Author : Abdelkrim Roumili
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 212 pages
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Book Synopsis Transition cristal-amorphe dans le silicium sous bombardement d'ions légers by : Abdelkrim Roumili
Download or read book Transition cristal-amorphe dans le silicium sous bombardement d'ions légers written by Abdelkrim Roumili and published by . This book was released on 1990 with total page 212 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LE BUT DE CE MEMOIRE EST D'ETUDIER LES PHENOMENES DE TRANSITION CRISTAL-AMORPHE INDUITS PAR IMPLANTATION D'IONS LEGERS DANS LE SILICIUM. DANS UNE PREMIERE PARTIE, NOUS NOUS INTERESSONS AUX PERTES D'ENERGIE SUBIES PAR LA PARTICULE INCIDENTE (INTERACTIONS ION-MATIERE) AINSI QU'AUX MECANISMES QUI PEUVENT CONDUIRE A LA TRANSITION CRISTAL-AMORPHE. LES MODELES PERMETTANT DE DECRIRE QUANTITATIVEMENT LA FORMATION ET L'EXTENSION DE COUCHES AMORPHES SONT AUSSI PASSES EN REVUE. DANS LA PARTIE EXPERIMENTALE, NOUS AVONS MIS EN EVIDENCE L'APPORT DE LA MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION A LA CARACTERISATION DE L'AMORPHISATION DU SI PAR IMPLANTATION D'IONS PHOSPHORE, AZOTE ET HELIUM DANS DES CONDITIONS EXPERIMENTALES DIVERSES (ENERGIE ET FLUX DU FAISCEAU D'IONS ET TEMPERATURE DU SUBSTRAT). L'UTILISATION DU MODELE DE LA DENSITE D'ENERGIE CRITIQUE NOUS A PERMIS DE CALCULER L'ETAT D'ENDOMMAGEMENT DU SUBSTRAT ET DE DETERMINER L'ENERGIE DE DOMMAGE CRITIQUE NECESSAIRE A LA FORMATION DE LA PHASE AMORPHE. NOUS AVONS MIS EN EVIDENCE QUE L'ENERGIE DE DOMMAGE EST UNE CARACTERISTIQUE DU SUBSTRAT A BASSE TEMPERATURE (
