in the early 1970s, interest in the synthesis of pillared interlayered clays has increased tremendously, especially research into the properties and applications of new synthesis methods. The need for solids that could be used as cracking catalysts with larger pores than zeolitic materials has spurred the synthesis of new porous materials from clays. Pillared Clays and Related Catalysts reviews the properties and applications of pillared clays and other layered materials used as catalysts, focusing on: the acidity of pillared clays and the effect it has on catalytic performance the use of pillared clays as supports for catalytically active phases, and the use of the resulting solids in environmentally friendly reactions the applications of the selective reduction of NOx the comparison between the reactions of pillared clays and anionic clays.
Book Synopsis Materials and Surface Engineering in Tribology by : Jamal Takadoum
Download or read book Materials and Surface Engineering in Tribology written by Jamal Takadoum and published by John Wiley & Sons. This book was released on 2013-05-10 with total page 179 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This title is designed to provide a clear and comprehensive overview of tribology. The book introduces the notion of a surface in tribology where a solid surface is described from topographical, structural, mechanical, and energetic perspectives. It also describes the principal techniques used to characterize and analyze surfaces. The title then discusses what may be called the fundamentals of tribology by introducing and describing the concepts of adhesion, friction, wear, and lubrication. The book focuses on the materials used in tribology, introducing the major classes of materials used, either in their bulk states or as coatings, including both protective layers and other coatings used for decorative purposes. Of especial importance to the tribology community are sections that provide the latest information on Nanotribology, Wear, Lubrication, and Wear-Corrosion: Tribocorrosion and Erosion-Corrosion.
Book Synopsis Organosilicon Chemistry III by : Norbert Auner
Download or read book Organosilicon Chemistry III written by Norbert Auner and published by John Wiley & Sons. This book was released on 2008-08-29 with total page 742 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Organosilicon Chemistry at its best ...((kursiv)) Like its two hugely successful predecessors, the third volume again presents the latest developments in a rapidly developing field of industsrial and academic research. The contributions from approx. 80 internationally renowned experts and researchers in this fascinating part of the rapidly growing field of main group chemistry describe current trends in organosilicon chemistry and provide summaries of the latest (1997!) knowledge in this area. To facilitate access to the ongoing research this volume is split into two parts, each with a comprehensive introduction: Part 1: Fascinating Organosilicon Compounds Part 2: Silicon Based Materials
Book Synopsis Chemical Physics of Intercalation by : A.P. Legrand
Download or read book Chemical Physics of Intercalation written by A.P. Legrand and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2013-12-11 with total page 503 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Conjugated polymers suoh as polyaoetylene (CH)x polyphenylene (C6H4)x' poly thiophene (C4H2S)x' etc., which are insulators in their pristine state, can be brought to the metallic state after "doping" with ohemioal speoies whioh oan be either eleotron donors or I aoceptors. . This doping prooess involves a oharge transfer between the dopant moleoule and the polymer ohain whioh are then supposed to be spatially olose to each other. It follows that the meohanism of doping must be oonsidered as an aotual interoalation process, which will greatly affeot the struotural oharacteristios of the starting material, as well as its morphology, as has been observed during the 2 intercalation of graphite and layered compounds . In parallel with these modifioations, the band struoture of the system changes yielding a new set of eleotronio properties. It is evident therefore that the struotural and eleotronio properties are intimately related, and must be studied simultaneously in the same system to give reliable information. A great number of studies have been devoted to the structural and electronic properties of conjugated polymers after a chemical or 2 electrochemical doping process . Most of these concern the properties of the system for a given dopant concentration. With this approach a universal pioture of the polymer/dopant system is very diffioult to obtain, as a comparison between different experiments is very hazardous. On the other hand, only a small number of measurements have been performed during the continuous electroohemioal doping of various polymers.
Book Synopsis Surfactants: Chemistry, Interfacial Properties, Applications by : D. Möbius
Download or read book Surfactants: Chemistry, Interfacial Properties, Applications written by D. Möbius and published by Elsevier. This book was released on 2001-12-21 with total page 679 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This publication provides comprehensive material on the chemical and physical attributes of surfactants and new models for the understanding of structure-property relationships. Surfactants Chemistry, Interfacial Properties, Applications provides efficient instruments for the prognostication of principal physicochemical properties and the technologic applicability from the structure of a surfactant through the discussion of interrelations between the chemical structure, physicochemical properties and the efficiency of technologic application. Also included are informative overviews on new experimental techniques and abundant reference material on manufacturers, nomenclature, product properties, and experimental examples. The publication is accompanied by a CD-ROM, which is needed for the application of the thermodynamic and kinetic models to experimental data.
Book Synopsis Library of Congress Name Headings with References by : Library of Congress
Download or read book Library of Congress Name Headings with References written by Library of Congress and published by . This book was released on 1975 with total page 990 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
