Etude et réalisation d'un capteur acoustique à ondes de surface

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Book Synopsis Etude et réalisation d'un capteur acoustique à ondes de surface by : Fabrice Dubosc

Download or read book Etude et réalisation d'un capteur acoustique à ondes de surface written by Fabrice Dubosc and published by . This book was released on 2018 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les capteurs à ondes de surface (SAW) présentent plusieurs intérêts, tels que leur robustesse, leur adaptabilité et leur faible coût de fabrication. Un des facteurs de performance de ce type de capteur est sa sensibilité. Généralement pour l'améliorer les efforts se concentrent sur la couche sensible. Une alternative innovante est l'augmentation de la surface active en porosifiant le substrat. L'ouverture du matériau piézoélectrique le long du chemin de propagation permettra, ainsi, la captation des espères dans les pores du substrat. L'objectif de cette thèse est de proposer une nouvelle architecture de capteur permettant l'usage du silicium poreux en tant que couche guidante et sensible.

Etude et réalisation d'un oscillateurs à ondes acoustiques de surface

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Book Synopsis Etude et réalisation d'un oscillateurs à ondes acoustiques de surface by : Joe͏̈l PUCCI

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Conception Et Réalisation D'un Capteur de Pression À Ondes Acoustiques de Surface À Base D'AlN

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Book Synopsis Conception Et Réalisation D'un Capteur de Pression À Ondes Acoustiques de Surface À Base D'AlN by : Trang Hoang

Download or read book Conception Et Réalisation D'un Capteur de Pression À Ondes Acoustiques de Surface À Base D'AlN written by Trang Hoang and published by . This book was released on 2010 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The goal of this thesis is the design of a surface acoustic wave (SAW) pressure sensor using Aluminium Nitride (AlN). Theoretical studies, realization, and characterization of the pressure sensor on different SAW structures are presented. The modeling of the sensor was performed using an equivalent circuit based on Mason model and Coupling-Of-Mode. The theoretical study, SAW parameters in different structures of AlN/SiO2/Si, AlN/Si, and AlN/Mo/Si are calculated and analyzed. From these analysis, the wave velocity as well as coupling factor could depend on the wave propagation medium. For each structure using AlN, we establish the range of thickness of AlN layer, in which there is a weak dependence of the wave velocity and coupling factor on the AlN layer thickness. The SAW devices should be designed, in particular for the choice of the thicknesses of the different layers, by taking into account the accuracy of the manufacturing process, to reduce dispersion effects on the sensors characteristics. Besides, we also performed the mechanical analysis of the membrane under pressure and we have deduced the pressure sensitivity. The effect of frequency variation due to temperature change in SAW device using AlN is given. For pressure measurement applications, we propose a method to reduce temperature change effects. Concerning the fabrication process, we propose to use surface micro-machining. This kind of fabrication process allows to obtain exactly the dimensions of membranes used in pressure sensors and it also allows to have any kind of geometry due to the silicon etch stop wall. Characterizations of AlN film are done during fabrication process. We found that to increase the piezoelectric behavior of AlN, there are three possible ways: using a bottom Mo layer, decreasing the roughness of the layer below the AlN layer up to 0.2nm and increasing the thickness of AlN. Acoustic propagation losses, coupling factor, effect of Mo layer and the effect of thin polyimide film on the center frequency are experimentally analyzed. Finally, the measured pressure sensitivity of our device is presented. This last result is promising.

Etude et réalisation d'un capteur acoustique multivoies intégré utilisant les propriétés piezoélectriques du polyfluorure de vinylidène

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Book Synopsis Etude et réalisation d'un capteur acoustique multivoies intégré utilisant les propriétés piezoélectriques du polyfluorure de vinylidène by : Jacques GATARD

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Etude de dispositifs à ondes de Love par modélisation numérique de la propagation d'ondes acoustiques

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Book Synopsis Etude de dispositifs à ondes de Love par modélisation numérique de la propagation d'ondes acoustiques by : Pierre Mazein

Download or read book Etude de dispositifs à ondes de Love par modélisation numérique de la propagation d'ondes acoustiques written by Pierre Mazein and published by . This book was released on 2005 with total page 190 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Étude de dispositifs à ondes de Love par modélisation numérique de la propagation d'ondes acoustiques. Application à l'optimisation de structures et à la caractérisation de matériaux en vue de la réalisation de capteurs chimiques. Résumé : L'étude consiste en la réalisation d'une modélisation de la propagation des ondes de Love dans la structure multicouche d'un capteur chimique. L'objectif est d'étudier les performances de différentes structures, une attention particulière a été apportée aux caractéristiques physico-chimiques des matériaux ainsi que des fluides (gaz et liquides) mis en jeux. L'approche numérique proposée permet la résolution des équations de propagation avec en particulier la prise en compte de la piézoélectricité. Les conditions aux interfaces et aux limites sont satisfaites en utilisant la méthode des matrices de transfert. Il en découle la détermination des vitesses de phase et groupe, ainsi que les pertes par propagation. L'outil développé permet de caractériser des matériaux isotropes (masse volumique et module transverse de rigidité) et d'optimiser la sensibilité gravimétrique de plateformes de détection chimique. Une validation expérimentale a été menée visant la détection de composés organophosphorés dans laquelle nous proposons un traitement des réponses transitoires.

CONCEPTION DE CAPTEURS PIEZO-ELECTRIQUES POUR L'IMAGERIE PHOTO-ACOUSTIQUE SELECTIVE

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Book Synopsis CONCEPTION DE CAPTEURS PIEZO-ELECTRIQUES POUR L'IMAGERIE PHOTO-ACOUSTIQUE SELECTIVE by : Laurent Berquez

Download or read book CONCEPTION DE CAPTEURS PIEZO-ELECTRIQUES POUR L'IMAGERIE PHOTO-ACOUSTIQUE SELECTIVE written by Laurent Berquez and published by . This book was released on 1998 with total page 175 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LE PRINCIPE DE L'IMAGERIE PHOTO-ACOUSTIQUE CONSISTE A GENERER DES ONDES ACOUSTIQUES DANS UN ECHANTILLON A L'AIDE D'UN FAISCEAU LASER MODULE EN INTENSITE. LES ONDES ACOUSTIQUES AINSI GENEREES SONT DETECTEES PAR UN CAPTEUR PIEZO-ELECTRIQUE DELIVRANT UN SIGNAL ELECTRIQUE. EN BALAYANT POINT PAR POINT LA SURFACE DE L'ECHANTILLON, LE SIGNAL TRAITE PERMET LA REALISATION D'IMAGES EN PROFONDEUR. AFIN D'AMELIORER LA QUALITE DES IMAGES, C'EST A DIRE LA RAPPORT SIGNAL SUR BRUIT, IL EST NECESSAIRE D'AMELIORER LA CHAINE D'ACQUISITION EN DONNANT AU CAPTEUR UN CARACTERE RESONANT. C'EST DANS CETTE OPTIQUE QUE TROIS CAPTEURS SONT ETUDIES : LE CAPTEUR AVEC TRANSMISSION DIRECTE DES ONDES ACOUSTIQUES ENTRE L'OBJET ET LA CERAMIQUE, LE CAPTEUR AVEC ADAPTATION D'IMPEDANCE ENTRE L'OBJET ET LA CERAMIQUE ET LE CAPTEUR FOCALISE. L'ETUDE DE LA PROPAGATION DES ONDES ACOUSTIQUES DANS LES MATERIAUX PIEZO-ELECTRIQUES A PERMIS D'ETABLIR UN SYSTEME D'EQUATIONS RELIANT LA TENSION AUX BORNES DE LA CERAMIQUE AUX CONDITIONS LIMITES EN EFFORT ET DEPLACEMENT. CETTE MODELISATION DU COMPORTEMENT DE LA CERAMIQUE PERMET DE PREVOIR, AVEC UNE BONNE PRECISION, LES FREQUENCES DE RESONANCE DU CAPTEUR. LE CAPTEUR DIRECT PERMET DE REALISER DES IMAGES AVEC UNE RESOLUTION DE 1 MICRON. LA CAPACITE D'ANALYSE EN PROFONDEUR DU MICROSCOPE PHOTO-ACOUSTIQUE EST ILLUSTREE PAR UNE ETUDE DE LA ROUILLE EN PROFONDEUR EN MODIFIANT LA PHASE DE DETECTION ET UNE ETUDE D'UN CIRCUIT INTEGRE EN MODIFIANT LA FREQUENCE DE MODULATION DU FAISCEAU LASER. CETTE ETUDE EN FREQUENCE PERMET ENSUITE LA CARACTERISATION EN PROFONDEUR DU CIRCUIT INTEGRE.

Sensibilité a la pression de lignes a ondes de surface

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Book Synopsis Sensibilité a la pression de lignes a ondes de surface by : Sophie Rousseau

Download or read book Sensibilité a la pression de lignes a ondes de surface written by Sophie Rousseau and published by . This book was released on 1980 with total page 113 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE THEORIQUE: EQUATIONS GENERALES NON LINEAIRES DES ONDES DE SURFACE, PROPAGATION EN MILIEU PERTURBE; METHODE DE CALCUL DES PREDEFORMATIONS; MODELISATION D'UN CAPTEUR DE PRESSION. ETUDE EXPERIMENTALE: FABRICATION, MEMBRANES COMPORTANT UNE SEULE LIGNE A RETARD; CAPTEURS A UNE MEMBRANE ET DEUX LIGNES.

Contribution à l'étude de l'intéraction des ondes acoustiques de surface avec les porteurs d'un semi-conducteur et son application à la caractérisation des semi-conducteurs

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Book Synopsis Contribution à l'étude de l'intéraction des ondes acoustiques de surface avec les porteurs d'un semi-conducteur et son application à la caractérisation des semi-conducteurs by : Taha El-Sayed Mohamed Taha

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Capteurs à ondes acoustiques de surface fonctionnant à 104 et 208 MHz

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Book Synopsis Capteurs à ondes acoustiques de surface fonctionnant à 104 et 208 MHz by : Bilel Achour

Download or read book Capteurs à ondes acoustiques de surface fonctionnant à 104 et 208 MHz written by Bilel Achour and published by . This book was released on 2020 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les capteurs à ondes acoustiques de surfaces (SAW : Surface Acoustic Waves) présentent de nombreux avantages, dont une grande sensibilité, un paramètre clé dans diverses applications. Dans cette thèse, deux voies sont explorées pour améliorer la sensibilité des dispositifs SAWs : le passage en mode de Love, avec une couche guide d'onde en résine époxyde SU-8, et la montée en fréquence de 104 à 208 MHz. Avant de réaliser de tels dispositifs en salle blanche puis de les utiliser en tant que capteurs chimiques, des simulations numériques ont été entreprises, en utilisant tout d'abord le logiciel MATLAB, puis par la méthode des éléments finis, via le logiciel COMSOL Multiphysics. L'épaisseur optimale de la couche guide d'onde, permettant un gain important en sensibilité, a été estimée. Un écart entre l'expérience et la simulation a été trouvé soulignant la nécessité de poursuivre les phases d'optimisation dans cette voie. Une confrontation calculs/expériences a été menée avec succès pour les structures SH-SAW. Ces dispositifs ont été fonctionnalisés avec un dérivé d'anthracène pour détecter les ions zinc en milieu aqueux. Les résultats gravimétriques ont montré un gain en sensibilité d'un facteur 2.3, en augmentant la fréquence de travail de 104 MHz à 208 MHz.

Etude et réalisation par lithographie électronique de dispositifs à ondes acoustiques de surface à structure multicouche

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Book Synopsis Etude et réalisation par lithographie électronique de dispositifs à ondes acoustiques de surface à structure multicouche by : Philippe Kirsch

Download or read book Etude et réalisation par lithographie électronique de dispositifs à ondes acoustiques de surface à structure multicouche written by Philippe Kirsch and published by . This book was released on 2007 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Après beaucoup de travail, de nombreuses heures de réflexion, d'idées à améliorer et, des fois, à rejeter, une quantité innombrable d'échantillons et d'heures passés sur les différentes installations, nous voilà au point de présenter les résultats de tous ces efforts. Tout au début, nous avions décidé de se lancer dans la recherche et le développement de dispositifs à ondes acoustiques de surface pouvant servir en tant que filtres électriques passe-bande pour les nouvelles technologies de télécommunication et en tant que capteurs de liquide. Nous avons commencé à faire l'inventaire des tous les domaines que nous allions aborder lors de nos travaux de recherche, en nous en avons présenté ce qui nous semblait important. Même si la science est le pilier principal de cette thèse, nous nous sommes assurés que nos efforts ne seraient pas vains dès le départ en analysant les besoins industriels, et donc indirectement les retombées économiques possibles, en dispositifs à ondes acoustiques de surface. Nous nous sommes donc dotés de tous les outils nécessaires pour pouvoir avancer : Nous avons étudié l'évolution des dispositifs à ondes acoustiques de surface afin de reconnaître, avec un peu de chance, des tendances et de nouvelles ouvertures. Nous avons élucidé la partie théorique correspondante, au niveau de la piézoélectricité et des ondes acoustiques de surface. Nous avons fait le tour des matériaux piézoélectriques utilisées pour se faire une idée des leurs propriétés pour pouvoir faire, le moment venu, une sélection judicieuse selon les besoins de l'application. En partant de la théorie générale des ondes acoustiques de surface, nous avons étudié les différents types d'ondes existants dans la même optique : Disposer d'une multitude intéressante de choix possibles pour trouver la bonne solution à la fin. [...].

Etude d'un capteur biochimique à ondes acoustiques de lamb

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Book Synopsis Etude d'un capteur biochimique à ondes acoustiques de lamb by : Rémi Duhamel

Download or read book Etude d'un capteur biochimique à ondes acoustiques de lamb written by Rémi Duhamel and published by . This book was released on 2005 with total page 212 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Le système étudié est une microbalance utilisant les propriétés des ondes acoustiques pour détecter des variations de masse. Lorsque l'on excite des ondes de Lamb dans une membrane, la fréquence à laquelle vibre la membrane est liée à la masse de celle-ci. Une augmentation locale de la masse provoquera une variation de la fréquence de vibration que l'on pourra détecter. Le choix des ondes de Lamb est pertinent : pour un mode particulier et sous certaines conditions très peu d'énergie se retrouve dissipée en milieu liquide et la sensibilité peut être supérieure à celle des systèmes classiques à base de quartz. Nous avons orienté notre étude selon deux axes de recherche : la diminution de la sensibilité à la température et l'amélioration de la sensibilité à la masse. Pour la diminution de la sensibilité à la température, deux types de dispositifs ont été étudiés. Une première famille de dispositifs à excitation électrostatique a été réalisée. La deuxième série, plus originale, utilise l'excitation des ondes de manière piézoélectrique sur deux lignes à retard croisées sur la même membrane. Nous avons pu effectuer simultanément les mesures de variations de température et de masse. Pour l'amélioration de la sensibilité à la masse, l'étude est orientée sur la diminution de l'épaisseur de la membrane dans laquelle se propagent les ondes. Deux familles de dispositifs ont été réalisées, l'une utilise le PZT comme matériau piézoélectrique et l'autre l'AlN. Les dispositifs AlN ont entièrement été caractérisés en tant que capteur de masse fonctionnant en milieu liquide. La microbalance réalisée présente une sensibilité à la masse de 200 cm2/g environ pour un système oscillant à 13 MHz.

Etude et intégration de capteurs acoustiques à modes de plaque transverses horizontaux (SH-APM)

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Book Synopsis Etude et intégration de capteurs acoustiques à modes de plaque transverses horizontaux (SH-APM) by : Irène Esteban

Download or read book Etude et intégration de capteurs acoustiques à modes de plaque transverses horizontaux (SH-APM) written by Irène Esteban and published by . This book was released on 1999 with total page 223 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE CONCERNE LES CAPTEURS A ONDES ACOUSTIQUES A MODES DE PLAQUE TRANSVERSES HORIZONTAUX (SH-APM). LE DEVELOPPEMENT D'UN LOGICIEL MODELISANT LA PROPAGATION D'ONDES SH-APM DANS UN GUIDE D'ONDE MULTICOUCHE EST PRESENTE. LA MODELISATION DE LA SENSIBILITE A L'EFFET DE MASSE DE CES CAPTEURS, AINSI QUE L'AMELIORATION DES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES DES LIGNES A RETARD SH-APM, ONT ABOUTI A LA REALISATION DE STRUCTURES DE TEST. CELLES-CI ONT PERMIS LA DETECTION DE COMPOSES ORGANOPHOSPHORES.

Etude et réalisation d'un dispositif pour établir les conditions de propagation des ondes acoustiques dans l'hélium liquide et leurs conséquences sur le développement d'un microscope à phonons

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Book Synopsis Etude et réalisation d'un dispositif pour établir les conditions de propagation des ondes acoustiques dans l'hélium liquide et leurs conséquences sur le développement d'un microscope à phonons by : Claude Chapelier (auteur en énergétique physique).)

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Dispositifs à ondes de surfaces sur substrat céramique

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Book Synopsis Dispositifs à ondes de surfaces sur substrat céramique by : Yves Janin

Download or read book Dispositifs à ondes de surfaces sur substrat céramique written by Yves Janin and published by . This book was released on 1997 with total page 135 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette thèse comprend deux parties : d'une part la caractérisation des propriétés acoustiques de surface des céramiques piézoélectriques à grains fins, d'autre part la réalisation d'un capteur d'humidité et l'étude des ondes de Rayleigh se propageant dans un substrat piézoélectrique recouvert par un film mince viscoélastique. Dans la première partie, nous présentons tout d'abord les méthodes de caractérisation développées, dont certaines s' appuient sur la mesure de l'impédance électrique de transducteurs à peignes interdigités. Nous donnons ensuite les résultats d'une étude portant sur l'influence des conditions de fabrication des céramiques et le rôle des éléments dopants sur les propriétés de ces céramiques. Nous montrons en particulier qu'un traitement par pressage isostatique à chaud réduit notablement les pertes par propagation des ondes de surface. Dans la seconde partie, nous mettons en oeuvre un capteur d'humidité basé non pas sur la mesure des variations de vitesse de l'onde de surface, mais sur celle des variations d'amplitude de l'onde acoustique. Les résultats expérimentaux obtenus nous amènent ensuite à étendre la notion de permittivité piézoélectrique de surface au cas d'un substrat piézoélectrique recouvert par un film mince viscoélastique. Nous nous intéressons pour finir aux phénomènes de résonances de films polymères minces, et nous montrons que ce phénomène peut très bien être analysé grâce aux méthodes développées précédemment.

Développement et modélisation de plateformes à ondes acoustiques de surface guidées

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Book Synopsis Développement et modélisation de plateformes à ondes acoustiques de surface guidées by : Laurianne Blanc

Download or read book Développement et modélisation de plateformes à ondes acoustiques de surface guidées written by Laurianne Blanc and published by . This book was released on 2011 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ces travaux de thèse présentent le développement de capteurs à ondes acoustiques, plus particulièrement de capteurs à ondes de Love, à l'aide de matériaux mésoporeux. La première partie de ces travaux a porté sur la mise au point d'une méthode de caractérisation du module de rigidité d'un film mésoporeux déposé sur un capteur et soumis à un flux d'humidité. Le banc de mesure développé permet d'effectuer simultanément des mesures acoustiques et ellipsométriques. Les variations du module de rigidité d'un film mésoporeux d'oxyde de titane en fonction du taux d'humidité ont ensuite été calculées à l'aide d'une procédure d'ajustement de courbe entre les résultats expérimentaux et un modèle numérique dédié modélisant la propagation des ondes de Love dans la structure multicouche. Nous avons ainsi montré que l'influence de la sorption sur le comportement mécanique d'un film mésoporeux est un facteur important à prendre en compte, notamment lors de la conception de micro-capteurs. Par la suite, des dispositifs recouverts de SiO2 et de TiO2 mésoporeux ont été développés pour différentes applications: la détection de composés organiques volatils, la détection d'espèces biologiques et le suivi d'une réaction de photocatalyse. Enfin, nous avons réalisé des capteurs recouverts d'une unique couche mésoporeuse de TiO2 assurant simultanément les fonctions de guide d'onde et de couche sensible, permettant d'augmenter de manière significative la sensibilité du capteur.

Modélisation et réalisation de capteurs à ondes de plaque

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Book Synopsis Modélisation et réalisation de capteurs à ondes de plaque by : Franck Teston

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Étude d'un résonateur phononique à onde de surface pour des applications de capteurs de température et de déformation

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Book Synopsis Étude d'un résonateur phononique à onde de surface pour des applications de capteurs de température et de déformation by : Sébastien Aubert

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