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Etude Des Defauts Electriques Dans Le Silicium Recuit Par Laser
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Book Synopsis Etude des défauts électriques dans le silicium recuit par laser by : Mohamed Kechouane
Download or read book Etude des défauts électriques dans le silicium recuit par laser written by Mohamed Kechouane and published by . This book was released on 1983 with total page 109 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE DES DEFAUTS PRESENTS DANS LE SILICIUM VIERGE ET IMPLANTE-RECUIT PAR LASER CONTINU, PAR DLTS. DANS SI VIERGE, LE RECUIT CREE DEUX CENTRES PROFONDS E(0,45) ET E(0,22) ASSOCIES RESPECTIVEMENT AU COMPLEXE LACUNE-PHOSPHORE ET AU CHROME INTERSTITIEL. L'ETUDE DES JONCTIONS IMPLANTEES RECUITES PAR LASER CONTINU, REVELE LA PRESENCE DE DEUX DEFAUTS PRINCIPAUX H(0,1) ET H(0,44) ATTRIBUES RESPECTIVEMENT AU FER INTERSTITIEL ET AUX PAIRES D'IONS FE::(1)**(+)-B::(5)**(-). L'ETUDE DE SI DE TYPE P RECUIT PAR LASER MONTRE QUE LES DEFAUTS RESIDUELS DANS LES JONCTIONS IMPLANTEES RECUITES SONT CEUX QUI SONT INTRODUITS PAR LE LASER
Book Synopsis Etude des défauts induits par recuit laser excimère dans le silicium by : Richard Monflier
Download or read book Etude des défauts induits par recuit laser excimère dans le silicium written by Richard Monflier and published by . This book was released on 2019 with total page 139 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La micro-électronique est un domaine exigeant, en constante évolution, motivé par le secteur applicatif et les besoins des utilisateurs. La réalisation de jonctions ultra-minces et fortement dopées est un enjeu majeur pour la poursuite de son évolution, et notamment pour son composant de base, le transistor MOS. Dans ce contexte, de nouvelles techniques de dopage permettant d'obtenir des jonctions ultra-minces ont été développées. Le recuit par laser nanoseconde (LTA) en mode " melt " est une de ces techniques. En effet, il permet une très forte activation locale (en surface et en profondeur) et une distribution uniforme des dopants. Ce procédé utilisé en laboratoire depuis les années 1980 dans la fabrication des cellules solaires offre également de nouvelles possibilités technologiques comme le développement d'architectures 3D. Néanmoins, des dégradations électriques de paramètres sensibles aux défauts tels que la mobilité et le courant inverse d'un transistor MOS ou la durée de vie des porteurs dans le cas de cellule photovoltaïque ont été observées. Dans ce contexte, cette thèse propose une étude rigoureuse des défauts générés par recuit laser en deux volets. Le premier volet traite de l'impact du recuit laser sur les propriétés physiques du silicium et repose essentiellement sur des caractérisations approfondies par spectroscopie infrarouge et photoluminescence d'échantillons silicium non intentionnellement dopés soumis à diverses conditions de recuits par impulsions laser à excimère. L'étude met en évidence la formation de défauts suite au procédé de recuit laser. Leur identification a permis d'affirmer l'introduction d'impuretés d'oxygène et de carbone durant le recuit. A partir de cette identification, le suivi en profondeur par spectroscopie de masse à ionisation secondaire de chacune des impuretés a été effectué révélant une augmentation de la concentration et de la diffusion des impuretés avec l'augmentation de la densité d'énergie du laser et/ou du nombre de tirs. A haute énergie laser, les profils de concentration d'oxygène montrent la présence d'un pic immobile (en concordance avec la solubilité limite de l'oxygène dans le silicium liquide) associé à des cavités de silicium observées par microscopie électronique en transmission (MET). L'origine de ces impuretés est discutée ; la caractérisation de véhicules tests dédiés a permis de définir l'oxyde natif comme étant leurs sources. Le second volet permet de répondre au second objectif qui consiste à évaluer l'impact du recuit laser sur les propriétés électriques de composants à base de silicium et s'appuie sur la caractérisation de diodes Schottky et PN préalablement fabriquées. Les résultats obtenus constituent un moyen supplémentaire pour, non seulement localiser les défauts électriquement actifs, mais également les identifier. Les caractéristiques courant-tension des diodes montrent systématiquement l'impact du recuit sur le courant de fuite, paramètre sensible aux défauts. Plus spécifiquement, le courant de fuite se dégrade avec l'augmentation de la densité d'énergie. Ces mesures électriques ont permis également de mettre en évidence la présence de défauts localisés à l'interface liquide/solide, défauts ayant un fort impact sur les propriétés électriques des diodes. Les résultats sont en accord avec la littérature qui suggère la présence de lacunes à cette interface. Pour aller plus loin, des mesures de DLTS ont été effectuées et dévoilent, selon la localisation (zone fondue ou interface), des signatures singulières laissant présager plusieurs types de défauts.
Book Synopsis ETUDE DU RECUIT THERMIQUE RAPIDE DES DEFAUTS D'IMPLANTATION DANS LE SILICIUM by : OLUSEYI.. ADEKOYA
Download or read book ETUDE DU RECUIT THERMIQUE RAPIDE DES DEFAUTS D'IMPLANTATION DANS LE SILICIUM written by OLUSEYI.. ADEKOYA and published by . This book was released on 1987 with total page 290 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE DE L'ACTIVATION ELECTRIQUE DES DOPANTS (DONNEUR P; ACCEPTEUR B) ET DE L'ELIMINATION DES DEFAUTS RESIDUELS DANS SI MONOCRISTALLIN PAR RECRISTALLISATION EPITAXIQUE DES COUCHES, AMORPHISEES PAR IMPLANTATION IONIQUE, ET PAR RECUIT THERMIQUE RAPIDE. CONTROLE DE LA QUALITE DES COUCHES PAR RETRODIFFUSION DE RUTHERFORD ET MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION ET DE L'ELIMINATION DES DEFAUTS RESIDUELS PAR LA METHODE DLTS (NIVEAU PROFOND A 0,55 EV DE LA BANDE DE VALENCE). CONFIRMATION DE CETTE ELIMINATION DES DEFAUTS PAR RECUIT THERMIQUE RAPIDE APRES FUSION LASER DE SI, AVANT ET APRES IMPLANTATION IONIQUE. ANALYSE DU ROLE ELECTRIQUE DES DEFAUTS (CONTRAINTES THERMOELASTIQUES, ASSOCIATION IMPURETE-DEFAUT PRIMAIRE) DANS SI N, NON IMPLANTE, PAR DES MESURES DLTS, CAPACITE TENSION ET COURANT-TENSION; REDUCTION DE LEUR CONCENTRATION PAR DEPOT D'UNE FINE COUCHE D'OXYDE
Book Synopsis CONTRIBUTION A L'ETUDE ELECTRIQUE DES DEFAUTS INDUITS PAR LES RECUITS ELECTRONIQUES PULSES by : François Olivié
Download or read book CONTRIBUTION A L'ETUDE ELECTRIQUE DES DEFAUTS INDUITS PAR LES RECUITS ELECTRONIQUES PULSES written by François Olivié and published by . This book was released on 1985 with total page 147 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MEMOIRE PORTE SUR LES DEFAUTS ELECTRIQUEMENT ACTIFS INDUITS PAR LES RECUITS ELECTRONIQUES PULSES SUR SILICIUM. ON DONNE QUELQUES ASPECTS DE LA THEORIE DES RECUITS. LA CARACTERISATION DE CES DEFAUTS SE FAIT A PARTIR DU COMPORTEMENT DU CONTRAT SCHOTTKY MESA. ON DECRIT LE PROCESSUS TECHNOLOGIQUE PERMETTANT D'OBTENIR DES DISPOSITIFS AYANT UN FAIBLE COURANT DE FUITE. LES CARACTERISTIQUES I(V) ET C(V), LES ANALYSES D.L.T.S. EFFECTUEES SUR LES CONTACTS SCHOTTKY ET LES JONCTIONS PN IMPLANTEES SONT PRESENTEES. UNE INTERPRETATION DES RESULTATS EXPERIMENTAUX EST FAITE A PARTIR DES ELEMENTS DE LA THEORIE DES RECUITS ET DE RESULTATS OBTENUS PAR DIVERS AUTEURS POUR DES RECUITS LASER PULSES
Book Synopsis CONTRIBUTION A L'ETUDE DU SILICIUM HYPERDOPE OBTENU PAR IMPLANTATION ET RECUIT PAR LASER PULSE by : ABDELILAH.. SLAOUI
Download or read book CONTRIBUTION A L'ETUDE DU SILICIUM HYPERDOPE OBTENU PAR IMPLANTATION ET RECUIT PAR LASER PULSE written by ABDELILAH.. SLAOUI and published by . This book was released on 1984 with total page 123 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE DE QUELQUES PROPRIETES OPTIQUES ET ELECTRIQUES SUR DU SILICIUM AINSI PREPARE AFIN DE SEPARER LES EFFETS DUS AU FORT DOPAGE DE CEUX RESULTANT DES DEFAUTS OU DES PRECIPITES. ETUDE DES PROPRIETES PHOTOVOLTAIQUES DES CELLULES SOLAIRES UTILISANT CE MATERIAU MONTRANT QU'ELLES SONT LIMITEES PAR LE COEFFICIENT D'ABSORPTION ELEVE EN SURFACE ET PAR LA PRESENCE DE DEFAUTS ELECTRIQUEMENT ACTIFS INDUITS PAR LES QUEUES D'IMPLANTATION ET PAR LE RECUIT AU LASER
Book Synopsis ETUDE DES METHODES DE RECUIT RAPIDE APPLIQUEES AU SILICIUM DOPE PAR IMPLANTATION IONIQUE by : PIERRE.. RUTERAMA
Download or read book ETUDE DES METHODES DE RECUIT RAPIDE APPLIQUEES AU SILICIUM DOPE PAR IMPLANTATION IONIQUE written by PIERRE.. RUTERAMA and published by . This book was released on 1983 with total page 294 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: RAPPEL DU PRINCIPE DE L'IMPLANTATION IONIQUE, EN INSISTANT PARTICULIEREMENT SUR LE PROCESSUS DE CREATION DE DEFAUTS ET SUR LEUR REPARTITION DANS LA COUCHE BOMBARDEE. ETUDE DES MECANISMES DE RECUIT THERMIQUE, RECUIT PAR LASER A FAISCEAU CONTINU, RECUIT PAR FAISCEAU LASER PULSE ET RECUIT PAR PULSE THERMIQUE. ETUDE DE L'ETAT DE SURFACE DU MATERIAU ET DE L'ETAT CRISTALLIN DES COUCHES RECUITES. CARACTERISATION ELECTRIQUE DES JONCTIONS P/N ET ANALYSE DE L'ALBUM DES COURBES I/V
Book Synopsis ETUDE D'EFFETS ENGENDRES PAR DES TIRS LASERS by : MARIE-FRANCE.. RICHARD
Download or read book ETUDE D'EFFETS ENGENDRES PAR DES TIRS LASERS written by MARIE-FRANCE.. RICHARD and published by . This book was released on 1981 with total page 63 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE PAR RESISTIVITE DE LA RESTAURATION DES DEFAUTS PONCTUELS CREES PAR IRRADIATION LASER DANS NI::(2)CR ET COMPARAISON. LES RESULTATS A CEUX OBTENUS APRES ECROUISSAGE PAR TRACTION. ETUDE PAR MICROSCOPIE ELECTRONIQUE DES SOUS-STRUCTURES DE NI::(2)CR ET NI::(3)FE IRRADIES PAR DIVERS TYPES DE FAISCEAUX LASER PULSES ET DE SI DESTINE A DES DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIQUES APRES IMPLANTATION MOLECULAIRE OU IONIQUE SUIVIE DE RECUITS LASER
Book Synopsis ETUDE DES DEFAUTS ELECTRONIQUEMENT ACTIFS DANS LE SILICIUM RECUIT PAR FAISCEAUX D'ELECTRONS PULSES by : Mohammed-Salah Doghmane
Download or read book ETUDE DES DEFAUTS ELECTRONIQUEMENT ACTIFS DANS LE SILICIUM RECUIT PAR FAISCEAUX D'ELECTRONS PULSES written by Mohammed-Salah Doghmane and published by . This book was released on 1984 with total page 204 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE DES DEFAUTS ELECTRONIQUEMENT ACTIFS DANS SI PAR SPECTROMETRIE TRANSITOIRE DE NIVEAUX PROFONDS. EFFET DE LA FLUENCE ET DE L'ENERGIE DES ELECTRONS. ETUDE DU RECUIT SOUS ATMOSPHERE D'HYDROGENE. L'EFFET DE L'IMPLANTATION D'HYDROGENE SUR LES NIVEAUX D'IMPURETES EST ETUDIE
Download or read book ICREEC 2019 written by Ahmed Belasri and published by Springer Nature. This book was released on 2020-06-10 with total page 659 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book highlights peer reviewed articles from the 1st International Conference on Renewable Energy and Energy Conversion, ICREEC 2019, held at Oran in Algeria. It presents recent advances, brings together researchers and professionals in the area and presents a platform to exchange ideas and establish opportunities for a sustainable future. Topics covered in this proceedings, but not limited to, are photovoltaic systems, bioenergy, laser and plasma technology, fluid and flow for energy, software for energy and impact of energy on the environment.
Book Synopsis Basic Concepts for Simple and Complex Liquids by : Jean-Louis Barrat
Download or read book Basic Concepts for Simple and Complex Liquids written by Jean-Louis Barrat and published by Cambridge University Press. This book was released on 2003-03-27 with total page 410 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Presenting a unified approach, this book focusses on the concepts and theoretical methods that are necessary for an understanding of the physics and chemistry of the fluid state. The authors do not attempt to cover the whole field in an encyclopedic manner. Instead, important ideas are presented in a concise and rigorous style, and illustrated with examples from both simple molecular liquids and more complex soft condensed matter systems such as polymers, colloids, and liquid crystals.
Book Synopsis Dictionary of Building and Civil Engineering by : Don Montague
Download or read book Dictionary of Building and Civil Engineering written by Don Montague and published by Taylor & Francis. This book was released on 1996 with total page 472 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This dual-language dictionary lists over 20,000 specialist terms in both French and English, covering architecture, building, engineering and property terms. It meets the needs of all building professionals working on projects overseas. It has been comprehensively researched and compiled to provide an invaluable reference source in an increasingly European marketplace.
Download or read book JPIII written by and published by . This book was released on 1997 with total page 840 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis On the Continuity of the Gaseous and Liquid States by : J. D. Van Der Waals
Download or read book On the Continuity of the Gaseous and Liquid States written by J. D. Van Der Waals and published by Courier Corporation. This book was released on 2004-01-01 with total page 336 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This much-cited thesis by J. D. van der Waals, the recipient of the 1910 Nobel Prize in physics, is accompanied by an introductory essay by J. S. Rowlinson and another work by van der Waals on the theory of liquid mixtures. 1988 edition.
Book Synopsis Molecular Beam Epitaxy by : John Wilfred Orton
Download or read book Molecular Beam Epitaxy written by John Wilfred Orton and published by . This book was released on 2015 with total page 529 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The book is a history of Molecular Beam Epitaxy (MBE) as applied to the growth of semiconductor thin films (note that it does not cover the subject of metal thin films). It begins by examining the origins of MBE, first of all looking at the nature of molecular beams and considering their application to fundamental physics, to the development of nuclear magnetic resonance and to the invention of the microwave MASER. It shows how molecular beams of silane (SiH4) were used to study the nucleation of silicon films on a silicon substrate and how such studies were extended to compound semiconductors such as GaAs. From such surface studies in ultra-high vacuum the technique developed into a method of growing high quality single crystal films of a wide range of semiconductors. Comparing this with earlier evaporation methods of deposition and with other epitaxial deposition methods such as liquid phase and vapour phase epitaxy (LPE and VPE). The text describes the development of MBE machines from the early 'home-made' variety to that of commercial equipment and show how MBE was gradually refined to produce high quality films with atomic dimensions. This was much aided by the use of various in-situ surface analysis techniques, such as reflection high energy electron diffraction (RHEED) and mass spectrometry, a feature unique to MBE. It looks at various modified versions of the basic MBE process, then proceed to describe their application to the growth of so-called 'low-dimensional structures' (LDS) based on ultra-thin heterostructure films with thickness of order a few molecular monolayers. Further chapters cover the growth of a wide range of different compounds and describe their application to fundamental physics and to the fabrication of electronic and opto-electronic devices. The authors study the historical development of all these aspects and emphasise both the (often unexpected) manner of their discovery and development and the unique features which MBE brings to the growth of extremely complex structures with monolayer accuracy.
Book Synopsis Dictionary of Civil Engineering by : Jean-Paul Kurtz
Download or read book Dictionary of Civil Engineering written by Jean-Paul Kurtz and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 2007-05-08 with total page 1520 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: I am pleased to present a work which marks a milestone in the history of public works and, more precisely, in that of permanent structures—a comprehensive dictionary of Civil Engineering terms. Since the beginning of time, Man has always tried to find a means to clear the obstacles which nature erected to displace him. With the first tree trunk thrown across a river, man sought to improve the crossing structure. After the invention of the wheel, and to satisfy his thirst for conquest (Roman ways), and comfort (aqueducts), man built bridges that became a preremptory necessity to move quickly. Thus, Man started to build wooden and masonry works. With the passing centuries, the builders became masters in the art of building masonry works. Then came the Industrial Revolution and the advent of the steel (1864), which was closely followed by the invention of the reinforced concrete (1855). The need for railways and improving the road network inspired great works of crossing such as viaducts and tunnels. The boom of the railway network and the development of the car required the construction of an increasing number of new structures. This phenomenon continues today with hundreds of structures built each year throughout the world.
Book Synopsis Masters Abstracts International by :
Download or read book Masters Abstracts International written by and published by . This book was released on 1994 with total page 832 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Download or read book INIS Atomindex written by and published by . This book was released on 1970 with total page 1186 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
