Author : Jean-Pierre Segaud
Publisher :
ISBN 13 :
Total Pages : 118 pages
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Book Synopsis Caractérisation d'oxynitrures de silicium par spectroscopie des électrons Auger associée à la pulvérisation ionique by : Jean-Pierre Segaud
Download or read book Caractérisation d'oxynitrures de silicium par spectroscopie des électrons Auger associée à la pulvérisation ionique written by Jean-Pierre Segaud and published by . This book was released on 1988 with total page 118 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: UN ENSEMBLE D'ANALYSE DE LA COMPOSITION CHIMIQUE EN PROFONDEUR PAR SPECTROSCOPIE DES ELECTRONS AUGER ASSOCIEE A LA PULVERISATION IONIQUE A ETE DEVELOPPE AFIN DE POUVOIR CARACTERISER RAPIDEMENT DE NOMBREUX ECHANTILLONS ET D'ETRE AINSI EN PRISE DIRECTE AVEC LA TECHNOLOGIE MICROELECTRONIQUE. EN OPTIMISANT LES CONDITIONS EXPERIMENTALES DE MISE EN OEUVRE DES FAISCEAUX IONIQUE ET ELECTRONIQUE, CETTE TECHNIQUE A PERMIS DE REALISER UNE ANALYSE PHYSICO-CHIMIQUE QUANTITATIVE DE COMPOSES D'OXYNITRURE DE SILICIUM. ELLE EST DE PLUS CARACTERISEE PAR UNE BONNE RESOLUTION EN PROFONDEUR (ENVIRON 30 A) ET UNE VITESSE D'EROSION TOUT A FAIT A L'ETUDE DE COUCHES TRES MINCES
