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Caracterisation Et Modelisation Des Plasmas Micro Onde Multi Dipolaires
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Book Synopsis Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires by : Tan Vinh Tran
Download or read book Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires written by Tan Vinh Tran and published by . This book was released on 2006 with total page 192 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'extension d'échelle des procédés plasma fonctionnant à très faibles pressions est l'une des problématiques à résoudre pour leur essor au niveau industriel. Une solution consiste à distribuer uniformément des sources de plasma élémentaires dans lesquelles le plasma est produit par couplage à la résonance cyclotronique électronique (RCE). Ces sources élémentaires sont constituées d'un aimant permanent cylindrique (dipôle magnétique) disposé à l'extrémité d'une structure coaxiale d'amenée des micro-ondes. Bien que conceptuellement simple, l'optimisation de ces sources de plasma dipolaires est complexe. Elle requiert la connaissance, d'une part, des configurations de champ magnétique statique et électrique micro-onde, et, d'autre part, des mécanismes de production du plasma, dans les zones de champ magnétique fort (condition RCE), et des mécanismes de diffusion. Ainsi, une caractérisation expérimentale des domaines de fonctionnement et des paramètres plasma par sonde de Langmuir et par spectroscopie d'émission optique a été menée sur différentes configurations de sources dipolaires. Parallèlement, une première modélisation analytique a permis de calculer des champs magnétiques de configurations simples, le mouvement et la trajectoire des électrons dans ces champs magnétiques, l'accélération des électrons par couplage RCE. Ces résultats ont permis ensuite de valider la modélisation numérique des trajectoires électroniques par une méthode hybride Particle In Cell / Monte-Carlo. L'étude expérimentale a mis en évidence des domaines de fonctionnement pression/puissance très larges, entre 15 et 200 W de puissance micro-onde et depuis 0,5 jusqu'à 15 mTorr dans l'argon. L'étude des paramètres plasma a permis de localiser la zone de couplage RCE près du plan équatorial de l'aimant et de confirmer l'influence de la géométrie de l'aimant sur cette dernière. Ces caractérisations appliquées à un réacteur cylindrique utilisant 48 sources ont montré la possibilité d'atteindre au centre de l'enceinte des densités entre 1011 et 1012 cm-3 pour des pressions d'argon de quelques mTorr. La modélisation des trajectoires électroniques au voisinage des aimants indique un meilleur confinement radial pour des aimants présentant un rapport longueur/diamètre élevé. De plus, cette étude numérique confirme les résultats de l'étude expérimentale, à savoir une zone de couplage RCE près du plan équatorial et non au voisinage de l'extrémité du guide coaxial micro-onde. Enfin, ces résultats ont été appliqués avec succés à la pulvérisation assistée par plasma multi-dipolaire de cibles, permettant en particulier une usure uniforme de ces dernières.
Book Synopsis Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires by : Tan Vinh Tran
Download or read book Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires written by Tan Vinh Tran and published by . This book was released on 2007 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'extension d'échelle des procédés plasma fonctionnant à très faibles pressions est l'une des problématiques à résoudre pour leur essor au niveau industriel. Une solution consiste à distribuer uniformément des sources de plasma élémentaires dans lesquelles le plasma est produit par couplage à la résonance cyclotronique électronique (RCE). Ces sources élémentaires sont constituées d'un aimant permanent cylindrique (dipôle magnétique) disposé à l'extrémité d'une structure coaxiale d'amenée des micro-ondes. Bien que conceptuellement simple, l'optimisation de ces sources de plasma dipolaires est complexe. Elle requiert la connaissance, d'une part, des configurations de champ magnétique statique et électrique micro-onde, et, d'autre part, des mécanismes de production du plasma, dans les zones de champ magnétique fort (condition RCE), et des mécanismes de diffusion. Ainsi, une caractérisation expérimentale des domaines de fonctionnement et des paramètres plasma par sonde de Langmuir et par spectroscopie d'émission optique a été menée sur différentes configurations de sources dipolaires. Parallèlement, une première modélisation analytique a permis de calculer des champs magnétiques de configurations simples, le mouvement et la trajectoire des électrons dans ces champs magnétiques, l'accélération des électrons par couplage RCE. Ces résultats ont permis ensuite de valider la modélisation numérique des trajectoires électroniques par une méthode hybride Particle In Cell / Monte-Carlo. L'étude expérimentale a mis en évidence des domaines de fonctionnement pression/puissance très larges, entre 15 et 200 W de puissance micro-onde et depuis 0,5 jusqu'à 15 mTorr dans l'argon. L'étude des paramètres plasma a permis de localiser la zone de couplage RCE près du plan équatorial de l'aimant et de confirmer l'influence de la géométrie de l'aimant sur cette dernière. Ces caractérisations appliquées à un réacteur cylindrique utilisant 48 sources ont montré la possibilité d'atteindre au centre de l'enceinte des densités entre 1011 et 1012 cm-3 pour des pressions d'argon de quelques mTorr. La modélisation des trajectoires électroniques au voisinage des aimants indique un meilleur confinement radial pour des aimants présentant un rapport longueur/diamètre élevé. De plus, cette étude numérique confirme les résultats de l'étude expérimentale, à savoir une zone de couplage RCE près du plan équatorial et non au voisinage de l'extrémité du guide coaxial micro-onde. Enfin, ces résultats ont été appliqués avec succés à la pulvérisation assistée par plasma multi-dipolaire de cibles, permettant en particulier une usure uniforme de ces dernières.
Book Synopsis CARACTERISATION ET MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE CREE PAR UN GUIDE A FENTES by : GWENAEL.. TANGUY
Download or read book CARACTERISATION ET MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE CREE PAR UN GUIDE A FENTES written by GWENAEL.. TANGUY and published by . This book was released on 2000 with total page 135 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES TRAVAUX PRESENTES DANS CE MEMOIRE TRAITENT DE LA CARACTERISATION ET DE LA MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE D'UN PLASMA MICRO-ONDE (2.45 GHZ) CREE PAR UN GUIDE A FENTES. NOUS NOUS SOMMES TOUT D'ABORD ATTACHES A CARACTERISER LE RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE DU GUIDE A FENTES EN ESPACE LIBRE A L'AIDE DE LA THERMOGRAPHIE INFRAROUGE ET PAR UN CALCUL ANALYTIQUE (EQUIVALENCE DIPOLE-FENTE). NOUS PRESENTONS ENSUITE LE REACTEUR MICRO-ONDE UTILISANT L'APPLICATEUR. NOUS ETUDIONS L'INFLUENCE DES PARAMETRES TELS QUE : PRESSION, PUISSANCE D'INJECTION, DISTANCE ENTRE LE GUIDE A FENTES ET L'ENCEINTE DE LA DECHARGE. LA DISTRIBUTION DU CHAMP ELECTRIQUE RAYONNE EST MESUREE PAR DES ANTENNES ELECTROMAGNETIQUES AVEC ET SANS PLASMA. LA SPECTROSCOPIE D'EMISSION ET LES SONDES DE LANGMUIR NOUS PERMETTENT DE CARACTERISER LE PLASMA D'ARGON. NOUS AVONS OBTENU DES CORRELATIONS ENTRE LES MESURES EXPERIMENTALES ET LA POSITION DES FENTES. LA MODELISATION ELECTROMAGNETIQUE EN 3D EST REALISEE A L'AIDE DE LA METHODE DES ELEMENTS FINIS MIXTES D'ARETES. LE PLASMA EST DECRIT PAR UNE CONSTANTE DIELECTRIQUE AYANT UNE PARTIE REELLE ET IMAGINAIRE NEGATIVES. DANS UN PREMIER TEMPS NOUS AVONS CONSACRE NOS EFFORTS SUR LA POTENTIALITE DU MODELE EN RESOLVANT DES PROBLEMES DONT LA SOLUTION ANALYTIQUE EST CONNUE. PUIS DANS UN DEUXIEME TEMPS NOUS AVONS MODELISE NOTRE STRUCTURE D'ETUDE. DIVERS CALCULS SONT FAITS EN ETUDIANT L'INFLUENCE DE LA DISTANCE ENTRE LE GUIDE A FENTES ET LA ZONE ACTIVE DU PLASMA SUR LA REPARTITION DU CHAMP ELECTRIQUE ET CONSIDERANT DES PLASMAS AVEC DIFFERENTES DENSITES ELECTRONIQUES. POUR FINIR NOUS CONFRONTONS LES RESULTATS EXPERIMENTAUX ET CEUX OBTENUS PAR LE CALCUL NUMERIQUE AFIN D'ETABLIR DE NOUVELLES PERSPECTIVES D'INVESTIGATION.
Book Synopsis Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle by : Louis Latrasse
Download or read book Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle written by Louis Latrasse and published by . This book was released on 2007 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le μm/min et les dépôts sont uniformes.
Book Synopsis Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle by : Louis Latrasse
Download or read book Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle written by Louis Latrasse and published by . This book was released on 2006 with total page 115 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le μm/min et les dépôts sont uniformes.
Book Synopsis Modélisation/diagnostic de production de poussières dans un plasma H2au contact d'une cible C/W by : Ligia Maria Colina Delacqua
Download or read book Modélisation/diagnostic de production de poussières dans un plasma H2au contact d'une cible C/W written by Ligia Maria Colina Delacqua and published by . This book was released on 2012 with total page 211 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ce travail de thèse a porté sur la caractérisation expérimentale d’un plasma d’hydrogène au contact de cibles de carbone ou tungstène généré dans le réacteur microonde multi dipolaire CASIMIR II. Ce dernier, développé pendant ce projet de thèse, a pour objectif de simuler quelques des processus plasma/surface ayant lieu sous le dome du divertor et dans les régions à l’ombre du plasma (SOL) dans les tokamaks. CASIMIR II se compose de 16 sources dipolaires microondes disposées de manière circulaire le long du périmètre de l’enceinte à vide de manière à obtenir un plasma basse pression (10−3 à 10−2 mbar), haute densité (109 - 1011 cm−3) homogène dans tout le volume du réacteur. Des cibles C/W ont été exposées à de tels plasmas. La mise en oeuvre de plusieurs diagnostics in situ spectroscopie optique d’émission, spectrométrie de masse et sonde de langmuir) ont permis d’identifier la nature de quelques produits d’érosion et de constater leur incidence sur les paramètres plasma (Vp' Te‚ ne et ni). Un premier modèle 1D collisionnel radial du plasma d’hydrogène généré par une source dipolaire microonde a été développé dans le but de valider et d’aider à l’interprétation des résultats expérimentaux.
Book Synopsis Modélisation des plasmas micro-ondes utilisés pour le dépôt de diamant intrinsèque ou dopé au bore by : Rania Salem
Download or read book Modélisation des plasmas micro-ondes utilisés pour le dépôt de diamant intrinsèque ou dopé au bore written by Rania Salem and published by . This book was released on 2015 with total page 294 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette thèse porte sur la modélisation des plasmas micro-ondes en mélanges H2/CH4 et H2/CH4/B2H6, utilisés pour le dépôt de diamant intrinsèque et de diamant dopé au bore. L'objectif est d'établir des modèles de cinétique chimique afin de décrire la phase gazeuse et d'appréhender les limitations des modèles physiques nécessaires à l'étude des plasmas H2/CH4 et H2/CH4/B2H6 fonctionnant à haute densité de puissance (haute pression / haute puissance). L'étude repose sur une approche numérique à travers plusieurs modèles physique (1D et 2D) et chimiques qui permet la description physico-chimique de la phase plasma en fonction de nombreux paramètres expérimentaux (pression, puissance, composition du gaz). Une comparaison des résultats numériques a été effectuée systématiquement avec des mesures de densités intégrées radialement réalisées par TDLAS et OES pour les espèces CH4, CH3, C2H2, C2H4, C2H6, B2H6 et B. Cette comparaison a pour objectif la validation des modèles physiques et des schémas cinétiques. Des écarts significatifs entre le modèle et l'expérience ont révélé une limitation intrinsèque à l'utilisation d'une approche ID radiale pour décrire les propriétés du plasma pour les conditions de haute densité de puissance. L'utilisation d'un modèle 2D fluide conçu à partir du logiciel ANSYS Fluent propose une meilleure description des phénomènes de transport mais ne permet pas de prendre en compte les processus électroniques. L'analyse de la composition chimique des plasmas micro-onde H2/CH4, H2/B2/H6 et H2/CH4/ B2H6 a montré une limitation des schémas cinétiques décrivant ces mélanges par une large gamme de conditions opératoires. En particulier les mécanismes C/B de ces modèles ne reproduisent pas la forte influence observée expérimentalement de l'addition de méthane sur le bore atomique. Enfin une étude numérique sur la distribution spatiale des espèces borées à poximité de la surface est confrontée à des résultats expérimentaux sur le dopage de diamant en fonction de différents paramètres du procédé.
Book Synopsis Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde by : Virginie Viel
Download or read book Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde written by Virginie Viel and published by . This book was released on 1995 with total page 149 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objet de ce travail réside dans l'étude d'un plasma froid, créé par microondes et destiné à la gravure ou au dépôts de matériaux. Le plasma étant créé par rayonnement microondes, la modélisation du réacteur est obtenue à partir de la résolution des équations de Maxwell dans un milieu ionisé. Le calcul de la densité dérive de la résolution des équations de transport du plasma. Une méthode de perturbation permet de tenir compte de l'influence du champ électrique sur le coefficient d'ionisation. La partie expérimentale est consacrée aux caractérisations du plasma par sonde de Langmuir et à la caractérisation des champs électriques par une antenne. un bon accord est obtenu entre la théorie et les résultats expérimentaux, et cette thèse met à la disposition d'utilisateurs potentiels, un moyen de simulation puissant.
Book Synopsis Quantum Mechanics, Volume 3 by : Claude Cohen-Tannoudji
Download or read book Quantum Mechanics, Volume 3 written by Claude Cohen-Tannoudji and published by John Wiley & Sons. This book was released on 2019-12-16 with total page 790 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This new, third volume of Cohen-Tannoudji's groundbreaking textbook covers advanced topics of quantum mechanics such as uncorrelated and correlated identical particles, the quantum theory of the electromagnetic field, absorption, emission and scattering of photons by atoms, and quantum entanglement. Written in a didactically unrivalled manner, the textbook explains the fundamental concepts in seven chapters which are elaborated in accompanying complements that provide more detailed discussions, examples and applications. * Completing the success story: the third and final volume of the quantum mechanics textbook written by 1997 Nobel laureate Claude Cohen-Tannoudji and his colleagues Bernard Diu and Franck Laloë * As easily comprehensible as possible: all steps of the physical background and its mathematical representation are spelled out explicitly * Comprehensive: in addition to the fundamentals themselves, the books comes with a wealth of elaborately explained examples and applications Claude Cohen-Tannoudji was a researcher at the Kastler-Brossel laboratory of the Ecole Normale Supérieure in Paris where he also studied and received his PhD in 1962. In 1973 he became Professor of atomic and molecular physics at the Collège des France. His main research interests were optical pumping, quantum optics and atom-photon interactions. In 1997, Claude Cohen-Tannoudji, together with Steven Chu and William D. Phillips, was awarded the Nobel Prize in Physics for his research on laser cooling and trapping of neutral atoms. Bernard Diu was Professor at the Denis Diderot University (Paris VII). He was engaged in research at the Laboratory of Theoretical Physics and High Energy where his focus was on strong interactions physics and statistical mechanics. Franck Laloë was a researcher at the Kastler-Brossel laboratory of the Ecole Normale Supérieure in Paris. His first assignment was with the University of Paris VI before he was appointed to the CNRS, the French National Research Center. His research was focused on optical pumping, statistical mechanics of quantum gases, musical acoustics and the foundations of quantum mechanics.
Book Synopsis Basic Concepts for Simple and Complex Liquids by : Jean-Louis Barrat
Download or read book Basic Concepts for Simple and Complex Liquids written by Jean-Louis Barrat and published by Cambridge University Press. This book was released on 2003-03-27 with total page 410 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Presenting a unified approach, this book focusses on the concepts and theoretical methods that are necessary for an understanding of the physics and chemistry of the fluid state. The authors do not attempt to cover the whole field in an encyclopedic manner. Instead, important ideas are presented in a concise and rigorous style, and illustrated with examples from both simple molecular liquids and more complex soft condensed matter systems such as polymers, colloids, and liquid crystals.
Book Synopsis Formulas and Tables for the Calculation of Mutual and Self-inductance by : Edward Bennett Rosa
Download or read book Formulas and Tables for the Calculation of Mutual and Self-inductance written by Edward Bennett Rosa and published by . This book was released on 1912 with total page 230 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Book Synopsis On the Continuity of the Gaseous and Liquid States by : J. D. Van Der Waals
Download or read book On the Continuity of the Gaseous and Liquid States written by J. D. Van Der Waals and published by Courier Corporation. This book was released on 2004-01-01 with total page 336 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This much-cited thesis by J. D. van der Waals, the recipient of the 1910 Nobel Prize in physics, is accompanied by an introductory essay by J. S. Rowlinson and another work by van der Waals on the theory of liquid mixtures. 1988 edition.
Book Synopsis Flexoelectricity in Liquid Crystals by : Agnes Buka
Download or read book Flexoelectricity in Liquid Crystals written by Agnes Buka and published by World Scientific. This book was released on 2013 with total page 299 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The book intends to give a state-of-the-art overview of flexoelectricity, a linear physical coupling between mechanical (orientational) deformations and electric polarization, which is specific to systems with orientational order, such as liquid crystals. Chapters written by experts in the field shed light on theoretical as well as experimental aspects of research carried out since the discovery of flexoelectricity. Besides a common macroscopic (continuum) description the microscopic theory of flexoelectricity is also addressed. Electro-optic effects due to or modified by flexoelectricity as well as various (direct and indirect) measurement methods are discussed. Special emphasis is given to the role of flexoelectricity in pattern-forming instabilities. While the main focus of the book lies in flexoelectricity in nematic liquid crystals, peculiarities of other mesophases (bent-core systems, cholesterics, and smectics) are also reviewed. Flexoelectricity has relevance to biological (living) systems and can also offer possibilities for technical applications. The basics of these two interdisciplinary fields are also summarized.
Book Synopsis Nonlinear Optical Materials by : Jerome V. Moloney
Download or read book Nonlinear Optical Materials written by Jerome V. Moloney and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 1998-08-13 with total page 270 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Mathematical methods play a significant role in the rapidly growing field of nonlinear optical materials. This volume discusses a number of successful or promising contributions. The overall theme of this volume is twofold: (1) the challenges faced in computing and optimizing nonlinear optical material properties; and (2) the exploitation of these properties in important areas of application. These include the design of optical amplifiers and lasers, as well as novel optical switches. Research topics in this volume include how to exploit the magnetooptic effect, how to work with the nonlinear optical response of materials, how to predict laser-induced breakdown in efficient optical devices, and how to handle electron cloud distortion in femtosecond processes.
Book Synopsis The Rapid Evaluation of Potential Fields in Particle Systems by : Leslie Greengard
Download or read book The Rapid Evaluation of Potential Fields in Particle Systems written by Leslie Greengard and published by MIT Press. This book was released on 1988 with total page 120 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The evaluation of Coulombic or gravitational interactions in large ensembles of particles is an integral part of the numerical simulation of a large number of physical processes. Examples include celestial mechanics, plasma physics, the vortex method in fluid dynamics, molecular dynamics, molecular dynamics, and the solution of the Laplace equation via potential theory. A numerical model follows the trajectories of a number of particles moving in accordance with Newton's second law of motion in a field generated by the whole ensemble. In many situations, in order to be of physical interest, the simulation has to involve thousands of particles (or more), and the fields have to be evaluated for a large number of configurations. Unfortunately, an amount of work of the order O N-sg has traditionally been required to evaluate all pairwise interactions in a system of N particles, unless some approximation or truncation method is used. Large scale simulations have been extremely expensive in some cases, and prohibitive in others. An algorithm is presented for the rapid evaluation of the potential and force fields in large scale systems of particles. To evaluate all pairwise Coulombic interactions of N particles to within round off error, the algorithm requires an amount of work proportional to N, and this estimate does not depend on the statistics of the distribution. Both two and three dimensional versions of the algorithm have been constructed. Applications to several problems in physics, chemistry, biology, and numerical complex analysis are discussed.
Book Synopsis Henri Cartier-Bresson, Walker Evans by : Henri Cartier-Bresson
Download or read book Henri Cartier-Bresson, Walker Evans written by Henri Cartier-Bresson and published by . This book was released on 2009 with total page 192 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book provides the reader with a unique opportunity to confront and compare the visions of two seminal photographic masters, Henri Cartier-Bresson and Walker Evans.
Book Synopsis League of the Ho-dé-no-sau-nee Or Iroquois by : Lewis Henry Morgan
Download or read book League of the Ho-dé-no-sau-nee Or Iroquois written by Lewis Henry Morgan and published by New York : Dodd, Mead. This book was released on 1922 with total page 780 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
