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Conception Et Realisation Dun Ellipsometre Spectroscopique A Modulation De Phase Application A Letude Dinterfaces De Materiaux En Couches Minces
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Book Synopsis CONCEPTION ET REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A MODULATION DE PHASE. APPLICATION A L'ETUDE D'INTERFACES DE MATERIAUX EN COUCHES MINCES by : MICHEL.. STCHAKOVSKY
Download or read book CONCEPTION ET REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A MODULATION DE PHASE. APPLICATION A L'ETUDE D'INTERFACES DE MATERIAUX EN COUCHES MINCES written by MICHEL.. STCHAKOVSKY and published by . This book was released on 1991 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ELLIPSOMETRIE EST UNE METHODE DE CARACTERISATION OPTIQUE TRES REPANDUE. CE TRAVAIL RELATE LA CONCEPTION ET LA REALISATION D'UN NOUVEL ELLIPSOMETRE A MODULATION DE PHASE FONCTIONNANT DANS LE DOMAINE SPECTRAL UV-VISIBLE. IL S'AGIT DU PROTOTYPE DE L'APPAREIL COMMERCIAL UVISEL DE LA SOCIETE JOBIN-YVON. CET ELLIPSOMETRE AUTOMATIQUE COMBINE LA MODULATION HAUTE FREQUENCE PRODUITE PAR UN MODULATEUR PHOTOELASTIQUE A UN TRAITEMENT NUMERIQUE DU SIGNAL PERFORMANT, BASE SUR L'UTILISATION DU MICROPROCESSEUR DSP56001. SON CARACTERE MODULAIRE ET COMPACT EST PARTICULIEREMENT BIEN ADAPTE A LA CARACTERISATION IN SITU DE COUCHES MINCES. L'ELLIPSOMETRE A ETE COUPLE A UN REACTEUR DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA RADIOFREQUENCE. DEUX ETUDES PAR ELLIPSOMETRIE SONT APPLIQUEES A: A) LA FORMATION DE SILICIURES DE PALLADIUM, B) LES INTERFACES ENTRE LE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE (A-SI:H) ET LE NITRURE DE SILICIUM (A-SIN#X)
Book Synopsis REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A MODULATION DE PHASE FONCTIONNANT DANS L'INFRAROUGE by : Ramdane Benferhat
Download or read book REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A MODULATION DE PHASE FONCTIONNANT DANS L'INFRAROUGE written by Ramdane Benferhat and published by . This book was released on 1987 with total page 225 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: MISE AU POINT ET REALISATION DE L'APPAREIL, DONT LE FONCTIONNEMENT EST BASE SUR L'UTILISATION COMBINEE D'UN MODULATEUR PHOTOELASTIQUE ET D'UN TRAITEMENT NUMERIQUE RAPIDE DU SIGNAL; DESCRIPTION DETAILLEE DU SYSTEME OPTIQUE ET ELECTRONIQUE. APPLICATION A L'ETUDE DES PROPRIETES VIBRATIONNELLES DE COUCHES ULTRAMINCES DES DEUX TYPES : ECHANTILLONS CONSTITUES DE 1,3,9,19 MONOCOUCHES ORGANIQUES LANGMUIR-BLODGETT ET COUCHES A-SI:H DE 50 A 500 A D'EPAISSEUR, DEPOSEES SUR VERRE. MISE EN EVIDENCE DE L'INFLUENCE DU SUBSTRAT SUR LE MECANISME DE DEPOT ET ANALYSE DE L'ORIENTATION DES CHAINES ALIPHATIQUES DANS LE PREMIER CAS; DANS LE DEUXIEME CAS L'ETUDE MONTRE QUE LE MATERIAU OBTRENU AU DEBUT DU DEPOT EST NETTEMENT DIFFERENT DE CELUI DES ECHANTILLONS EPAIS; IDENTIFICATION DES VIBRATIONS DE VALENCE DES LIAISONS SIM ET SIH::(2) SUR COUCHES DE 5 A, EFFET DE L'INTRODUCTION DU CARBONE DANS A-SI:H
Book Synopsis Conception et etude d'un ellipsometre spectroscopique a analyseur tournant. Comparaison avec un ellipsometre spectroscopique a modulation de phase. Applications by : Marie-Laure Hidalgo
Download or read book Conception et etude d'un ellipsometre spectroscopique a analyseur tournant. Comparaison avec un ellipsometre spectroscopique a modulation de phase. Applications written by Marie-Laure Hidalgo and published by . This book was released on 1996 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Conception et réalisation d'un ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase pour l'utra-violet loitain (3,5-8,5eV) by : Jean-Luc Moncel
Download or read book Conception et réalisation d'un ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase pour l'utra-violet loitain (3,5-8,5eV) written by Jean-Luc Moncel and published by . This book was released on 2002 with total page 121 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Ellipsometrie spectroscopique a modulation de phase : construction de l'appareillage et application a la caracterisation des substrats Si et Gabs et des by : Keltoume Belalia
Download or read book Ellipsometrie spectroscopique a modulation de phase : construction de l'appareillage et application a la caracterisation des substrats Si et Gabs et des written by Keltoume Belalia and published by . This book was released on 1991 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials by : Andrew T. S. Wee
Download or read book Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials written by Andrew T. S. Wee and published by John Wiley & Sons. This book was released on 2022-03-08 with total page 213 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: A one-of-a-kind text offering an introduction to the use of spectroscopic ellipsometry for novel material characterization In Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis and Applications, a team of eminent researchers delivers an incisive exploration of how the traditional experimental technique of spectroscopic ellipsometry is used to characterize the intrinsic properties of novel materials. The book focuses on the scientifically and technologically important two-dimensional transition metal dichalcogenides (2D-TMDs), magnetic oxides like manganite materials, and unconventional superconductors, including copper oxide systems. The distinguished authors discuss the characterization of properties, like electronic structures, interfacial properties, and the consequent quasiparticle dynamics in novel quantum materials. Along with illustrative and specific case studies on how spectroscopic ellipsometry is used to study the optical and quasiparticle properties of novel systems, the book includes: Thorough introductions to the basic principles of spectroscopic ellipsometry and strongly correlated systems, including copper oxides and manganites Comprehensive explorations of two-dimensional transition metal dichalcogenides Practical discussions of single layer graphene systems and nickelate systems In-depth examinations of potential future developments and applications of spectroscopic ellipsometry Perfect for master’s- and PhD-level students in physics and chemistry, Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials will also earn a place in the libraries of those studying materials science seeking a one-stop reference for the applications of spectroscopic ellipsometry to novel developed materials.
Book Synopsis ETUDE DE COUCHES MINCES DIELECTRIQUES PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE VISIBLE ET INFRAROUGE by : ALINE.. BRUNET BRUNEAU
Download or read book ETUDE DE COUCHES MINCES DIELECTRIQUES PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE VISIBLE ET INFRAROUGE written by ALINE.. BRUNET BRUNEAU and published by . This book was released on 1996 with total page 258 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL A POUR BUT DE MONTRER LA COMPLEMENTARITE DE L'ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE DANS L'INFRAROUGE ET DANS LE VISIBLE, POUR OBTENIR UNE CARACTERISATION STRUCTURALE ET OPTIQUE DE MATERIAUX DIELECTRIQUES DEPOSES EN COUCHES MINCES (SIO#XN#Y, SIO#2). L'EVOLUTION AVEC LA CONCENTRATION EN OXYGENE DE LA FORME ET DE LA POSITION DES BANDES DE VIBRATIONS DE COUCHES MINCES DE SIO#XN#Y, OBTENUES PAR PULVERISATION PAR FAISCEAU D'IONS AVEC CROISSANCE DE LA COUCHE ASSISTEE PAR BOMBARDEMENT D'IONS (DIBS), A PU ETRE REPRODUITE DANS LE CADRE DU MODELE DE H.R. PHILIPP, A CONDITION QUE LA FONCTION DIELECTRIQUE DE CHACUN DES 5 TETRAEDRES DE BASE SIO#4##JN#I (J = 0,,4) SOIT BIEN CHOISIE. DANS LE CAS DE COUCHES DE SIO#XN#Y A GRADIENT D'INDICE INTENTIONNEL, L'UTILISATION CONJOINTE DES PARAMETRES ELLIPSOMETRIQUES DANS LE VISIBLE ET DANS L'INFRAROUGE (DOMAINE DE TRANSPARENCE) A PERMIS DE DETERMINER AVEC CERTITUDE LA FORME ET L'AMPLITUDE DU GRADIENT, ALORS QUE LA MULTIPLICATION DES MESURES ELLIPSOMETRIQUES DANS LE VISIBLE A DIFFERENTS ANGLES D'INCIDENCE NE PERMET PAS CETTE DETERMINATION. L'ETUDE COMPARATIVE DE COUCHES MINCES DE SIO#2, OBTENUES PAR TROIS TECHNIQUES DE DEPOT DIFFERENTES (EVAPORATION REACTIVE, EVAPORATION ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS ET DIBS), A PERMIS DE PROPOSER UN MODELE DE MICROSTRUCTURE DANS LEQUEL LA COUCHE MINCE EST CONSIDEREE COMME UN MILIEU EFFECTIF CONSTITUE D'UNE MATRICE DE SILICE DENSIFIEE ET DE PORES. LA POROSITE DEPEND DES PARAMETRES DE DEPOT. SANS ASSISTANCE, LA POROSITE EST OUVERTE, ELLE EST ALORS RESPONSABLE DU VIEILLISSEMENT IMPORTANT DES COUCHES A L'AIR PAR ADSORPTION DE LA VAPEUR D'EAU DANS LES PORES ET HYDROLYSE DE LA SILICE. DES QU'ON ASSISTE CONVENABLEMENT LA CROISSANCE DE LA COUCHE PAR UN BOMBARDEMENT D'IONS, LA POROSITE EST FERMEE (PORES ISOLES) ET LA COUCHE N'EVOLUE PLUS DANS LE TEMPS. LA MATRICE DE SILICE EST, QUANT A ELLE, JUSTE APRES DEPOT, INDEPENDANTE DE LA METHODE DE DEPOT ; ELLE EST CONSTITUEE D'UN RESEAU DE SILICE NETTEMENT PLUS DENSE QUE CELUI DE LA SILICE FONDUE.
Book Synopsis Realisation d'un elliptometre spectroscopique a modulation de phase by : Sutrisno
Download or read book Realisation d'un elliptometre spectroscopique a modulation de phase written by Sutrisno and published by . This book was released on 1992 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE A ANGLE VARIABLE. APPLICATIONS A L'ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DE SEMI-CONDUCTEURS II-VI ET A LA CARACTERISATION DE COUCHES A GRADIENT D'INDICE by : MICHEL.. LUTTMANN
Download or read book ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE A ANGLE VARIABLE. APPLICATIONS A L'ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DE SEMI-CONDUCTEURS II-VI ET A LA CARACTERISATION DE COUCHES A GRADIENT D'INDICE written by MICHEL.. LUTTMANN and published by . This book was released on 1994 with total page 244 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL APPORTE UNE CONTRIBUTION A LA CARACTERISATION DES COUCHES MINCES PAR ELLIPSOMERIE SPECTROSCOPIQUE A ANGLE VARIABLE. NOUS PRESENTONS LES DIFFERENTES MODIFICATIONS APPORTEES A L'ELLIPSOMETRE D'ORIGINE ET DECRIVONS LES PROCEDURES D'ETALONNAGE UTILISEES. LA REDUCTION DES ERREURS SYSTEMATIQUES ET ALEATOIRES EST EGALEMENT TRAITEE. UNE ETUDE ORIGINALE A ETE MENEE SUR LES DERIVEES PARTIELLES DES ANGLES ELLIPSOMETRIQUES PSI ET DELTA PAR RAPPORT AUX DIFFERENTS PARAMETRES DE L'ECHANTILLON (EPAISSEURS, INDICES, ANGLE D'INCIDENCE). CELLE-CI NOUS A CONDUIT A INTRODUIRE LE CONCEPT DE SENSIBILITE INTEGRALE RELATIVE (SIR) QUI S'EST AVERE TRES UTILE POUR LOCALISER LES ZONES ANGULAIRES LES PLUS INTERESSANTES ET POUR COMPARER ENTRE ELLES LES SENSIBILITES DE LA MESURE ELLIPSOMETRIQUE AUX DIVERS PARAMETRES DE L'ECHANTILLON. L'INTERET DE MESURES SPECTROSCOPIQUES A PLUSIEURS ANGLES D'INCIDENCE EST DISCUTE. DEUX APPLICATIONS PRINCIPALES ONT ETE TRAITEES DANS CE MEMOIRE: LA PREMIERE CONCERNE LA MESURE DES INDICES DE SEMI-CONDUCTEURS II-VI A GRANDS GAPS. L'ETUDE REALISEE PORTE SUR DES SUBSTRATS MASSIFS DE CDMNTE ET SUR DES COUCHES EPITAXIEES DE CDMGTE. UNE LOI D'INDICE PERMETTANT DE DECRIRE LE COMPORTEMENT DE LA FONCTION DIELECTRIQUE DU CDMGTE SUR L'ENSEMBLE DU DOMAINE SPECTRAL EST PROPOSEE. DANS LA ZONE TRANSPARENTE, DEUX LOIS DE SELLMEIER DONNANT LES INDICES DU CDMNTE ET DU CDMGTE POUR TOUTE CONCENTRATION DE MANGANESE OU DE MAGNESIUM, ONT ETE ETABLIES. LA SECONDE PORTE SUR LA CARACTERISATION DE COUCHES A GRADIENT D'INDICE. UNE METHODE PERMETTANT D'ANALYSER DES COUCHES DE PROFIL D'INDICE A PRIORI QUELCONQUE EST PROPOSEE. ELLE A ETE VALIDEE SUR DES COUCHES INHOMOGENES DE GAALAS ET D'OXY-NITRURE DE SILICIUM. L'ELLIPSOMETRIE S'EST REVELEE ETRE UNE TECHNIQUE BIEN ADAPTEE A CE TYPE DE CARACTERISATION PUISQUE DES PROFILS POLYNOMIAUX DU QUATRIEME DEGRE ONT PU ETRE MIS EN EVIDENCE SUR DES COUCHES D'OXY-NITRURE DE SILICIUM A FORT GRADIENT D'INDICE
Book Synopsis REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE INFRAROUGE POUR L'ETUDE IN SITU DES PROPRIETES VIBRATIONNELLES DE COUCHES MINCES SEMICONDUCTRICES by : NADINE.. BLAYO
Download or read book REALISATION D'UN ELLIPSOMETRE INFRAROUGE POUR L'ETUDE IN SITU DES PROPRIETES VIBRATIONNELLES DE COUCHES MINCES SEMICONDUCTRICES written by NADINE.. BLAYO and published by . This book was released on 1991 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE INFRA-ROUGE A ETE REALISE POUR LA CARACTERISTION DES PROPRIETES VIBRATIONNELLES DE MOLECULES AU NIVEAU D'UNE MONOCOUCHE. L'OPTIMISATION DU MONTAGE, EN PARTICULIER GRACE A L'IMPLANTATION D'UNE SOURCE IR TRES INTENSE (ARC A PLASMA) A PERMIS D'EN ACCROITRE LA SENSIBILITE DE PLUS D'UN ORDRE DE GRANDEUR, TANDIS QU'UN NOUVEAU SYSTEME OPTIQUE CONSTITUE DE MIROIRS PARABOLIQUES EN A REDUIT L'ENCOMBREMENT. ADAPTE A UN REACTEUR DE DEPOT PAR DECHARGE PLASMA RF, IL A PERMIS D'IDENTIFIER ET DE SUIVRE LES PROPRIETES VIBRATIONNELLES DE COUCHES MINCES SEMICONDUCTRICES, TELLES QUE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE (A-SI:H), SILICIUM CARBONE (ASIC:H) OU MICROCRISTALLIN QUI SONT UTILISEES DANS DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES EN GRANDE SURFACE. LA NATURE DES LIAISONS CHIMIQUES QUI SE FORMENT A ETE IDENTIFIEE A DIFFERENTS NIVEAUX: LE VOLUME DU MATERIAU SE TROUVE CONSTITUE MAJORITAIREMENT DE LIAISONS SIH, TANDIS QU'UNE COUCHE MINCE DE SURFACE S'AVERE RICHE EN HYDROGENE SOUS LES FORMES SIH#2 ET SIH#3, PROVENANT D'UNE INTERACTION ENTRE PLASMA ET DEPOT EN FORMATION; CETTE SURCOUCHE JOUE UN ROLE DE PASSIVATION VIS-A-VIS DE L'OXYDATION. SON ABLATION SYSTEMATIQUE PAR INTERACTION AVEC UN PLASMA DE GRAVURE PEUT MODIFIER LA STRUCTURE DU MATERIAU ABOUTISSANT A UNE CROISSANCE MICROCRISTALLINE. UNE INTERACTION CHIMIQUE A L'INTERFACE ENTRE LE DEPOT ET SON SUBSTRAT DE VERRE A PU ETRE MISE EN EVIDENCE. CES RESULTATS ILLUSTRENT LA SENSIBILITE DE LA METHODE POUR DETECTER IN SITU DES SIGNAUX D'ABSORPTION PAR UNE MONOCOUCHE
Book Synopsis Elaboration et exploitation d'un banc d'ellipsométrie à longueur d'onde variable, pour l'étude et la caractérisation de capacités MIS sur composés III-V by : Marc Juvin
Download or read book Elaboration et exploitation d'un banc d'ellipsométrie à longueur d'onde variable, pour l'étude et la caractérisation de capacités MIS sur composés III-V written by Marc Juvin and published by . This book was released on 1985 with total page 155 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les processus technologiques de fabrication des structures MIS sur InP, comportent généralement une étape de préparation du substrat, pendant laquelle on observe certaines modifications du matériau. Avec l'ellipsométrie spectroscopique, nous disposons d'un outil de caractérisation, capable d'analyser qualitativement et quantitativement une interface, à travers l'isolant déposé (Al2 O3). L'objet de ce travail est de présenter, après un rapide exposé des principes de base, la mise au point d'un banc automatique d'ellipsométrie spectroscopique, de type polariseur tournant. Une application à l'étude de la passivation de l'InP par un traitement thermique sous pression partielle d'Arsenic, est développée et montre une méthode de dépouillement des spectres à partir d'une modélisation simple à une ou deux couches.
Book Synopsis ETUDE PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE ET PHOTOEMISSION X DE LA MORPHOLOGIE DE COUCHES MINCES DIELECTRIQUES OBTENUES PAR EVAPORATION ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS by : DAVID.. SOUCHE
Download or read book ETUDE PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE ET PHOTOEMISSION X DE LA MORPHOLOGIE DE COUCHES MINCES DIELECTRIQUES OBTENUES PAR EVAPORATION ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS written by DAVID.. SOUCHE and published by . This book was released on 1997 with total page 270 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'EVAPORATION THERMIQUE DONNE DES COUCHES MINCES POREUSES, ABSORBANT UNE IMPORTANTE QUANTITE D'EAU A LEUR SORTIE DE L'EVAPORATEUR. NOUS AVONS UTILISE L'ASSISTANCE IONIQUE A L'OXYGENE POUR COMPACTER DES COUCHES DE TIO#2 ET SIO#2 : POUR UNE ASSISTANCE SUFFISANTE, NOUS AVONS OBTENU DES COUCHES DE COMPACITE ELEVEE, N'ABSORBANT PAS D'EAU A LA MISE A L'AIR. LE DEGRE D'ASSISTANCE EST EXPRIME PAR L'ENERGIE MOYENNE APPORTEE PAR LES IONS A CHAQUE MOLECULE DEPOSEE, E#D. NOUS DISTINGUONS DEUX DOMAINES D'ASSISTANCE IONIQUE, SEPARES PAR UNE ENERGIE DEPOSEE CRITIQUE E#D#T#H. SOUS E#D#T#H, NOUS AVONS OBSERVE UNE AUGMENTATION RAPIDE DE L'INDICE SOUS VIDE AVEC E#D. A LA MISE A L'AIR, L'ASSOCIATION DES ELLIPSOMETRIES VISIBLE ET INFRAROUGE AU SEIN D'UN MODELE DE MORPHOLOGIE A MONTRE POUR SIO#2 L'EFFONDREMENT DES PORES CAPILLAIRES DE LA CROISSANCE COLONNAIRE ET L'APPARITION D'UNE POPULATION DE PORES FERMES. NOUS AVONS SUPPOSE QUE CE DOMAINE EST DOMINE PAR UN MECANISME DE DIFFUSION DE SURFACE EXACERBEE. L'ENERGIE DEPOSEE CRITIQUE E#D#T#H EST DEFINIE PAR LA RUPTURE DE PENTE DE N(E#D). AU-DESSUS DE E#D#T#H, LE GAIN D'INDICE AVEC E#D EST PLUS FAIBLE, TANDIS QUE LA CONTRAINTE DES COUCHES DE TIO#2 DEVIENT COMPRESSIVE ; LES COUCHES MINCES OBTENUES CONTIENNENT TOUJOURS UNE POROSITE RESIDUELLE FERMEE. ENFIN, UNE TROP FORTE ASSISTANCE PROVOQUE DES DEFAUTS ELECTRONIQUES VISIBLES EN XPS. NOUS ASSOCIONS CES COMPORTEMENTS A UNE DENSIFICATION PAR IMPLANTATION D'ATOMES INTERSTITIELS. UN APPORT D'ENERGIE MODERE (E#D100-200EV) PERMET DE RELAXER LA MATRICE DE SIO#2 ET DE DIMINUER LA CRISTALLINITE DES COUCHES DE TIO#2 (T#S#U#B = 150C). PAR CONTRE, POUR LES FORTES VALEURS DE E#D, LA CRISTALLINITE DE TIO#2 REAUGMENTE, ET DEVIENT TRES IMPORTANTE A T#S#U#B = 250C. POUR LES DEUX MATERIAUX ETUDIES, NOUS AVONS PU CORRELER NOS RESULTATS D'XPS AUX MODIFICATIONS STRUCTURALES LIEES A L'ASSISTANCE IONIQUE (CRISTALLISATION, DESORDRE).
