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Elaboration De Couches De Nitrure De Titane Par Depot Chimique A Partir De La Phase Gazeuse
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Book Synopsis Elaboration de couches de nitrure de titane par dépôt chimique à partir de la phase gazeuse by : Hélène de Baynast
Download or read book Elaboration de couches de nitrure de titane par dépôt chimique à partir de la phase gazeuse written by Hélène de Baynast and published by . This book was released on 2000 with total page 386 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette étude porte sur l'élaboration et la caractérisation des films de nitrure de titane déposés sur silicium par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à partir des précurseurs: tétrachlorure de titane (TiC14), ammoniac (NH3) et hydrogène (H2). Les films sont réalisés dans un réacteur basse pression à chauffage rapide (RTLPCVD). Deux procédés de dépôt ont été proposés: un procédé monocycle et un procédé multicyle, ainsi que deux groupes de paramètres: le groupe 1 avec une haute température de dépôt (800ʿC) et une phase gazeuse riche en ammoniac et le groupe 2 avec une faible température de dépôt (500ʿC) et une phase gazeuse pauvre en ammoniac. Le principe de dépôt CVD repose sur des phénomènes d'adsorption, de diffusion et de germination. L'étude des coefficients de sursaturation et des énergies libres de surface a permis de calculer les rayons des germes critiques. Des hypothèses sur les modes de croissance ont été émises: la germination des couches élaborées avec les paramètres du groupe 1 se ferait selon le mode de croissance 2D-3D alors que la germination des couches élaborées avec les paramétres du groupe 2 se ferait selon le mode de croissance 3D. Les dépôts ont été caractérisés par diffraction X, RBS, XPS, mesure de résistivité, spectrocolorimétrie, rugosité de surface et comportement tribologique. Les dépôts obtenus sont stoechiométriques, cristallisés et texturés avec une orientation cristallographique 111 pour les dépôts du groupe 1 et 200 pour les dépôts du groupe 2. L'analyse des films par diffraction X a montré que le paramètre de maille des couches variait par rapport au paramètre théorique selon les groupes de paramètres et le procèdé utilisé. Les analyses chimiques ont révélé la présence d'oxygène à l'intérieur des couches probablement aux joints de grains et aux interfaces. Un rapprochement entre couleur des couches, paramètres de dépôt, procédé d'élaboration, défauts cristallographiques et rugosité de surface a été proposé.
Book Synopsis ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PRESSION REDUITE ET CHAUFFAGE RAPIDE, ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE by : Luc Imhoff
Download or read book ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PRESSION REDUITE ET CHAUFFAGE RAPIDE, ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE written by Luc Imhoff and published by . This book was released on 1997 with total page 159 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE TRAITE DU DEPOT DE FILMS DE NITRURE DE TITANE (TIN) ELABORES PAR REACTION CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE (CVD) EN UTILISANT LES PRECURSEURS SUIVANTS : TETRACHLORURE DE TITANE (TICI#4), AMMONIAC (NH#3) ET HYDROGENE (H#2). LES FILMS SONT REALISES DANS UN REACTEUR ALLIANT LES AVANTAGES DE LA CVD BASSE PRESSION (LPCVD) A CEUX DE LA METHODE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE (RTP). DES CALCULS THERMODYNAMIQUES SONT EFFECTUES DANS LE BUT DE DETERMINER L'INFLUENCE DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX AINSI QUE DE LA NATURE DE LA SURFACE SUR LAQUELLE LE DEPOT A LIEU. LES MEILLEURS RENDEMENTS THERMODYNAMIQUES DE FORMATION DE TIN SONT OBTENUS POUR UNE PHASE GAZEUSE RICHE EN AMMONIAC AVEC UNE TEMPERATURE PROCHE DE 1100 K. UN BILAN REACTIONNEL EST PROPOSE DANS LEQUEL LE SOUS-CHLORURE TICI#3 APPARAIT COMME LE REACTIF PREDOMINANT. UNE ETUDE CINETIQUE EST DEVELOPPEE AFIN D'EXPLIQUER LA CROISSANCE DU TIN PAR CE PROCEDE. ELLE ABOUTIT A UN MODELE QUI PERMET D'EXPLIQUER A LA FOIS LES RESULTATS DE CETTE ETUDE ET LES RESULTATS PARFOIS CONTRADICTOIRES REPORTES PAR LA LITTERATURE. CE MODELE MONTRE QUE LE MECANISME DE DEPOT EST CONTROLE PAR LES ADSORPTIONS COMPETITIVES DU TICI#4 ET DE NH#3, ET MET L'ACCENT SUR L'IMPORTANCE DE LA GEOMETRIE D'INJECTION DES GAZ. LES DEPOTS SONT CARACTERISES PAR DIFFRACTION DE RAYONS X, RBS, XPS, MESURE DE LA RESISTIVITE ET MESURE DE L'ADHERENCE PAR L'ESSAI DE RAYURE. ILS SONT TOUJOURS TEXTURES (ORIENTATIONS CRISTALLOGRAPHIQUES 111 ET 200), STOECHIOMETRIQUES ET ADHERENTS. L'INCORPORATION D'OXYGENE EST COMPRISE ENTRE 1 ET 10%. LE CHLORE N'EST JAMAIS DETECTE. LES VALEURS DE RESISTIVITE OBTENUES SONT COMPRISES ENTRE 20 ET 300 .CM. A L'AIDE DE CES RESULTATS, UN PROCEDE EXPERIMENTAL PERMETTANT DE CONTROLER L'ORIENTATION CRISTALLINE DES FILMS A BASSE TEMPERATURE, TOUT EN CONSERVANT LES PROPRIETES ENONCEES, EST PROPOSE.
Author :Hélène de Baynast Publisher :Editions Universitaires Europeennes ISBN 13 :9783838181011 Total Pages :232 pages Book Rating :4.1/5 (81 download)
Book Synopsis Elaboration de couches de TiN par dépôt chimique en phase gazeuse by : Hélène de Baynast
Download or read book Elaboration de couches de TiN par dépôt chimique en phase gazeuse written by Hélène de Baynast and published by Editions Universitaires Europeennes. This book was released on 2012 with total page 232 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ce travail porte sur l'elaboration et la caracterisation des films de nitrure de titane deposes sur silicium par CVD a partir des precurseurs: tetrachlorure de titane (TiCl4), ammoniac (NH3) et hydrogene (H2). Les films sont realises dans un reacteur basse pression a chauffage rapide (RTLPCVD). Deux procedes de depot ont ete proposes: un monocycle et un multicycle, ainsi que deux groupes de parametres: le groupe 1 avec une haute temperature de depot (800 C) et une phase gazeuse riche en ammoniac et le groupe 2 avec une faible temperature de depot (500 C) et une phase gazeuse pauvre en ammoniac. L'etude des coefficients de sursaturation et des energies libres de surface a permis de calculer les rayons des germes critiques. Des hypotheses sur les modes de croissance ont ete emises: la germination des couches elaborees avec les parametres du groupe 1 se ferait selon le mode de germination 2D-3D alors que la germination des groupes elaborees avec les parametres du groupe 2 se ferait selon le mode de croissance 3D. Les depots ont ete caracterises par diffraction X, RBS, XPS, mesure de resistivite, spectrocolorimetrie, rugosite de surface et comportement tribologique.
Book Synopsis ELABORATION DE COUCHES MINCES DE (TI, AL)N PAR OMCVD by : SANDRA.. GILLES
Download or read book ELABORATION DE COUCHES MINCES DE (TI, AL)N PAR OMCVD written by SANDRA.. GILLES and published by . This book was released on 1997 with total page 163 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES COUCHES MINCES DE (TI, AL)N FONT L'OBJET D'ATTENTIONS PARTICULIERES A CAUSE DE L'AMELIORATION SIGNIFICATIVE DE LA RESISTANCE A L'OXYDATION QU'ELLES PRESENTENT PAR RAPPORT AUX REVETEMENTS DURS DE TIN. NOUS AVONS TESTE L'UTILISATION DE PRECURSEURS ORGANO-METALLIQUES POUR SYNTHETISER DES FILMS DE (TI, AL)N A DES TEMPERATURES INFERIEURES A 400 C PAR LA TECHNIQUE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR OMCVD. LES PRECURSEURS CHOISIS SONT LE TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE (TDMAT), L'HEXADIMETHYLAMIDE DE DIALUMINIUM (HDMADA) ET LE TRI-ISOBUTYL ALUMINIUM (TIBA). COMPTE TENU DES DONNEES THERMODYNAMIQUES DISPONIBLES, NOUS AVONS PU, A L'AIDE D'UN PROGRAMME DE SIMULATIONS THERMODYNAMIQUES, DETERMINER CERTAINES PLAGES DE PARAMETRES FAVORABLES AU DEPOT DE PHASES PURES DE NITRURES DE TITANE - ALUMINIUM. LES DIAGRAMMES D'EQUILIBRE DE PHASES STABLES ET METASTABLES DU SYSTEME TERNAIRE TI-AL-N ONT ETE ETABLIS ENTRE 200 ET 1600 C. L'ETUDE EXPERIMENTALE DES DEPOTS DES PHASES BINAIRES TIN ET AIN NOUS A PERMIS D'OPTIMISER LES PARAMETRES ET DE VOIR LEUR INFLUENCE SUR LA CONTAMINATION DES FILMS. EN FONCTION DE CES RESULTATS LES DEPOTS DE (TI,AL)N ONT ETE REALISES A L'AIDE DE DEUX MELANGES REACTIONNELS : - TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE + HEXADIMETHYLAMIDE DE DIALUMINIUM + AMMONIAC - TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE + TRI-ISOBUTYL ALUMINIUM + AMMONIAC LE PREMIER MELANGE REACTIONNEL NOUS A PERMIS DE DEPOSER A BASSE TEMPERATURE (400 C) A UNE PRESSION DE 25 MBAR, DES FILMS DE (TI,AL)N ; DE STRUCTURE CUBIQUE, CES FILMS SONT COMPOSES DE GRAINS DE TAILLE NANOMETRIQUE. LE PARAMETRE LE PLUS INTERESSANT POUR FAIRE VARIER LE RAPPORT AL/TI EST LE DEBIT D'AMMONIAC. LE DEUXIEME MELANGE REACTIONNEL SEMBLE PRATIQUE POUR DEPOSER DES MULTICOUCHES TIN/ALN.
Book Synopsis Étude de couches minces préparées par dépôt chimique en phase vapeur à partir du composé de coordination tris 2,2'-bipyridine titane 0 by : Roland Morancho
Download or read book Étude de couches minces préparées par dépôt chimique en phase vapeur à partir du composé de coordination tris 2,2'-bipyridine titane 0 written by Roland Morancho and published by . This book was released on 1980 with total page 322 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Élaboration du carbure et du nitrure de titane par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur by : Javier-Arturo Montes De Oca-Valero
Download or read book Élaboration du carbure et du nitrure de titane par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur written by Javier-Arturo Montes De Oca-Valero and published by . This book was released on 2002 with total page 166 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Le carbure et le nitrure de titane ont été élaborés par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur. Ces procédés ont permis l'obtention d'un revêtement céramique épais et dense en vue de la protection d'un dispositif métallique en tungstène. L'influence des différents paramètres expérimentaux, propres à chaque procédé, a été étudiée sur la germination, la microstructure et la texturation des revêtments, tout en intégrant l'interaction avec le substrat. L'analyse des contraintes résiduelles, réalisée par la méthode de sin2Psy, a permis d'expliquer le comportement vis-à-vis de la fissuration de différents dépôts.
Book Synopsis Carbure, nitrure et carbonitrure de titane élaborés à partir d'un précurseur organométallique by : Joel͏̈ Slifirski
Download or read book Carbure, nitrure et carbonitrure de titane élaborés à partir d'un précurseur organométallique written by Joel͏̈ Slifirski and published by . This book was released on 1993 with total page 106 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DU CARBURE, NITRURE ET CARBONITRURE DE TITANE ONT ETE ELABORES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE A PARTIR D'UN PRECURSEUR ORGANOMETALLIQUE (OMCVD): LE DICHLORO TITANOCENE (CP#2TICL#2). LE COMPORTEMENT THERMIQUE DE CE PRODUIT SOLIDE EST CARACTERISE PAR PLUSIEURS TECHNIQUES QUI ONT PERMIS ENTRE AUTRES DE PRECISER SA TEMPERATURE DE FUSION. L'EVOLUTION DES PROPRIETES DU DEPOT EST ETUDIEE EN FONCTION DES CONDITIONS D'ELABORATION ET NOTAMMENT DE LA TEMPERATURE DE VAPORISATION DU PRECURSEUR. LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT EN ACIER 35CD4 EST EGALEMENT UN PARAMETRE IMPORTANT EN PARTICULIER POUR LA COMPOSITION DES REVETEMENTS ET DONC LEURS PROPRIETES MECANIQUES (DURETE VICKERS ET ADHERENCE). UN REACTEUR SPECIFIQUE EST DEVELOPPE ET ETUDIE A L'AIDE DE LA METHODOLOGIE DES PLANS D'EXPERIENCE. SON ORIGINALITE REPOSE SUR L'UTILISATION D'UN DISPOSITIF PERMETTANT D'AVOIR UNE TEMPERATURE DE PAROI CONSTANTE ENTE LA VAPORISATION DU PRECURSEUR ET LE SUBSTRAT. DU CARBURE DE TITANE A AINSI ETE ELABORE CONFIRMANT L'INFLUENCE PREPONDERANTE DE LA TEMPERATURE DE VAPORISATION ET DE LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT. LE TEMPS DE SEJOUR DES MOLECULES EN PHASE GAZEUSE A EGALEMENT ETE ETUDIE
Book Synopsis Etude de composés organométalliques du titane précurseurs de carbures, nitrures et siliciures par dépôt chimique en phase vapeur by : Benoit Chansou
Download or read book Etude de composés organométalliques du titane précurseurs de carbures, nitrures et siliciures par dépôt chimique en phase vapeur written by Benoit Chansou and published by . This book was released on 1996 with total page 149 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LE RECOUVREMENT DE PIECES MASSIVES PAR DES FILMS MINCES CERAMIQUES PERMET D'AJOUTER DES PROPRIETES DE SURFACE (MECANIQUE, ELECTRONIQUE, OPTIQUE,) AUX PROPRIETES DE VOLUME INHERENTES A LA PIECE. PARMI LES NOMBREUSES TECHNIQUES PERMETTANT LA REALISATION DES FILMS CERAMIQUES, L'O.M.C.V.D. (DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PARTIR DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES) POSSEDE LE DOUBLE AVANTAGE DE PERMETTRE DES DEPOTS A BASSE TEMPERATURE ET SUR DES PIECES DE FORMES COMPLEXES. CE MEMOIRE REND COMPTE DE LA SYNTHESE ET DE L'ETUDE DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES PRECURSEURS POTENTIELS DE CARBURES, NITRURES ET SILICIURES DE TITANE. L'ETUDE DU COMPORTEMENT THERMIQUE DES COMPOSES SYNTHETISES, EFFECTUEE PAR ANALYSE THERMIQUE GRAVIMETRIQUE ET ANALYSE THERMIQUE DIFFERENTIELLE, COUPLEES A DE LA SPECTROMETRIE DE MASSE, PERMET D'ETUDIER LE TRANSPORT DES COMPOSES EN PHASE GAZEUSE ET LA CORRELATION ENTRE LES PRODUITS ISSUS DE LEUR DECOMPOSITION ET LES CERAMIQUES DESIREES. CES ETUDES SONT MISES A PROFIT LORS DE LA REALISATION DES DEPOTS PAR C.V.D. EN PERMETTANT UN CHOIX JUDICIEUX DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX. LES TECHNIQUES D'ANALYSE DE SURFACE HABITUELLES (M.E.B., E.D.S., E.P.M.A., X.P.S., R.X.) SONT UTILISEES POUR LA CARACTERISATION DES DEPOTS
Book Synopsis Etude de couches minces preparées par dépôt chimique en phase vapeur à partir du compose de coordination tris (2,2' -bipyridine) titane (O) by : Roland Morancho
Download or read book Etude de couches minces preparées par dépôt chimique en phase vapeur à partir du compose de coordination tris (2,2' -bipyridine) titane (O) written by Roland Morancho and published by . This book was released on 1980 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Réalisation de couches minces de nitrure de titane par dépôt ionique avec évaporation laser du titane by : Luc Vergnaud
Download or read book Réalisation de couches minces de nitrure de titane par dépôt ionique avec évaporation laser du titane written by Luc Vergnaud and published by . This book was released on 1994 with total page 106 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES TRAVAUX CONCERNENT L'ETUDE ET L'OPTIMISATION D'UN SYSTEME DE DEPOT DE COUCHES MINCES ANTI-USURE UTILISANT UNE SOURCE D'EVAPORATION PAR LASER PULSE, DANS LE BUT DE POUVOIR DEPOSER CES COUCHES MINCES A L'INTERIEUR DE TUBES DE FAIBLES DIAMETRES, LES TECHNIQUES CLASSIQUES NE LE PERMETTANT PAS. TOUT D'ABORD, LE CHOIX DU MATERIAU DE DEPOT LE NITRURE DE TITANE EST JUSTIFIE ET SES PRINCIPALES PROPRIETES DECRITES. LE BUT DE CE TRAVAIL ETANT D'ESSAYER DE COMPRENDRE ET DE MAITRISER CETTE METHODE DE DEPOT, UNE SYNTHESE DES TRAVAUX REALISES SUR L'INTERACTION LASER-MATIERE EST PRESENTEE, AFIN D'EXPLIQUER LES PHENOMENES MIS EN JEU PUIS DEFINIR LES PARAMETRES IMPORTANTS. NOUS NOUS SOMMES ENSUITE ATTACHES A REALISER PUIS OPTIMISER UNE SOURCE D'EVAPORATION LASER PERMETTANT D'OBTENIR DES DEPOTS DE BONNE QUALITE. A PARTIR DE LA, ET APRES AVOIR EXPLIQUE LE FONCTIONNEMENT DU SYSTEME DE DEPOT UTILISE, NOUS AVONS REALISE DES COUCHES MINCES EN FAISANT VARIER LES DIFFERENTS PARAMETRES PRESSION, TEMPERATURE DE SUBSTRAT, POLARISATION DU SUBSTRAT, VITESSE DE DEPLACEMENT DE LA CIBLE, CYCLE DE NETTOYAGE. LES PROPRIETES DES DEPOTS OBTENUS SONT ALORS DECRITES PUIS ANALYSEES AFIN DE DETERMINER LES PARAMETRES OPTIMAUX POUR L'OBTENTION DE COUCHES ANTI-USURE A L'INTERIEUR DE TUBES DE FAIBLES DIAMETRES
Book Synopsis Précurseurs organométalliques de nitrure et de carbure de titane et de vanadium by : François Laurent
Download or read book Précurseurs organométalliques de nitrure et de carbure de titane et de vanadium written by François Laurent and published by . This book was released on 1992 with total page 268 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CETTE THESE REND COMPTE DE TRAVAUX CONCERNANT L'OBTENTION DE NITRURE ET DE CARBURE DE TITANE ET DE VANADIUM, PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CVD) A PARTIR DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES. CES TRAVAUX S'INSERENT DANS UN PROGRAMME DE RECHERCHE PLUS GENERAL DONT L'OBJECTIF EST L'ELABORATION D'UN SYSTEME CERAMIQUE QUATERNAIRE RENFERMANT A LA FOIS DU TITANE, DU VANADIUM, DE L'AZOTE ET DU CARBONE. AFIN D'AVOIR UNE IDEE DE LEUR COMPORTEMENT THERMIQUE, L'ETUDE DES MOLECULES SYNTHETISEES, PAR ANALYSE THERMOGRAVIMETRIQUE (ATG) ET PAR ANALYSE THERMIQUE DIFFERENTIELLE (ATD), COUPLEES A L'ANALYSE DES EFFLUENTS GAZEUX DE DECOMPOSITION PAR SPECTROMETRIE DE MASSE, A ETE EFFECTUEE DE MATIERE SYSTEMATIQUE. LES RESULTATS DE CES ETUDES ONT PERMIS DE SELECTIONNER LES MOLECULES QUI REPONDAIENT AU MIEUX AUX CONDITIONS SPECIFIEES DANS LE CONTRAT DRET QUI A FINANCE CE TRAVAIL: PRECURSEURS VOLATILS, STABLES DANS LES CONDITIONS AMBIANTES, PERMETTANT LE REVETEMENT D'ACIER A DES TEMPERATURES INFERIEURES A 600#OC. LE MEMOIRE DE THESE, REND COMPTE DE LA SYNTHESE DE COMPOSES CONNUS ET ORIGINAUX, DE LEUR ETUDE THERMIQUE ET D'ESSAIS PRELIMINAIRES DE CVD A PARTIR DES MEILLEURS CANDIDATS PRECURSEURS DES QUATRE CERAMIQUES BINAIRES: TIN, TIC, VN ET VC. IL PRESENTE EGALEMENT, LES PREMIERS ESSAIS DE SYNTHESE DE COMPLEXES HETEROBIMETALLIQUES RENFERMANT LE TITANE ET LE VANADIUM
Book Synopsis Realisation de couches minces de nitrure de titane par depot ionique avec evaporation laser du titane by : Luc Vergnaud
Download or read book Realisation de couches minces de nitrure de titane par depot ionique avec evaporation laser du titane written by Luc Vergnaud and published by . This book was released on 1994 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE, A TEMPERATURE MODEREE, DU CARBURE DE TITANE A PARTIR DES SOUS-CHLORURES by : Jean-Paul Piton
Download or read book ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE, A TEMPERATURE MODEREE, DU CARBURE DE TITANE A PARTIR DES SOUS-CHLORURES written by Jean-Paul Piton and published by . This book was released on 1990 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE THEORIQUE ET EXPERIMENTALE DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE DU CARBURE DE TITANE, HABITUELLEMENT REALISE A PARTIR DE TETRACHLORURE DE TITANE, DE METHANE ET D'HYDROGENE, A ETE EFFECTUEE EN SE DIFFERENCIANT DU PROCEDE GENERALEMENT EMPLOYE PAR TROIS POINTS PRINCIPAUX: 1) UNE TEMPERATURE DE DEPOT MODEREE, PLUS BASSE QUE CELLES HABITUELLEMENT UTILISEES; 2) UNE PREREDUCTION DU TICL#4 PAR DU TITANE PORTE A PLUS HAUTE TEMPERATURE; 3) L'EMPLOI DU BUTANE COMME HYDROCARUBRE. APRES UNE ETUDE THERMODYNAMIQUE QUI A PERMIS DE RECHERCHER LES CONDITIONS DE DEPOT OPTIMUM, L'ETUDE EXPERIMENTALE A PERMIS DE PRECISER: 1) UNE LIMITATION CINETIQUE DE REDUCTION DES SOUS-CHLORURES QUI N'A PLUS LIEU D'ETRE LORSQUE LE DEBIT DU BUTANE AUGMENTE, CAR ON OBSERVE ALORS UNE REACTION DE DISMUTATION DES SOUS-CHLORURES DE TITANE; 2) UNE LIMITATION CINETIQUE DE DECOMPOSITION DU BUTANE. AINSI LE CARBURE DE TITANE PEUT ETRE DEPOSE NETTEMENT HORS EQUILIBRE EN OPERANT AVEC UNE FORTE SURSATURATION EN REACTIFS. CE QUI PERMET, AVEC LA FAIBLE TEMPERATURE EMPLOYEE, D'OBTENIR DES DEPOTS POLYNUCLEES A GRAINS TRES FINS, PRESENTANT DES MICRODURETES TRES ELEVEES, LORSQUE LE POURCENTAGE DE CHLORE INCORPORE EST FAIBLE ET QU'IL N'Y A NI CARBONE LIBRE NI MICROPOROSITES. LES VITESSES DE DEPOT SONT IMPORTANTES, ENTRE SIX ET DOUZE MICRONS PAR HEURE, DANS LES CONDITIONS DONNANT DE FORTES MICRODURETES
Book Synopsis COMPLEXES DU TITANE, DU VANADIUM ET DU ZIRCONIUM by : JIANSHE.. ZHAO
Download or read book COMPLEXES DU TITANE, DU VANADIUM ET DU ZIRCONIUM written by JIANSHE.. ZHAO and published by . This book was released on 1998 with total page 177 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL REND TOUT D'ABORD COMPTE DE LA SYNTHESE ET DE L'ETUDE DE PLUSIEURS COMPOSES MONOMETALLIQUES DU TITANE, DU VANADIUM ET DU ZIRCONIUM, ET SURTOUT DE CELLE DES PREMIERS EXEMPLES DE COMPOSES HETEROBIMETALLIQUES ORGANOMETALLIQUES ZIRCONIUM-VANADIUM. CES COMPOSES RESULTENT DE L'ADDITION OXYDANTE DU VANADOCENE SUR LES LIGANDS ALCYNES DE COMPOSES DICYCLOPENTADIENYLES DU ZIRCONIUM. LES COMPOSES POUR LESQUELS LES LIGANDS CYCLOPENTADIENYLES DE L'ATOME DE ZIRCONIUM SONT PORTEURS D'UN GROUPEMENT METHYLE, TERTIOBUTYLE ET TRIMETHYLSILYLE ONT ETE ETUDIES PAR DIFFRACTION DES RAYONS X. L'ARRANGEMENT STRUCTURAL DES MOLECULES, QUI AVAIT ETE EBAUCHE PAR ANALYSE INFRAROUGE, RAMAN, ET PAR MAGNETISME, A MONTRE DES CARACTERISTIQUES SINGULIERES : LES ENTITES DICYCLOPENTADIENYLZIRCONIUM ET VANADIUM SONT LIEES DE PART ET D'AUTRE DE L'ENCHAINEMENT CARBONE D'UNE ENTITE DIPHENYLBUTADIENE DANS LAQUELLE LES CARBONES INTERNES SONT TETRACOORDINES PLANS. LE TRAVAIL ABORDE ENSUITE L'UTILISATION DE CERTAINS DES COMPOSES PRECEDENTS ET EN PARTICULIER CEUX DU TITANE ET DU VANADIUM COMME PRECURSEURS POUR L'ELABORATION DE FILMS CERAMIQUES DE TYPE CARBURE, NITRURE ET/OU SILICIURE PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD). L'ETUDE D'UN PRECURSEUR COMPREND SA CONCEPTION, SA SYNTHESE, SA CARACTERISATION, L'ETUDE DE SON COMPORTEMENT THERMIQUE PAR ANALYSE THERMOGRAVIMETRIQUE COUPLEE A LA SPECTROMETRIE DE MASSE, LES PREMIERS ESSAIS DE DECOMPOSITION PAR CVD, ET L'ANALYSE DES DEPOTS OBTENUS PAR LES TECHNIQUES D'ANALYSE DES SURFACES COMME LA MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGE, ET LA SPECTROSCOPIE D'ELECTRONS POUR L'ANALYSE CHIMIQUE (ESCA). CE TYPE D'ETUDE EST DETAILLE DANS LE CAS DU COMPOSE BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINODICHLOROCYCLOPENTADIENYLTITANE QUI EST UTILISE COMME PRECURSEUR DE CARBONITRURE DE TITANE. PAR AILLEURS, DES DEPOTS DE SILICIURE DE TITANE ISSUS DE LA DECOMPOSITION D'UN METALLACYCLE SONT DECRITS ET L'INFLUENCE DE L'ETAT DE SURFACE DU SUBSTRAT EST ETUDIEE DANS LE CAS DE L'UTILISATION D'ACIERS RECOUVERTS D'UNE COUCHE DE CONVERSION.
Book Synopsis ETUDE DES MECANISMES DE NITRURATION DU TITANE PAR VOIE THERMODIFFUSIONNELLE EN MILIEU PLASMA HORS EQUILIBRE BASSE PRESSION by : PATRICIA.. SAILLARD
Download or read book ETUDE DES MECANISMES DE NITRURATION DU TITANE PAR VOIE THERMODIFFUSIONNELLE EN MILIEU PLASMA HORS EQUILIBRE BASSE PRESSION written by PATRICIA.. SAILLARD and published by . This book was released on 1990 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL A POUR BUT, D'UNE PART LA COMPREHENSION DES MECANISMES DE NITRURATION DU TITANE MASSIF (OU EN COUCHE MINCE) PAR VOIE THERMODIFFUSIONNELLE EN MILIEU PLASMA HORS EQUILIBRE BASSE PRESSION, ET D'AUTRE PART, LA DETERMINATION DES PARAMETRES DU REACTEUR CONTROLANT LA CINETIQUE DE NITRURATION. LES TECHNIQUES DE SPECTROSCOPIES D'EMISSION ET D'ABSORPTION AINSI QUE LA CHROMATOGRAPHIE NOUS ONT PERMIS D'ACCEDER AUX PARAMETRES DE FONCTIONNEMENT DU REACTEUR QUI CONTROLENT LA REACTIVITE DU PLASMA. CES MEMES TECHNIQUES ONT PERMIS DE DETERMINER A L'INTERFACE PLASMA-SURFACE LA NATURE ET L'ETAT ENERGETIQUE DES ESPECES GAZEUSES SUSCEPTIBLES DE PARTICIPER A LA NITRURATION. L'ANALYSE PHYSICO-CHIMIQUE DU SUBSTRAT TRAITE A PERMIS, D'UNE PART DE METTRE EN EVIDENCE L'EFFICACITE SUPERIEURE D'UN TRAITEMENT PLASMA PAR RAPPORT A UN TRAITEMENT THERMIQUE CLASSIQUE, ET D'AUTRE PART DE RELIER L'EFFICACITE DU TRAITEMENT PLASMA AUX PROPRIETES CHIMIQUES ET ENERGETIQUES DE L'INTERFACE GAZEUX. LA NITRURATION DU TITANE EN MILIEU PLASMA RESULTE DE L'INTERACTION DES ESPECES NEUTRES ET DU BOMBARDEMENT DE LA SURFACE PAR LES IONS. LA NITRURATION PAR LES NEUTRES NECESSITE UNE REDUCTION PREALABLE DE L'OXYDE SUPERFICIEL INITIAL; ELLE PEUT ETRE AUSSI CORRELEE A LA NATURE ET A L'ETAT ENERGETIQUE DES ESPECES INCIDENTES. LE BOMBARDEMENT IONIQUE DU SUBSTRAT CONDUIT A L'EMISSION D'ELECTRONS SECONDAIRES, A LA PULVERISATION DES COUCHES SUPERFICIELLES DU SUBSTRAT SUIVIE D'UNE REDEPOSITION DE NITRURE FORME EN PHASE GAZEUSE, ET A L'IMPLANTATION DES IONS. LA COMPETITION ENTRE L'ACTION DES NEUTRES ET DES IONS DEPEND DES PARAMETRES DE FONCTIONNEMENT DU REACTEUR
Book Synopsis Complexes du titane et du vanadium vers le système céramique quaternaire V.Ti.C.N par dépôt chimique en phase vapeur by : Christine Danjoy
Download or read book Complexes du titane et du vanadium vers le système céramique quaternaire V.Ti.C.N par dépôt chimique en phase vapeur written by Christine Danjoy and published by . This book was released on 1996 with total page 217 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CETTE THESE REND COMPTE D'UNE ETUDE DE FAISABILITE D'UNE CERAMIQUE QUATERNAIRE CARBONITRURE DE TITANE ET DE VANADIUM (V.TI.C.N.), PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PARTIR DE PRECURSEURS ORGANOMETALLIQUES (O.M.C.V.D.). LA PREMIERE APPROCHE DE CE PROBLEME A CONSISTE EN LA FORMATION DE CETTE CERAMIQUE A PARTIR DE LA CO-DECOMPOSITION DE DEUX COMPOSES ORGANOMETALLIQUES, L'UN PRECURSEUR DE CARBONITRURE TITANE, CPTICL#2N(SIME#3)#2 (CP = C#5H#5, ME = CH#3) ; L'AUTRE PRECURSEUR DE CARBURE DE VANADIUM, CP#2VME#2 (CP = C#5H#5, ME = CH#3). LA SECONDE APPROCHE A ETE BASEE SUR LA SYNTHESE D'UN PRECURSEUR UNIQUE HETEROBIMETALLIQUE DU TITANE ET DU VANADIUM. UN COMPLEXE BIMETALLIQUE A ETE SYNTHETISE ET CARACTERISE CP#2TI(C=CC#6H#5)(C=CC#6H#5)VCP#2. CE TRAVAIL A IMPLIQUE UNE PART IMPORTANTE DE SYNTHESE CHIMIQUE DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES ET LEUR CARACTERISATION, NOTAMMENT PAR ANALYSE THERMOGRAVIMETRIQUE ET DIFFERENTIELLE COUPLEE A LA SPECTROMETRIE DE MASSE DES EFFLUENTS GAZEUX DE DECOMPOSITION. LES RESULTATS OBTENUS ONT PERMIS DE SELECTIONNER, PARMI LES COMPOSES SYNTHETISES, CEUX QUI OFFRENT LES CARACTERISTIQUES REPONDANT AU MIEUX AUX CRITERES CVD ET A CEUX SPECIFIES DANS LE CONTRAT OPTIMISATION DE REVETEMENTS DURS ET ADHERENTS PAR DEPOTS CHIMIQUES QUI A FINANCE CE TRAVAIL. DES REVETEMENTS SUR ACIER ONT ENSUITE ETE ELABORES PAR C.V.D. A PARTIR DE CP#2VME#2 ET DE CPTICL#2N(SIME#3)#2. LES FILMS ONT ETE CARACTERISES PAR LES TECHNIQUES HABITUELLES D'ANALYSE DE SURFACES X.P.S., E.D.S., DIFFRACTION DES RAYONS X ET MICROSCOPIE ELECTRONIQUE.
Book Synopsis Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) by : Karim Makaoui
Download or read book Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS) written by Karim Makaoui and published by . This book was released on 2012 with total page 211 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette thèse est dédiée à l’étude de couches minces de TiO2 déposées par des procédés plasmas à basse pression et basse température. Hormis, leurs propriétés semi-conductrices intéressantes pour leur utilisation en tant que collecteur d’électrons, le dioxyde de titane possède un indice de réfraction et une constante diélectrique élevés, qui le rende attractif pour des dispositifs électriques ou d’optique intégrée. Les propriétés des couches minces de TiO2 dépendent fortement du procédé de dépôt utilisé. Dans le cadre de cette thèse, trois procédés plasma sont étudiés et comparés. La structure et la composition des couches minces déposées sont étudiées par DRX, XPS, EDX, leur morphologie par MEB et leurs propriétés optiques par ellipsométrie. Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) en mélange O2/TIPT (Tetra Isopropoxyde de Titane) riche en oxygène à basse température (T
